【技术实现步骤摘要】
一种铜线加工小型退火装置
本技术涉及退火装置相关
,具体涉及一种铜线加工小型退火装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。现有的退火炉技术存在以下问题:1、现有的退火炉在使用的时候没有很好的减震装置,这样在使用的时候容易产生一定的噪音问题。2、现有的退火炉在使用的时候不能很好的密封住,这样就会使得外部空气进入到炉体中,使得内部金属发生氧化反应,从而影响到内部金属的质量问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题,在于提供一种铜线加工小型退火装置,结构简单,操作方便,以解决上述
技术介绍
中提出的现有的退火炉在使用的时候没有很好的减震装置,这样在使用的时候容易产生一定的噪音问题和现有的退火炉在使用的时候不能很好的密封住,这样就会使得外部空气进入到炉体中,使得内部金属发生氧化反应的问题。本技 ...
【技术保护点】
1.一种铜线加工小型退火装置,其特征在于:包括转动电机(1),所述转动电机(1)安装在上盖(3)上,所述上盖(3)的下表面中部设有一凸块(32),且凸块(32)的外部圆周设有镶嵌块(33),所述转动电机(1)的四周位于上盖(3)上设置有吊起块(2),所述转动电机(1)的下端设置有转动扇叶(4),所述上盖(3)的下端设置有炉壳(5),所述凸块(32)插设于所述炉壳(5)内,所述炉壳(5)的上端设有凹口(51),所述镶嵌块(33)恰设于所述凹口(51)内,所述炉壳(5)的内部设置有隔热层(6),所述隔热层(6)的内侧且位于炉壳(5)内部设置有加热器(7),所述炉壳(5)内部设置 ...
【技术特征摘要】
1.一种铜线加工小型退火装置,其特征在于:包括转动电机(1),所述转动电机(1)安装在上盖(3)上,所述上盖(3)的下表面中部设有一凸块(32),且凸块(32)的外部圆周设有镶嵌块(33),所述转动电机(1)的四周位于上盖(3)上设置有吊起块(2),所述转动电机(1)的下端设置有转动扇叶(4),所述上盖(3)的下端设置有炉壳(5),所述凸块(32)插设于所述炉壳(5)内,所述炉壳(5)的上端设有凹口(51),所述镶嵌块(33)恰设于所述凹口(51)内,所述炉壳(5)的内部设置有隔热层(6),所述隔热层(6)的内侧且位于炉壳(5)内部设置有加热器(7),所述炉壳(5)内部设置有复数支撑板(8),所述炉壳(5)的下端设置有炉座(9),所述炉座(9)的下端设置有缓冲固定器(10),所述转动电机(1)和加热器(7)与外部电源电性连接。2.根据权利要求1所述的一种铜线加工小型退火装置,其特征在于:所述转动电机...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨卫良,
申请(专利权)人:江西康成特导新材股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江西,36
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