The embodiment of the invention discloses a microphone vibration film and a microphone. The microphone vibration diaphragm comprises: a circular diaphragm and a plurality of buffer structures arranged in the edge area of the circular diaphragm, which are uniformly distributed along the circumference of the circular diaphragm; the buffer structure comprises a first circular arc groove with the center at the boundary of the circular diaphragm, and a second circular arc groove concentric with the circular diaphragm; and the first circular arc groove. The depth of the groove and the second circular arc groove is less than the thickness of the circular diaphragm. The scheme of the embodiment of the invention can buffer the mechanical stress in the preparation process of microphone vibration film, improve the sensitivity of microphone vibration film, and thereby improve the product performance of microphone.
【技术实现步骤摘要】
一种麦克风振膜及麦克风
本专利技术实施例涉及麦克风振膜技术，尤其涉及一种麦克风振膜及麦克风。
技术介绍
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多。人们对通话质量的要求越来越高。目前应用较多的是微机电系统麦克风(microelectromechanicalsystemmicrophone，MEMS)。硅MEMS麦克风采用电容式的原理，由一个MEMS振膜和麦克风中的背板形成电容结构。当MEMS振膜感受到外部的音频声压信号后，MEMS振膜与背板之间的距离改变，电容改变，通过测量该电容变化确定音频声压信号。现有技术中，硅MEMS麦克风的振膜一般采用多晶硅薄膜，在制备过程中不可避免存在机械应力，影响MEMS麦克风的产品性能。
技术实现思路
本专利技术提供一种麦克风振膜及麦克风，以缓冲麦克风制备过程中的机械应力，提升麦克风振膜的灵敏度，从而提升麦克风的产品性能。第一方面，本专利技术实施例提供了一种麦克风振膜，该麦克风振膜包括：圆形膜片以及设置于所述圆形膜片边缘区域的多个缓冲结构，多个所述缓冲结构沿所述圆形膜片的圆周均匀分布；所述缓冲结构包括圆心位于所述圆形膜片的边界的第一圆弧...
【技术保护点】
1.一种麦克风振膜，其特征在于，包括：圆形膜片以及设置于所述圆形膜片边缘区域的多个缓冲结构，多个所述缓冲结构沿所述圆形膜片的圆周均匀分布；所述缓冲结构包括圆心位于所述圆形膜片的边界的第一圆弧形沟槽，以及与所述圆形膜片同心的第二圆弧形沟槽；所述第一圆弧形沟槽和所述第二圆弧形沟槽的深度小于所述圆形膜片的厚度。
【技术特征摘要】
1.一种麦克风振膜，其特征在于，包括：圆形膜片以及设置于所述圆形膜片边缘区域的多个缓冲结构，多个所述缓冲结构沿所述圆形膜片的圆周均匀分布；所述缓冲结构包括圆心位于所述圆形膜片的边界的第一圆弧形沟槽，以及与所述圆形膜片同心的第二圆弧形沟槽；所述第一圆弧形沟槽和所述第二圆弧形沟槽的深度小于所述圆形膜片的厚度。2.根据权利要求1所述的麦克风振膜，其特征在于：所述第一圆弧形沟槽与所述第二圆弧形沟槽相交，且所述第二圆弧形沟槽在所述第一圆弧形沟槽处截止。3.根据权利要求1所述的麦克风振膜，其特征在于：所述缓冲结构包括多个同心设置的第一圆弧形沟槽，且沿所述圆形膜片的直径方向，多个所述同心设置的第一圆弧形沟槽的间距相等。4.根据权利要求1所述的麦克风...
【专利技术属性】
技术研发人员：缪建民，姚运强，
申请(专利权)人：华景科技无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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