检测装置、张网机制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检测装置、张网机，属于显示技术领域，其可解决现有的张网机的张网精度较低的问题。本发明专利技术的检测装置包括第一支撑件；一对激光枪，其分别设置在所述第一支撑件的两端；一对第一镜头，其分别设置在所述第一支撑件的两端；第二镜头，其与所述第一支撑件滑动连接，且位于所述第一支撑件的中间区域，用于对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测；其中，所述第一镜头的倍数低于所述第二镜头的倍数。

Inspection device and tensioner

The invention provides a detection device and a netting machine, belonging to the display technology field, which can solve the problem of low netting accuracy of the existing netting machine. The detection device of the present invention includes a first support; a pair of laser guns, which are set at both ends of the first support; a pair of first lenses, which are set at both ends of the first support; and a second lens, which is sliding connected with the first support and located in the middle area of the first support, which is used to treat the pattern position of the mask surface of the tensioning net. Information is detected, where the multiple of the first lens is lower than the multiple of the second lens.

【技术实现步骤摘要】
检测装置、张网机
本专利技术属于显示
，具体涉及一种检测装置、张网机。
技术介绍
高精度金属掩膜10(FineMetalMask，FMM)模式是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅(LowTemperaturePoly-silicon，LTPS)基板上，并利用FMM上的图形形成红、绿、蓝三种OLED器件。其中，FMM制作完成后，需要利用张网机(FMMTension)将FMM与掩膜框架贴合在一起，以形成掩膜10集成框架(MaskFrameAssembly，MFA)。具体的，如图1、图2所示，现有的张网机包括：高倍镜1(ChargeCoupledDevice，CCD)、低倍镜2、激光枪3等。高、低倍镜2通过测量FMM与掩膜框架的位置精度，以确保二者能够精准对位；激光枪3用于将精准对位后的FMM与掩膜框架焊接在一起，以此来完成将FMM与掩膜框架贴合在一起的工艺。需要说明的是，目前，张网机是以高倍镜1为基准建立坐标系的，若要实现FMM与掩膜框架的精准对位，也即提升张网机的张网精度，则必须保证CCD的测量稳定性。然而，专利技术人发现：位于龙门架的左侧的CCD与低倍镜2、激光枪3共用一个基座，该种结构使得利用CCD进行对位的过程中，整个基座也会一起运动，如图3所示，在整个对位过程中，CCD较大范围的运动极易使得整个龙门架的重心发生偏移，从而导致张网机发生震动，很明显的，震动状态下的CCD测量精准度较低，也即无法实现提升张网机的张网精度的目的。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种具有较高的检测精度的检测装置、张网机。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是一种检测装置，包括：第一支撑件；一对激光枪，其分别设置在所述第一支撑件的两端；一对第一镜头，其分别设置在所述第一支撑件的两端；第二镜头，其与所述第一支撑件滑动连接，且位于所述第一支撑件的中间区域，用于对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测；其中，所述第一镜头的倍数低于所述第二镜头的倍数。优选的是，还包括：第一基座，其与所述第二镜头固定连接；所述第一支撑件上设置有第一导轨，所述第一基座与所述第一导轨滑动连接，以使所述第二镜头沿着所述第一支撑件所在方向移动。优选的是，还包括：第一驱动单元，其与所述第一基座连接，用于驱动所述第一基座在所述第一导轨中滑动。优选的是，所述第一驱动单元包括马达。优选的是，还包括：一对第二基座，其分别设置在所述第一支撑件的两端，且位于同一端的第一镜头与激光枪连接同一个第二基座；所述第二基座与所述第一导轨滑动连接，以使所述第一镜头、激光枪沿着所述第一支撑件所在方向移动。优选的是，还包括：第二支撑件、第三支撑件，所述第二支撑件和所述第三支撑件分别连接在所述第一支撑件的两相对侧，且所述第一支撑件能够在所述第二支撑件和所述第三支撑件上滑动。优选的是，所述第二支撑件、第三支撑件上分别设置有第二导轨；所述第一支撑件包括滑动部件，所述滑动部件与所述第二导轨滑动连接，以使所述第二镜头沿垂直于所述第一支撑件所在方向移动。优选的是，还包括：第二驱动单元，其与所述滑动部件连接，用于驱动所述滑动部件在所述第二导轨中移动。优选的是，沿垂直于所述第一支撑件所在方向，一对所述激光枪对称设置，一对所述第一镜头对称设置。优选的是，所述第一镜头与第一信号线电连接，所述第一信号线用于向所述第一镜头加载第一电信号，以驱动所述第一镜头对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测；所述第二镜头与第二信号线电连接，所述第二信号线用于向所述第二镜头加载第二电信号，以驱动所述第二镜头对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测。