一种卡合锁紧装置及具有其的光罩车制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种卡合锁紧装置，包括定位轴，其中，还包括凸出卡合器和液压传动杆；凸出卡合器通过液压传动杆与定位轴可伸缩连接；凸出卡合器远离定位轴的外边缘设置有啮齿结构。卡槽内部设置有凹槽，凹槽内设置有第一啮齿结构。凸出卡合器的啮齿结构与凹槽中的第一啮齿结构相啮合。液压传动杆设置在定位轴的内部的通道中，液压传动杆可沿通道伸缩，从而带动所述凸出卡合器远离或靠近所述定位轴。本实用新型专利技术还公开了一种光罩车包括光罩车手臂和光罩盒，以及具有上述的卡合锁紧装置。本实用新型专利技术提供的卡合锁紧装置可自动校正光罩盒的位置，减少人为接触；可将光罩盒与光罩车锁紧，避免因人为不当操作导致光罩滑落损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种卡合锁紧装置及具有其的光罩车
本技术涉及液晶显示
，尤其涉及一种卡合锁紧装置及具有其的光罩车。
技术介绍
液晶显示面板具有体积小、厚度薄、重量轻及功耗低使其备受用户的喜爱，因此大量的液晶显示面板投入生产。液晶显示面板包括彩膜基板、阵列基板及其之间的液晶层。在阵列基板的制造过程中需要进行多次光刻蚀，光刻蚀工艺流程是一个较为复杂的过程，其中曝光是光刻蚀技术中最重要的工艺环节。曝光需要光罩、光源和基底等材料。光刻蚀是一种多步骤的图案转移过程，首先在光罩上形成所需要的图案，之后通过光刻工艺把所需要的图案转移到基板表面的每一层。具体为图案被转移到光刻胶层，即光致抗蚀剂层。光刻胶层经过一次光罩曝光后自身性质和结构发生变化，即由原来的可溶性物质变为非可溶性物质或者相反。再通过化学溶剂把可以溶解的部分去掉，形成与光罩图案对应的镂空结构，至此，光罩的图案就转移到光刻胶层。其次，把图案从光刻胶层转移到基板上。主要是通过不同的刻蚀方法把基板上没有被光刻胶保护的部分的薄膜层去掉，图案转移就彻底完成。在现有的阵列基板制造工艺中，每次的曝光工艺通常需要使用到光罩车。图1是现有技术中光罩车卡合装置结构示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卡合锁紧装置，包括定位轴，其特征在于，还包括凸出卡合器和液压传动杆；所述凸出卡合器通过所述液压传动杆与所述定位轴可伸缩连接；所述凸出卡合器远离所述定位轴的外边缘设置有啮齿结构。

【技术特征摘要】
1.一种卡合锁紧装置，包括定位轴，其特征在于，还包括凸出卡合器和液压传动杆；所述凸出卡合器通过所述液压传动杆与所述定位轴可伸缩连接；所述凸出卡合器远离所述定位轴的外边缘设置有啮齿结构。2.根据权利要求1所述的卡合锁紧装置，其特征在于，所述定位轴的上端内部设置有压力感应器，中端内部设置有液压传动杆，所述压力感应器与所述液压传动杆电连接。3.根据权利要求1所述的卡合锁紧装置，其特征在于，所述凸出卡合器为半扇型结构且均匀围绕所述定位轴。4.根据权利要求1所述的卡合锁紧装置，其特征在于，所述凸出卡合器为圆环体型。5.根据权利要求2所述的卡合锁...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈自中，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32