一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀制造技术

一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔、多根进气管、刀身和充气升压装置，所述的进气管沿长度方向设于储气空腔顶部，进气管与储气空腔内部空腔连通，所述的刀身设于储气空腔底部，刀身内沿进气管排列方向开有一条或多条相间的风槽，所述的风槽与储气空腔内部空腔连通，所述的充气升压装置将升压后的气体经进气管充入储气空腔后，经刀身内的风槽压出风槽外吹干硅片表面。风槽的设计能均匀地吹干带有水分的硅片表面，多根进气管排列的设计使整体风刀在进气和出气过程中，不会出现现有技术的风刀中进气管附近的气压较大，远离进气管的部分气压不足的问题，整体风刀的气流和气压更为均匀，吹干效果更好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀
本技术涉及一种风刀，特别是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀。
技术介绍
风刀是现代工业加工中使用较为广泛的加工刀具，因其噪音少，节能环保，对环境污染少的优点在越来越多的加工中发挥不可替代的作用。在硅片制绒技术中，聚晶制绒机、刻蚀机的酸碱槽内的药液反应后，需要清洗硅片表面残留的药液，在冲洗后硅片表面仍会残留大量水滴，而现有的风刀为单气孔风刀，风刀在吹干分水的过程中距离气孔较远的位置吹干效果差，这就造成整体吹干过程中需要进行多次不同位置的吹干，整体吹干工序较为繁琐复杂，吹干工序的整体成本较高，后期的维护维修也较为麻烦。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构简单合理、硅片表面吹干效果好的用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀。为了解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔、多根进气管、刀身和充气升压装置，所述的进气管沿长度方向设于储气空腔顶部，进气管与储气空腔内部空腔连通，所述的刀身设于储气空腔底部，刀身内沿进气管排列方向开有一条或多条相间的风槽，所述的风槽与储气空腔内部空腔连通，所述的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔(1)、多根进气管(2)、刀身(4)和充气升压装置(3)，其特征在于：所述的进气管(2)沿长度方向排列分布于储气空腔(1)顶部，进气管(2)与储气空腔(1)内部空腔连通，所述的刀身(4)设于储气空腔(1)底部，刀身(4)内沿进气管(2)排列方向开有一条或多条相间的风槽(5)，所述的风槽(5)与储气空腔(1)内部空腔连通，所述的充气升压装置(3)将升压后的气体经进气管(2)充入储气空腔(1)后，经刀身(4)内的风槽(5)压出风槽(5)外吹干硅片表面。

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔(1)、多根进气管(2)、刀身(4)和充气升压装置(3)，其特征在于：所述的进气管(2)沿长度方向排列分布于储气空腔(1)顶部，进气管(2)与储气空腔(1)内部空腔连通，所述的刀身(4)设于储气空腔(1)底部，刀身(4)内沿进气管(2)排列方向开有一条或多条相间的风槽(5)，所述的风槽(5)与储气空腔(1)内部空腔连通，所述的充气升压装置(3)将升压后的气体经进气管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴文州，
申请(专利权)人：永嘉利为新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33