一种用于调节区熔炉压力的保护装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于调节区熔炉压力的保护装置，包括置于区熔炉体外壁连通的管路，所述管路的另一端与外部空气连通，所述管路上设有防爆阀，通过所述防爆阀将所述区熔炉体密封，所述防爆阀和所述区熔炉体外壁之间的所述管路上还设有压力传感器。本发明专利技术所述的一种用于调节区熔炉压力的保护装置，通过设计的装置，能够对炉体内的气体压强进行监控或者保证炉体密封处的压强不会超过炉体额定压力，实现自动的调节，保证区熔炉体的安全性能。

A protective device for regulating the pressure of zone furnace

The invention provides a protective device for regulating the pressure of a zone melting furnace, including a pipeline connected to the outside wall of the zone melting furnace, the other end of the pipeline is connected with the outside air, and the pipeline is provided with an explosion-proof valve, which seals the zone melting furnace body through the explosion-proof valve, and the explosion-proof valve is between the zone melting furnace outer wall and the pipeline. A pressure sensor is also arranged on the pipeline. The designed device can monitor the gas pressure in the furnace body or ensure that the pressure at the sealing part of the furnace body does not exceed the rated pressure of the furnace body, realize automatic regulation and ensure the safety performance of the furnace body.

【技术实现步骤摘要】
一种用于调节区熔炉压力的保护装置
本专利技术属于区熔炉设备领域，尤其是涉及一种用于调节区熔炉压力的保护装置。
技术介绍
区熔炉炉体构造由上、中、下三个炉室构成，区熔炉在正常工作时候炉室内先要抽真空然后充入一定量的气体(氩气，氮气等惰性气体)使其内部气压高于炉外大气压强(俗称的正压)，当生产之后炉体需要将炉内的气体排出(通过炉体的排气管路排出)，这时候就要对炉体内的气体压强进行监控或者保证炉体密封处的压强不会超过炉体额定压力,这时候就需要设计一种装置对区熔炉的气体压力进行监控，保证炉体安全。本专利技术提出了一种用于调节区熔炉压力的保护装置，通过设计的装置，能够对炉体内的气体压强进行监控或者保证炉体密封处的压强不会超过炉体额定压力，实现自动的调节，保证区熔炉体的安全性能。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术旨在提出一种用于调节区熔炉压力的保护装置，通过设计的装置，能够对炉体内的气体压强进行监控或者保证炉体密封处的压强不会超过炉体额定压力，实现自动的调节，保证区熔炉体的安全性能。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：一种用于调节区熔炉压力的保护装置，包括置于区熔炉体外壁连通的管路，所述管路的另一端与外部空气连通，所述管路上设有防爆阀，通过所述防爆阀将所述区熔炉体密封，所述防爆阀和所述区熔炉体外壁之间的所述管路上还设有压力传感器。进一步的，所述防爆阀内设有滑动配合的橡胶塞，所述橡胶塞的轴线与所述管路的轴线重合。进一步的，所述防爆阀内的驱动机构带动所述橡胶塞运动进而实现密封的启闭，所述橡胶塞的运动方向与所述管路的轴线平行。进一步的，所述区熔炉体内设有控制单元，所述压力传感器与所述控制单元电连接。进一步的，所述防爆阀内的所述驱动机构同样与所述控制单元电连接。相对于现有技术，本专利技术所述的一种用于调节区熔炉压力的保护装置具有以下优势：(1)本专利技术所述的一种用于调节区熔炉压力的保护装置，通过设计的装置，能够对炉体内的气体压强进行监控或者保证炉体密封处的压强不会超过炉体额定压力，实现自动的调节，保证区熔炉体的安全性能。附图说明构成本专利技术的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为本专利技术实施例所述的一种用于调节区熔炉压力的保护装置结构示意图。附图标记说明：1-区熔炉体；2-防爆阀；3-橡胶塞。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。如图1所示一种用于调节区熔炉压力的保护装置，包括置于区熔炉体1外壁连通的管路，所述管路的另一端与外部空气连通，所述管路上设有防爆阀2，通过所述防爆阀2将所述区熔炉体1密封，所述防爆阀2和所述区熔炉体1外壁之间的所述管路上还设有压力传感器。其中，所述防爆阀2内设有滑动配合的橡胶塞3，所述橡胶塞3的轴线与所述管路的轴线重合。其中，所述防爆阀2内的驱动机构带动所述橡胶塞3运动进而实现密封的启闭，所述橡胶塞3的运动方向与所述管路的轴线平行。其中，所述区熔炉体1内设有控制单元，所述压力传感器与所述控制单元电连接。其中，所述防爆阀2内的所述驱动机构同样与所述控制单元电连接。本专利技术的具体实施方式：区熔炉体1充满气体(正压情况下)，旋转开关将炉内气体排空时(气体可以通过炉体压力管路排向炉体外)，在此过程中，可能存在局部地方压力过大，会大于区熔炉体1内设定的额定压力，此时，对应设置在各个相应部位的压力传感器检测局部的压力，当检测到的压力大于额定数值，将信号传输至控制单元，控制单元发信号至防爆阀2的驱动机构，控制橡胶塞3轴向滑动，实现防爆阀2的开启，压力从此排出，进而达到卸压的目的，保证区熔炉体1的安全性能。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于调节区熔炉压力的保护装置，其特征在于：包括置于区熔炉体外壁连通的管路，所述管路的另一端与外部空气连通，所述管路上设有防爆阀，通过所述防爆阀将所述区熔炉体密封，所述防爆阀和所述区熔炉体外壁之间的所述管路上还设有压力传感器。

【技术特征摘要】
1.一种用于调节区熔炉压力的保护装置，其特征在于：包括置于区熔炉体外壁连通的管路，所述管路的另一端与外部空气连通，所述管路上设有防爆阀，通过所述防爆阀将所述区熔炉体密封，所述防爆阀和所述区熔炉体外壁之间的所述管路上还设有压力传感器。2.根据权利要求1所述的一种用于调节区熔炉压力的保护装置，其特征在于：所述防爆阀内设有滑动配合的橡胶塞，所述橡胶塞的轴线与所述管路的轴线重合。3.根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵阳，刘琨，郝大维，王克旭，张凤佐，李军，孙晨光，王彦君，孙健，
申请(专利权)人：天津市环欧半导体材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12