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本发明公开一种膜质检测装置及其制作方法和检测方法，涉及显示技术领域，以保证绝缘层的膜质性能较好的情况下，减少形成绝缘层时金属层的氧化强度。该膜质检测装置包括衬底基板和设在衬底基板上的至少一个电容，每个电容包括依次层叠设置的第一金属层、中间绝...
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