一种膜质检测装置及其制作方法和检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种膜质检测装置及其制作方法和检测方法，涉及显示技术领域，以保证绝缘层的膜质性能较好的情况下，减少形成绝缘层时金属层的氧化强度。该膜质检测装置包括衬底基板和设在衬底基板上的至少一个电容，每个电容包括依次层叠设置的第一金属层、中间绝缘层和第二金属层；第一金属层在衬底基板所在板面的正投影位于第二金属层在衬底基板所在板面的正投影内且具有交叠区域，中间绝缘层至少具有爬坡部，爬坡部在衬底基板所在板面的正投影位于交叠区域。所述膜质检测装置的制作方法用于制作上述膜质检测装置。本发明专利技术提供的膜质检测装置及其制作方法和检测方法用于检测膜质均匀性中。

A Membrane Detection Device and Its Fabrication Method and Detection Method

The invention discloses a film quality detection device, a manufacturing method and a detection method thereof, which relates to the display technology field, in order to reduce the oxidation strength of the metal layer when forming an insulating layer under the condition that the film quality of the insulating layer is better. The film detection device includes at least one capacitor on the substrate and each capacitor includes a first metal layer, an intermediate insulating layer and a second metal layer stacked in turn; the positive projection of the first metal layer on the surface of the substrate is located in the positive projection of the second metal layer on the surface of the substrate and has an overlapping area, and the intermediate insulating layer has at least one. In the climbing part, the positive projection of the climbing part on the surface of the substrate substrate is located in the overlapping area. The manufacturing method of the film quality detection device is used to fabricate the film quality detection device. The film quality detection device provided by the invention and its fabrication method and detection method are used to detect the uniformity of the film quality.

【技术实现步骤摘要】
一种膜质检测装置及其制作方法和检测方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种膜质检测装置及其制作方法和检测方法。
技术介绍
有机电致发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，缩写为OLED)显示器是一种自发光的平板显示设备，其不需背光源、可实现柔性显示，具有良好的应用前景。现有OLED显示器包括阵列基板以及形成在阵列基板上的发光器件阵列。阵列基板所包括的薄膜晶体管的绝缘层一般采用高温沉积的工艺制作而成，但这也使得先于绝缘层形成的金属膜层容易发生氧化。在实际制作过程中，如果要保证绝缘层具有高致密性，那么需要采用尽量高的沉积温度沉积绝缘层，但这容易使得先于绝缘层形成的金属膜层发生氧化问题。而如果要降低先于绝缘层形成的金属膜层的氧化强度，那么就需尽量降低制作绝缘层的沉积温度，但这也使得绝缘层的致密性受到影响，且在金属膜层的刻蚀坡度角度比较大的时候，绝缘层对应金属膜层坡度较大位置的区域较薄或者膜质比较疏松，导致在多次高温处理后，绝缘层这个区域的膜层发生断裂，使得位于绝缘层的两侧的金属层发生短路。为了检测绝缘层这个区域的膜质均匀性，一般采用氢氟酸腐蚀的方式对绝缘层这本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜质检测装置，其特征在于，包括衬底基板和设在所述衬底基板上的至少一个电容，每个所述电容包括远离所述衬底基板的方向层叠设置的第一金属层、中间绝缘层和第二金属层；所述第一金属层在衬底基板所在板面的正投影位于所述第二金属层在衬底基板所在板面的正投影内，所述第一金属层在衬底基板所在板面的正投影与所述第二金属层在衬底基板所在板面的正投影具有交叠区域，所述中间绝缘层至少具有爬坡部，所述爬坡部在衬底基板所在板面的正投影位于所述交叠区域。

【技术特征摘要】
1.一种膜质检测装置，其特征在于，包括衬底基板和设在所述衬底基板上的至少一个电容，每个所述电容包括远离所述衬底基板的方向层叠设置的第一金属层、中间绝缘层和第二金属层；所述第一金属层在衬底基板所在板面的正投影位于所述第二金属层在衬底基板所在板面的正投影内，所述第一金属层在衬底基板所在板面的正投影与所述第二金属层在衬底基板所在板面的正投影具有交叠区域，所述中间绝缘层至少具有爬坡部，所述爬坡部在衬底基板所在板面的正投影位于所述交叠区域。2.根据权利要求1所述的膜质检测装置，其特征在于，所述电容的数量为多个时，多个所述电容并联在一起。3.根据权利要求2所述的膜质检测装置，其特征在于，各个所述电容所包括的第一金属层通过第一导电层连接在一起；和/或，各个所述电容所包括的第二金属层通过第二导电层连接在一起。4.根据权利要求3所述的膜质检测装置，其特征在于，当各个所述电容所包括的第一金属层通过第一导电层连接在一起，各个所述电容所包括的第二金属层通过第二导电层连接在一起时，所述第一导电层在衬底基板所在板面的正投影与所述第二导电层在衬底基板所在板面的正投影相互独立。5.根据权利要求2所述的膜质检测装置，其特征在于，各个所述电容所包括的中间绝缘层连接在一起。6.根据权利要求1～5任一项所述的膜质检测装置，其特征在于，所述膜质检测装置还包括电学性能测试单元，所述电学性能测...

【专利技术属性】
技术研发人员：方金钢，成军，丁录科，周斌，闫梁臣，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11