振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体技术

振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体。抑制振动泄漏，使飞沫难以残留。该振动元件的频率调整方法具有以下步骤：准备振动元件，该振动元件具有：振动臂；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域；准备具有布线部的基板，将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板；以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分，调整所述振动臂的谐振频率。

Vibration elements and their frequency adjustment methods, oscillators, electronic devices and mobile bodies

Vibration element and frequency adjustment method, oscillator, electronic equipment and mobile body. It can restrain the vibration leakage and make the droplets difficult to remain. The frequency adjustment method of the vibration element has the following steps: preparing the vibration element, which has: a vibration arm; a first application weight, which is disposed on one main surface of the vibration arm; and a second application weight, which is disposed on another main surface of the vibration arm. When viewed from the normal direction of the main surface, the first application weight has no overlap with the second application weight. A non-overlapping region is prepared; a substrate with a wiring section is prepared, the other main side of the vibration element is directed towards the substrate side and the vibration element is fixed on the substrate; and an energy beam is irradiated from the main side to the non-overlapping region of the first overlapping region, a part of the non-overlapping region of the first overlapping region is removed, and the vibration arm is adjusted. The resonant frequency of the system.

【技术实现步骤摘要】
振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体
本专利技术涉及振动元件的频率调整方法、振动元件、振子、电子设备和移动体。
技术介绍
例如，在专利文献1中记载了压电器件，该压电器件具有：音叉型的振动片，其具有一对振动臂；以及封装，其收纳该振动片。此外，在振动臂的双面上设置有频率调整用的施重部。在这种压电器件中，在将振动片固定于封装的状态下，从上方朝施重部照射激光，去除施重部的一部分，由此，进行振动片的驱动频率的调整。专利文献1：日本特开2006-311444号公报但是，在专利文献1所记载的振动片中，由于在振动臂的双面设置有施重部，因此，当照射激光时，不仅去除了振动臂的上表面(与封装的底面相反侧的面)的施重部，也去除了下表面(封装的底面侧的面)的施重部。振动臂的下表面与封装的底面相对，因此，从下表面的施重部挥发的飞沫(渣滓)容易附着于封装的底面。在封装的底面引绕有布线，当所述飞沫附着在封装的底面上时，可能产生布线之间的短路、或不期望的寄生电容，压电器件的电特性恶化。此外，当临时附着在封装上的飞沫由于撞击等而脱离并再次附着于振动片时，还可能发生电极彼此间的短路，或者，振动特性由于质量的变化而恶化。此外，在专利文献1的振动片中，配置于振动臂的上表面的施重部和配置于下表面的施重部的厚度(质量)不同，因此，振动臂的重心从振动臂的厚度方向的中心偏移。因此，在驱动时，振动臂还会在表面外(振动臂的厚度方向上)振动，振动泄漏可能变大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供抑制振动泄漏且飞沫不易残留的振动元件的频率调整方法、振动元件、振子、电子设备和移动体。本专利技术正是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可作为以下应用例实现。本专利技术的振动元件的频率调整方法的特征在于，具有以下步骤：准备振动元件，该振动元件具有：振动臂；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域；准备具有布线部的基板，将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板；以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分，调整所述振动臂的谐振频率。由此，能够提供抑制振动泄漏且使飞沫难以残留的振动元件的频率调整方法。在本专利技术的振动元件的频率调整方法中，优选的是，在所述准备的步骤中所准备的所述振动元件中，所述第1施重部在所述俯视时配置于包含所述振动臂的宽度方向的中央的位置处。由此，容易向第1施重部照射能量束。在本专利技术的振动元件的频率调整方法中，优选的是，在所述准备的步骤中所准备的所述振动元件中，所述第2施重部在所述俯视时配置于包含夹着所述振动臂的宽度方向的中央的两侧部的位置处。由此，容易在第1施重部上形成非重叠区域。