【技术实现步骤摘要】
一种抗氧化合金铜丝的制备方法
本专利技术涉及合金制造领域,尤其涉及一种抗氧化合金铜丝的制备方法。
技术介绍
合金铜丝作为微电子工业的新型研发材料,以其优良的力学性能、电学性能和低成本因素,已经成功替代合金金丝应用于IC后道封装中。随着IC封装合金工艺技术及设备的改进,铜丝应用从低端产品如DIP、SOP向中高端QFP、QFN、多层线、小间距焊盘产品领域扩展。因封装制程对合金铜丝的性能要求逐步提高,促进了铜丝生产商对铜丝工艺性能向趋近于金丝工艺性能发展,成为替代金丝封装的新型材料。但目前铜线的应用上由于其本身容易氧化、合金工艺不成熟等原因,在大规模集成电路封装中的应用受到了限制,通过微合金化提高合金铜丝性能是较为有效的方法。基于目前通过微合金化提高合金铜丝性能这一研究方向,开发出一种新型合金铜丝以增强其抗氧化性,从而促进合金铜丝在集成电路中的大规模应用就显得尤为重要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足之处而提供一种抗氧化合金铜丝的制备方法。为实现上述目的,本专利技术采用的技术方案为:一种抗氧化合金铜丝的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)按配 ...
【技术保护点】
1.一种抗氧化合金铜丝的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)按配比将Pr、Ni、Sn、Pd和Cu混合,加入温度为1100‑1350℃的熔炼炉中真空熔炼,保温至熔化完全得到熔液,精炼30‑50min后,对熔炼炉停止抽真空,通入惰性气体进行磁力搅拌,得混合铜液;(2)将步骤(1)的混合铜液采用牵引机组离合式真空上引得到直径为15‑20mm的铜杆坯料,连续挤压形成铜母线,将铜母线进行拉拔后得到直径为0.2‑0.4mm铜丝;(3)将步骤(2)得到的铜丝在连续退火炉中进行中间退火,退火温度为600‑650℃,退火速度为180‑200rpm,退火过程中通入氮气和氢气的混合气体,并 ...
【技术特征摘要】
1.一种抗氧化合金铜丝的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)按配比将Pr、Ni、Sn、Pd和Cu混合,加入温度为1100-1350℃的熔炼炉中真空熔炼,保温至熔化完全得到熔液,精炼30-50min后,对熔炼炉停止抽真空,通入惰性气体进行磁力搅拌,得混合铜液;(2)将步骤(1)的混合铜液采用牵引机组离合式真空上引得到直径为15-20mm的铜杆坯料,连续挤压形成铜母线,将铜母线进行拉拔后得到直径为0.2-0.4mm铜丝;(3)将步骤(2)得到的铜丝在连续退火炉中进行中间退火,退火温度为600-650℃,退火速度为180-200rpm,退火过程中通入氮气和氢气的混合气体,并以6-10ml/min的速度向所述铜丝滴加抗氧化液;(4)将经步骤(3)处理后的铜丝50℃烘干后,再次进行拉拔,得到直径为0.02-0.04mm铜基超细丝材,再次在连续退火炉中进行中间退火,退火温度为500-550℃,退火速度为140-170rpm,退火过程中通入氮气和氢气的混合气体,得到所述抗氧化合金铜丝。2.如权利要求1所述的抗氧化合金铜丝的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中Pr、Ni、Sn、Pd、Cu的重量份为Pr0.1-0.5份,Ni0.1-0.5份,Sn0.03-0.08份,Pd0.01-0.03份,余量为纯度不小于99.9999%的Cu。3.如权利要求1或2所述的抗氧化合金铜丝的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中采...
【专利技术属性】
技术研发人员:尹荔松,何捷娴,王向科,潘申,黄锦照,
申请(专利权)人:广东华科新材料研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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