【技术实现步骤摘要】
一种区熔炉大盘防护装置
本技术属于区熔技术
,尤其是涉及一种区熔炉大盘防护装置。
技术介绍
现区熔炉八寸单晶工艺还未处在十分成熟阶段,在拉至八寸单晶过程中会出现因各种问题导致单晶裂,从而硅液流出,烫坏下炉室大盘和螺丝。导致降温后,拆下大盘清理硅渣的过程变得十分困难,从而影响工时的,耽误生产;如多次流熔会将原防护大盘烫坏变形,严重可使下转卡住,导致单晶流熔,造成损失;在配合现在FZ-30和FZ-35单晶炉的切小头的应用,原有的装置会出现单晶头卡在大盘上;摔碎的硅渣掉进大盘下面,很容易出现大盘卡住的故障,故做出新型大盘对以上问题的防护。
技术实现思路
有鉴于此,本技术旨在提出一种区熔炉大盘防护装置,能减小单晶裂后流熔对炉体的影响,能够轻松的将硅渣清理干净,节约了大量工时,提高效率。为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:一种区熔炉大盘防护装置,包括左半管和右半管,左半管和右半管形成圆形管,主轴穿过左半管和右半管形成的圆形管内部,左半管和右半管的上端均设置有上连接孔,左半管和右半管的下端均设置有下连接孔,左半管和右半管的上端通过上连接孔与上方的主轴防尘圈可拆卸连 ...
【技术保护点】
1.一种区熔炉大盘防护装置,其特征在于:包括左半管(1)和右半管(2),左半管(1)和右半管(2)形成圆形管,主轴(13)穿过左半管(1)和右半管(2)形成的圆形管内部,左半管(1)和右半管(2)的上端均设置有上连接孔(3),左半管(1)和右半管(2)的下端均设置有下连接孔(4),左半管(1)和右半管(2)的上端通过上连接孔(3)与上方的主轴防尘圈(14)可拆卸连接,左半管(1)和右半管(2)的下端通过下连接孔(4)与下方的原有的大盘(15)可拆卸的连接,左半管(1)和右半管(2)的外壁的水平方向上分别固定设置有左防护盘(5)和右防护盘(6),左防护盘(5)和右防护盘(6) ...
【技术特征摘要】
1.一种区熔炉大盘防护装置,其特征在于:包括左半管(1)和右半管(2),左半管(1)和右半管(2)形成圆形管,主轴(13)穿过左半管(1)和右半管(2)形成的圆形管内部,左半管(1)和右半管(2)的上端均设置有上连接孔(3),左半管(1)和右半管(2)的下端均设置有下连接孔(4),左半管(1)和右半管(2)的上端通过上连接孔(3)与上方的主轴防尘圈(14)可拆卸连接,左半管(1)和右半管(2)的下端通过下连接孔(4)与下方的原有的大盘(15)可拆卸的连接,左半管(1)和右半管(2)的外壁的水平方向上分别固定设置有左防护盘(5)和右防护盘(6),左防护盘(5)和右防护盘(6)均为半圆形,且左防护盘(5)和右防护盘(6)的两端的端面与左半管(1)和右半管(2)的端面分别平齐,左防护盘(5)和右防护盘(6)的端面上分别设置有左连接板(7)和右连接板(8),左连接板(7)和右连接板(8)上相对应的位置上设置有板间连接孔,螺栓穿过左连接板(7)和右连接板(8)上的板间连接孔实现左半管(1)和右半管(2)以及左防护盘(5)和右防护盘(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员:张志富,李伟凡,孙健,吴峰,李东,王克旭,王遵义,孙晨光,王彦君,
申请(专利权)人:天津中环领先材料技术有限公司,
类型:新型
国别省市:天津,12
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