在本专利技术的振动元件的频率调整方法中，优选的是，在所述准备的步骤中，所述第1施重部的质量大于所述第2施重部的质量。由此，容易取得能量束照射后的第1施重部与第2施重部的质量平衡。在本专利技术的振动元件的频率调整方法中，优选的是，在所述调整的步骤中，在从所述振动臂的横截面观察时设所述振动臂的厚度为T、由所述第1施重部及所述第2施重部构成的施重部的重心与所述振动臂的重心在所述振动臂的厚度方向上的隔开距离为D的情况下，以满足0≤D≤0.2T的关系的方式去除所述第1施重部的一部分。由此，能够更加有效地抑制振动泄漏。本专利技术的振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，其从基部朝第1方向延伸；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部在包含所述振动臂的宽度方向的中央的位置处具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域，在从所述振动臂的横截面观察时设所述振动臂的厚度为T、由所述第1施重部及所述第2施重部构成的施重部的重心与所述振动臂的重心在所述振动臂的厚度方向上的隔开距离为D的情况下，满足0≤D≤0.2T的关系。由此，成为能够抑制振动泄漏的振动元件。在本专利技术的振动元件中，优选的是，所述第1施重部和所述第2施重部是在第2方向上的尺寸比所述基部侧大的扩宽部，并且被设置于与所述基部相反侧的末端区域，所述第2方向是与所述振动臂的所述第1方向正交并与所述主面平行的方向，所述第1施重部的所述第2方向上的长度和所述第2施重部的所述第2方向上的长度中的至少一方为所述扩宽部的所述第2方向的长度的1/2以上。由此，能够利用施重部提高振动臂的刚性(特别是扭转刚性)。本专利技术的振子的特征在于，该振子具有：本专利技术的振动元件；以及封装，其收纳所述振动元件。由此，成为能够发挥本专利技术的振动元件的效果、可靠性高的振子。本专利技术的电子设备的特征在于，该电子设备具有本专利技术的振动元件。由此，成为能够发挥本专利技术的振动元件的效果、可靠性高的电子设备。本专利技术的移动体的特征在于，该移动体具有本专利技术的振动元件。由此，成为能够发挥本专利技术的振动元件的效果、可靠性高的移动体。附图说明图1是本专利技术第1实施方式的振子的剖视图。图2是图1所示的振子具有的振动元件的俯视图。图3是图2中的A-A线剖视图。图4是图2中的B-B线剖视图。图5是示出图2所示的振动元件的驱动振动模式的示意图。图6是示出图2所示的振动元件的检测振动模式的示意图。图7是示出图2所示的振动元件具有的施重部的俯视图。图8是示出图2所示的振动元件具有的驱动臂的部分放大俯视图。图9是图8中的C-C线剖视图。图10是图1所示的振子具有的支承基板的俯视图。图11是示出图2所示的振动元件的变形例的俯视图。图12是示出振动元件的频率调整步骤的流程图。图13是用于说明振动元件的频率调整方法的俯视图。图14是用于说明振动元件的频率调整方法的剖视图。图15是用于说明振动元件的频率调整方法的剖视图。图16是本专利技术第2实施方式的振子具有的振动元件的部分放大俯视图。图17是本专利技术第3实施方式的振子具有的振动元件的部分放大剖视图。图18是本专利技术第4实施方式的振子具有的振动元件的俯视图。图19是示出图18所示的振动元件具有的施重部的俯视图。图20是示出本专利技术第5实施方式的电子设备的立体图。图21是示出本专利技术第6实施方式的电子设备的立体图。图22是示出本专利技术第7实施方式的电子设备的立体图。图23是示出本专利技术第8实施方式的移动体的立体图。图24是示出施重部的变形例的部分放大俯视图。图25是示出施重部的变形例的部分放大俯视图。图26是示出施重部的变形例的部分放大俯视图。图27是示出施重部的变形例的部分放大俯视图。标号说明1：振子；3：封装；31：基座；311：凹部；32：盖；321：槽；331、332：内部端子；333：外部端子；39：接缝环；4：振动元件；40：石英晶片；41：振动体；42、420：基部；431：检测臂；431a：扩宽部；432：检测臂；432a：扩宽部；441、442：连结臂；451：驱动臂；451a：扩宽部；451a”、451a’：缘部；451b、451c：槽；452：驱动臂；452a：扩宽部；452b、452c：槽、453：驱动臂；453a：扩宽部、453b、453c：槽；454：驱动臂；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动元件的频率调整方法，其特征在于，具有以下步骤：准备振动元件，该振动元件具有：振动臂；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域；准备具有布线部的基板，将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板；以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分，调整所述振动臂的谐振频率。

【技术特征摘要】
2017.06.30 JP 2017-1294511.一种振动元件的频率调整方法，其特征在于，具有以下步骤：准备振动元件，该振动元件具有：振动臂；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域；准备具有布线部的基板，将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板；以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分，调整所述振动臂的谐振频率。2.根据权利要求1所述的振动元件的频率调整方法，其中，在所述准备的步骤中所准备的所述振动元件中，所述第1施重部在所述俯视时配置于包含所述振动臂的宽度方向的中央的位置处。3.根据权利要求1或2所述的振动元件的频率调整方法，其中，在所述准备的步骤中所准备的所述振动元件中，所述第2施重部在所述俯视时配置于包含夹着所述振动臂的宽度方向的中央的两侧部的位置处。4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的振动元件的频率调整方法，其中，在所述准备的步骤中，所述第1施重部的质量大于所述第2施重部的质量。5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件的频率调整方法，其中，在所述调整的步骤中，在从所述振动臂的横截面观察时设所述振动臂的厚度为T、由所...

【专利技术属性】
技术研发人员：山口启一，小仓诚一郎，押尾政宏，西泽龙太，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP