The invention relates to a boron aluminosilicate glass and a preparation method thereof. A boroaluminosilicate glass is represented by the mass percentage content of the following oxide benchmarks as follows: 61.0%-85.0% SiO 2, 2.5%-17.5% Al2O3, 2%-20.5% B2O 3, 0.01%-4.5% Li2O, 0.01%-4.0% Na2O and 0.01%-2.0% K2O; the bonding factor of boroaluminosilicate glass is 0.05-0.45, and the calculation formula of the bonding factor is as follows: = mu Li*MLi+mu Na*MNa+mu K*MK; where mu Li=(1/rLi)
【技术实现步骤摘要】
硼铝硅酸盐玻璃及其制备方法
本专利技术涉及玻璃制备
，特别是涉及硼铝硅酸盐玻璃及其制备方法。
技术介绍
目前随着电子信息设备的迅猛发展，对阳极键合和电子显示用低碱硼硅酸盐玻璃基板的需求越来越多。MEMS传感器和微流体等行业常用的键合技术是阳极键合。阳极键合的基本过程就是电化学反应过程。在热与电的双重作用下，玻璃中的碱金属离子(主要为Na+)从阳极附近向阴极移动，在玻璃与阳极界面附近产生极化的碱金属离子耗尽层。高强电场在阳极硅(或金属)和玻璃界面产生了巨大的静电场吸引力，驱使玻璃通过弹性变形及其粘性流动金属阳极表面紧密接触，同时高的电场力促使氧离子向阳极移动并与硅反应形成氧化硅从而形成永久键合。键合机制包括氢键和固相化学反应。目前常用于阳极键合的玻璃无法实现在低温低压下快速键合，且键合强度不高，键合后玻璃的断裂拉力较低。
技术实现思路
基于此，有必要针对目前常用于阳极键合的玻璃无法实现在低温低压下快速键合，且键合强度不高的问题，提供一种硼铝硅酸盐玻璃及其制备方法。一种硼铝硅酸盐玻璃，以下述氧化物基准的质量百分含量表示，包括：所述硼铝硅酸盐玻璃的键合因子δ的取值为0...
【技术保护点】
1.一种硼铝硅酸盐玻璃，其特征在于，以下述氧化物基准的质量百分含量表示，包括：
【技术特征摘要】
1.一种硼铝硅酸盐玻璃，其特征在于，以下述氧化物基准的质量百分含量表示，包括：所述硼铝硅酸盐玻璃的键合因子δ的取值为0.05～0.45；所述键合因子δ的计算公式为：δ＝μLi*MLi+μNa*MNa+μK*MK；其中，μLi＝(1/rLi)2，μNa＝(1/rNa)2，μK＝(1/rK)2；MLi＝100*WLi/MrLi，MNa＝100*WNa/MrNa，MK＝100*WK/MrK；rLi、rNa和rK分别对应Li、Na和K的离子半径，WLi、WNa和WK分别对应所述硼铝硅酸盐玻璃中Li2O、Na2O和K2O的质量百分含量，MrLi、MrNa和MrK分别对应所述硼铝硅酸盐玻璃中Li2O、Na2O和K2O的相对分子质量。2.根据权利要求1所述的硼铝硅酸盐玻璃，其特征在于，还包括：MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO和SnO2中的至少一种；以下述氧化物基准的质量百分含量表示，MgO的用量不超过3.0％；及/或，CaO的用量不超过4.5％；及/或，SrO的用量不超过2.5％；及/或，BaO的用量不超过2.0％；及/或，SnO2的用量不超过0.5％。3.根据权利要求1所述的硼铝硅酸盐玻璃，其特征在于，所述硼铝硅酸盐玻璃的玻璃化转变温度为485℃～710℃。4.根据权利要求1所述的硼铝硅酸盐玻璃，其特征在于，所述硼铝硅酸盐玻璃的热膨胀系数α20-300℃为2.5*10-6*K-1～4.0*10-6*K-1。5.权利要求1～4任一项所述的硼铝硅酸盐玻璃的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：按氧化物基准的质量百分含量称取对应原料，混合均匀后进行澄清处理得到玻璃浆料；对所述玻璃浆料进行均化处理；及将所述玻璃浆料固化成型得到所述硼铝...
【专利技术属性】
技术研发人员：平文亮，
申请(专利权)人：中国南玻集团股份有限公司，清远南玻节能新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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