一种区熔炉大盘防护装置制造方法及图纸

技术编号:20141947 阅读:50 留言:0更新日期:2019-01-18 23:59
本实用新型专利技术提供了一种区熔炉大盘防护装置,包括左半管和右半管,主轴穿过左半管和右半管形成的圆形管内部,左半管和右半管的上端均设置有上连接孔,下端设置有下连接孔,左半管和右半管的上端通过上连接孔与主轴防尘圈连接,左半管和右半管的下端通过下连接孔与原有的大盘连接,左半管和右半管的外壁的分别固定设置有左防护盘和右防护盘,左防护盘和右防护盘均为半圆形,左防护盘和右防护盘的端面上分别设置有左连接板和右连接板,螺栓穿过左连接板和右连接板上的板间连接孔实现左半管和右半管以及左防护盘和右防护盘之间的可拆卸连接。本实用新型专利技术能减小单晶裂后流熔对炉体的影响,能够轻松的将硅渣清理干净,节约了大量工时,提高效率。

【技术实现步骤摘要】
一种区熔炉大盘防护装置
本技术属于区熔技术
,尤其是涉及一种区熔炉大盘防护装置。
技术介绍
现区熔炉八寸单晶工艺还未处在十分成熟阶段,在拉至八寸单晶过程中会出现因各种问题导致单晶裂,从而硅液流出,烫坏下炉室大盘和螺丝。导致降温后,拆下大盘清理硅渣的过程变得十分困难,从而影响工时的,耽误生产;如多次流熔会将原防护大盘烫坏变形,严重可使下转卡住,导致单晶流熔,造成损失;在配合现在FZ-30和FZ-35单晶炉的切小头的应用,原有的装置会出现单晶头卡在大盘上;摔碎的硅渣掉进大盘下面,很容易出现大盘卡住的故障,故做出新型大盘对以上问题的防护。
技术实现思路
有鉴于此,本技术旨在提出一种区熔炉大盘防护装置,能减小单晶裂后流熔对炉体的影响,能够轻松的将硅渣清理干净,节约了大量工时,提高效率。为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:一种区熔炉大盘防护装置,包括左半管和右半管,左半管和右半管形成圆形管,主轴穿过左半管和右半管形成的圆形管内部,左半管和右半管的上端均设置有上连接孔,左半管和右半管的下端均设置有下连接孔,左半管和右半管的上端通过上连接孔与上方的主轴防尘圈可拆卸连接,左半管和右半管的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种区熔炉大盘防护装置,其特征在于:包括左半管(1)和右半管(2),左半管(1)和右半管(2)形成圆形管,主轴(13)穿过左半管(1)和右半管(2)形成的圆形管内部,左半管(1)和右半管(2)的上端均设置有上连接孔(3),左半管(1)和右半管(2)的下端均设置有下连接孔(4),左半管(1)和右半管(2)的上端通过上连接孔(3)与上方的主轴防尘圈(14)可拆卸连接,左半管(1)和右半管(2)的下端通过下连接孔(4)与下方的原有的大盘(15)可拆卸的连接,左半管(1)和右半管(2)的外壁的水平方向上分别固定设置有左防护盘(5)和右防护盘(6),左防护盘(5)和右防护盘(6)均为半圆形,且左防护...

【技术特征摘要】
1.一种区熔炉大盘防护装置,其特征在于:包括左半管(1)和右半管(2),左半管(1)和右半管(2)形成圆形管,主轴(13)穿过左半管(1)和右半管(2)形成的圆形管内部,左半管(1)和右半管(2)的上端均设置有上连接孔(3),左半管(1)和右半管(2)的下端均设置有下连接孔(4),左半管(1)和右半管(2)的上端通过上连接孔(3)与上方的主轴防尘圈(14)可拆卸连接,左半管(1)和右半管(2)的下端通过下连接孔(4)与下方的原有的大盘(15)可拆卸的连接,左半管(1)和右半管(2)的外壁的水平方向上分别固定设置有左防护盘(5)和右防护盘(6),左防护盘(5)和右防护盘(6)均为半圆形,且左防护盘(5)和右防护盘(6)的两端的端面与左半管(1)和右半管(2)的端面分别平齐,左防护盘(5)和右防护盘(6)的端面上分别设置有左连接板(7)和右连接板(8),左连接板(7)和右连接板(8)上相对应的位置上设置有板间连接孔,螺栓穿过左连接板(7)和右连接板(8)上的板间连接孔实现左半管(1)和右半管(2)以及左防护盘(5)和右防护盘(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员:张志富李伟凡孙健吴峰李东王克旭王遵义孙晨光王彦君
申请(专利权)人:天津中环领先材料技术有限公司
类型:新型
国别省市:天津,12

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