优选的是，所述激光枪与激光光纤电连接；其中，所述激光光纤用于加载光纤信号，以驱动所述激光枪对外定向发射激光。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是一种张网机，包括上述的任意一种检测装置。附图说明图1为现有的张网机的示意图；图2为现有的张网机中的高倍镜、低倍镜、激光枪的结构示意图；图3为现有的张网机中的高倍镜处于运动状态时的位置变化示意图；图4为本专利技术的实施例1的检测装置的示意图；图5为本专利技术的实施例1的检测装置中的高倍镜、低倍镜、激光枪的结构示意图；图6为本专利技术的实施例2的检测装置中的高倍镜、低倍镜、激光枪的线路排布示意图；图7为本专利技术的实施例3的检测装置中的高倍镜处于运动状态时的位置变化示意图；其中附图标记为：1、高倍镜；2、低倍镜；3、激光枪；4、第一支撑件；41、中间区域；42、左侧边区域；43、右侧边区域；5、第二支撑件；6、第三支撑件；7、第一信号线；8、第二信号线；9、激光光纤；10、掩膜；11、第一基座；12、第二基座。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细描述。除非另外定义，本专利技术使用的技术术语或者科学术语应当为本专利技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本专利技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。实施例1：如图4所示，本实施例提供一种检测装置，包括：第一支撑件4、一对激光枪3、一对第一镜头、第二镜头；其中，一对激光枪3分别设置在第一支撑件4的两端；一对第一镜头分别设置在第一支撑件4的两端；第二镜头与第一支撑件滑动连接，且位于第一支撑件4的中间区域41，用于对待进行张网的掩膜10表面的图案位置信息进行检测。其中，第一镜头的倍数低于第二镜头的倍数，也就是说，使用第一镜头检测后的检测结果的准确度低于使用第二镜头检测后的检测结果的准确度。为便于理解本实施例的意图，优选的，以下实施例以检测精度在100um(百迈级别)左右的低倍镜2为第一镜头，检测精度小于1um(微米级别)的高倍镜1为第二镜头为例进行说明，此处应当说明的是，检测精度越小检测结果的准确度就越高。当然，本领域技术人员应当理解的是，此处仅是以第一镜头为低倍镜2、第二镜头为高倍镜1为例进行说明，也即第一镜头并不局限于低倍镜2，第二镜头也并不局限于高倍镜1，在此不做限定。具体的，如图5所示，若将本实施例中的第一支撑件4划分为中间区域41，以及位于中间区域41两侧边的左侧边区域42、右侧边区域43，则本实施例中的高倍镜1将位于第一支撑件4的中间区域41，一对激光枪3中的一者和一对低倍镜2中的一者将位于左侧边区域42中，一对激光枪3中的另一者和一对低倍镜2中的另一者将位于右侧边区域43中。该种结构设置使得在利用本实施例中的高倍镜1对待进行张网的掩膜10表面的图案位置信息进行检测的过程中，仅仅只有高倍镜1在中间区域41中发生运动，而分别位于左侧边区域42、右侧边区域43的激光枪3、低倍镜2则原地不动。也就是说，在整个检测过程中，位于左侧边区域42的低倍镜2、激光枪3与位于右侧边区域43的低倍镜2、激光枪3的重力始终是相同的，二者始终维持着整个第一支撑件4的平衡，从而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：第一支撑件；一对激光枪，其分别设置在所述第一支撑件的两端；一对第一镜头，其分别设置在所述第一支撑件的两端；第二镜头，其与所述第一支撑件滑动连接，且位于所述第一支撑件的中间区域，用于对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测；其中，所述第一镜头的倍数低于所述第二镜头的倍数。

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：第一支撑件；一对激光枪，其分别设置在所述第一支撑件的两端；一对第一镜头，其分别设置在所述第一支撑件的两端；第二镜头，其与所述第一支撑件滑动连接，且位于所述第一支撑件的中间区域，用于对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测；其中，所述第一镜头的倍数低于所述第二镜头的倍数。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括：第一基座，其与所述第二镜头固定连接；所述第一支撑件上设置有第一导轨，所述第一基座与所述第一导轨滑动连接，以使所述第二镜头沿着所述第一支撑件所在方向移动。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，还包括：第一驱动单元，其与所述第一基座连接，用于驱动所述第一基座在所述第一导轨中滑动。4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述第一驱动单元包括马达。5.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，还包括：一对第二基座，其分别设置在所述第一支撑件的两端，且位于同一端的第一镜头与激光枪连接同一个第二基座；所述第二基座与所述第一导轨滑动连接，以使所述第一镜头、激光枪沿着所述第一支撑件所在方向移动。6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括：第二支撑件、第三支撑件，所述第二支撑件和所述第三支撑件分别连接在所述第一支撑件...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永茂，张文畅，许进，韩丰明，苏宇峰，郭登俊，马超，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11