【技术实现步骤摘要】
一种麦克风
本专利技术涉及测量领域，更准备地说，本专利技术涉及一种可以实现声电转换的麦克风。
技术介绍
现有主流的麦克风，均是通过平板电容器的原理进行检测的电容式麦克风。在麦可风的结构中，平板电容器包括衬底以及形成在衬底上的背极板、振膜，背极板与振膜之间具有间隙，使得背极板、振膜构成了平板式的电容器感测结构。为了充分利用振膜的机械灵敏度，麦克风需要设计一个具有环境压力的巨大后腔，以确保流动空气的刚性远远振膜。背腔的容积通常远大于1mm3，例如通常设计为1-15mm3。而且麦克风芯片在封装的时候，需要开放其腔体。这就限制了MEMS麦克风最小尺寸封装的设计(>3mm3)。这是由于如果后腔容积过小，则不利于空气的流通，这种空气的刚性则会大大降低振膜的机械灵敏度。另外，为了均压，背极板上通常会设计密集的通孔，由于空气粘度造成的间隙或穿孔中的空气流动阻力成为MEMS麦克风噪声的主导因素，从而限制了麦克风的高信噪比性能。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种麦克风的新技术方案。根据本专利技术的第一方面，提供了一种麦克风，包括衬底、膜板，所述膜板的中部位置通过...
【技术保护点】
1.一种麦克风，其特征在于：包括衬底、膜板，所述膜板的中部位置通过弹性扭梁连接在衬底上，所述膜板在衬底上形成了跷跷板结构；以弹性扭梁为界，所述膜板发生偏转运动的相对两侧分别记为第一侧、第二侧，其中在膜板第二侧的位置设置有多个供声音穿过的镂空；所述膜板被配置为受到声音信号时以弹性扭梁为轴发生偏转；在所述膜板的第一侧、第二侧还分别形成了用于表征膜板相应侧偏转电信号的第一检测结构、第二检测结构；所述第一检测结构和第二检测结构构成了差分结构；所述第一检测结构、第二检测结构分别包含磁体以及用于与磁体配合在一起的磁阻传感器。
【技术特征摘要】
1.一种麦克风，其特征在于：包括衬底、膜板，所述膜板的中部位置通过弹性扭梁连接在衬底上，所述膜板在衬底上形成了跷跷板结构；以弹性扭梁为界，所述膜板发生偏转运动的相对两侧分别记为第一侧、第二侧，其中在膜板第二侧的位置设置有多个供声音穿过的镂空；所述膜板被配置为受到声音信号时以弹性扭梁为轴发生偏转；在所述膜板的第一侧、第二侧还分别形成了用于表征膜板相应侧偏转电信号的第一检测结构、第二检测结构；所述第一检测结构和第二检测结构构成了差分结构；所述第一检测结构、第二检测结构分别包含磁体以及用于与磁体配合在一起的磁阻传感器。2.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于：第一检测结构、第二检测结构中的磁阻传感器分别至少设置有一个，第一检测结构、第二检测结构中的磁阻传感器构成了惠斯通电桥。3.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于：每个磁阻传感器对应一个磁体，所述磁体和磁阻传感器中的一个设置在膜板上，另一个设置在衬底上。4.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于：所述第一检测结构、第二检测结构的结构相同，每个磁阻传感器对应两个磁体，分别记为第一磁体、第二磁体，磁阻传感器设置在第一磁体、第二磁体形成的共同磁场中；初始位置时，所述磁阻传感器位于第一磁体的磁场方向与第二磁体的磁场方向相反的位置；所述磁阻传感器被配置为在膜板的偏转过程中感应第一磁体、第二磁体共同磁场的变化而输出变化的电信号。5.根据权利要求4所述的麦克风，其特征在于，初始位置时，所述磁阻传感器受到第一磁体的磁场...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹泉波，冷群文，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，北京航空航天大学青岛研究院，
类型：发明
国别省市：山东,37
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