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一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔、多根进气管、刀身和充气升压装置，所述的进气管沿长度方向设于储气空腔顶部，进气管与储气空腔内部空腔连通，所述的刀身设于储气空腔底部，刀身内沿进气管排列方向开有一条或多条相间的...
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