软板真空蚀刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是软板真空蚀刻装置，包括下行辘滚轮组、直齿轮、伞齿轮、上滚轮片、真空吸管、软板与输送轴，下行辘滚轮组包含锁紧套、下滚轮片与输送轴，下行辘滚轮组一端设有直齿轮，上下端直齿轮之间实现齿轮传动，上滚轮片依次分布在真空吸管之间，且上滚轮片位置比真空吸管底1至2mm，形成的高度差不会造成由于真空吸管的吸力作用而导致软板卡板的故障，真空吸管通过负压方式对蚀刻液进行回收。本实用新型专利技术发明专利技术基于软板蚀刻机进行工艺改进，采用真空吸附方式对软板表面的蚀刻液进行全方位回收，并且不影响软板在滚轮片之间顺畅的直线运动，实现高精度、高产能蚀刻工艺效果，具有广泛的实用性。

【技术实现步骤摘要】
软板真空蚀刻装置
本技术涉及PCB板蚀刻领域，特别是软板真空蚀刻装置。
技术介绍
目前市场上软板蚀刻装置使用广泛，普遍是通过喷嘴对软板表面进行药水蚀刻，不过该作业方式蚀刻精度差与效率不高，在如今高速发展电子产品市场上，软板的要求也越来越高，大批量化生产已经成为了趋势。为了满足企业适应市场的发展，特别是在PCB板超精密处理上，软板真空蚀刻装置成为了研发的重点。
技术实现思路
基于此，有必要针对现有的软板蚀刻装置进行工艺改进，对于其蚀刻精度差、效率底等不足，提供一种软板真空蚀刻装置。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：软板真空蚀刻装置，包括下行辘滚轮组、直齿轮、伞齿轮、上滚轮片、真空吸管、软板与输送轴；进一步的，下行辘滚轮组包含锁紧套、下滚轮片与输送轴，两个锁紧套实现对多个下滚轮片的限位，将它们设计成独立的整体，大大提高了软板真空蚀刻装置整体组装效率与稳定性；进一步的，锁紧套、上滚轮片与下滚轮片均采用耐酸碱材料制成，且符合国际环保ROHS标准，其中上滚轮片与下滚轮片整个支撑面采用圆弧结构，与软板的接触面大大减少，高度保护软板表面与预防了对软板运动偏移的隐患；进一步的，直齿轮与伞齿轮均采用高强度耐腐蚀材料制成，并且模数保证一致，实现齿轮传动；进一步的，真空吸管设计成扁平状，底面两边设有小孔，中间设有长条孔，而真空吸管在负压状态下充分抽取软板表面的蚀刻液，均匀软板板边与板中间部位的蚀刻速率，从而阻止“水池效应”的发生；进一步的，上滚轮片(4)低于真空吸管1至2mm，形成的高度差保证了软板在吸附状态下不卡板。综上所述，本技术具有以下有益效果：1.下行辘滚轮组作为独立的整体，提高了软板真空蚀刻装置的组装效率与稳定性；2.锁紧套、上滚轮片与下滚轮片均采用耐酸碱材料制成，且符合国际环保ROHS标准，大大延长了使用寿命；3.上滚轮片与下滚轮片整个支撑面采用圆弧结构，与软板的接触面大大减少，高度保护软板表面与预防了对软板运动偏移的隐患；4.直齿轮与伞齿轮均采用高强度耐腐蚀材料制成，并且模数保证一致，实现齿轮传动，大大延长了使用寿命；5.真空吸管底面两边设有小孔，中间设有长条孔，而真空吸管在负压状态下充分抽取软板表面的蚀刻液，均匀软板板边与板中间部位的蚀刻速率，从而阻止“水池效应”的发生；6.上滚轮片低于真空吸管1至2mm，形成的高度差保证了软板在吸附状态下不卡板。附图说明图1是本技术中软板真空蚀刻装置的结构示意图；图2是本技术中下行辘滚轮组的结构示意图；图3是本技术中真空吸管与上滚轮片的结构示意图；图4是本技术中上滚轮片与下滚轮片截面的结构示意图；图中的1是下行辘滚轮组、2是直齿轮、3是伞齿轮、4是上滚轮片、5是真空吸管、6是输送轴、7是锁紧套、8是下滚轮片、9是软板。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。如图1所示，软板真空蚀刻装置包括下行辘滚轮组(1)、直齿轮(2)、伞齿轮(3)、上滚轮片(4)、真空吸管(5)、软板(9)与输送轴(6)，且下行辘滚轮组(1)包含锁紧套(7)、下滚轮片(8)与输送轴(6)。如图1所示，下行辘滚轮组(1)包含锁紧套(7)、下滚轮片(8)与输送轴(6)，两个锁紧套(7)对下滚轮片(8)组的首尾端进行限制，从而保证下滚轮片(8)在高速运载的情况下不偏移，下滚轮片(8)的数量按照软板真空蚀刻装置的使用范围进行合理化设计，实现通用性设计，输送轴(6)采用高强度钢制造且进行表面热处理工艺，能实现耐高温、耐酸碱等功能，大大延长其使用寿命。如图2所示，锁紧套(7)、上滚轮片(4)与下滚轮片(8)均采用耐酸碱材料制成，且符合国际环保ROHS标准，其中上滚轮片(4)与下滚轮片(8)整个支撑面采用圆弧结构，从而使上滚轮片(4)、下滚轮片(8)与软板(9)的有效接触面大大减少，高度保护软板(9)表面与预防了对软板(9)运动偏移的隐患。上滚轮片(4)与下滚轮片(8)采用注塑成型工艺制成，内部高分子结构稳定，并且采用高精度的模具大批量生产，生产效率高，模具使用寿命高达10万年，大大降低了上滚轮片(4)与下滚轮片(8)制造成本。如图3所示，直齿轮(2)与伞齿轮(3)均采用高强度耐腐蚀材料制成，制造工艺采用注塑模具工艺，可实现大批量的生产，并且使用寿命长，直齿轮(2)与伞齿轮(3)模数保证一致，齿面能实现互相咬合，并且组装便利与更换方便。如图1所示，真空吸管(5)设计成扁平状，底面两边设有小孔，中间设有长条孔，小孔与长条孔等吸口对软板(9)表面的残余蚀刻液进行全覆盖，所以真空吸管(5)在负压状态下可充分抽取软板(9)表面的蚀刻液，均匀软板(9)板边与板中间部位的蚀刻速率，从而阻止“水池效应”的发生，实现软板(9)超精密蚀刻加工，大大提高了软板(9)蚀刻精度，满足对软板(9)的高质量把控。如图3所示，上滚轮片(4)低于真空吸管(5)1至2mm，形成的高度差保证了软板(9)在吸附状态下不卡板，而真空吸管(5)在负压状态下仅仅充分抽取软板(9)表面的蚀刻液。如图1所示，软板(9)包含薄板和超薄板，厚度范围＜0.1mm，达到软板真空蚀刻装置对软板(9)合理厚度范围之内，下行辘滚轮组(1)与上滚轮片(4)、真空吸管(5)互不接触，中间通道可满足软板(9)直线运动。工作流程概述：软板(9)表面经过蚀刻液除去未被抗蚀剂覆盖的不需要保留的铜，直齿轮(2)与伞齿轮(3)齿轮传动实现了下行辘滚轮组(1)与上滚轮片(4)的同步转动，软板(9)由于下行辘滚轮组(1)与上滚轮片(4)的柔性协作从而实现流畅的直线向前运动，真空吸管(5)处于负压状态下，其底面小孔与长条孔等吸口对经过的软板(9)表面残余的蚀刻液进行吸附与回收，均匀软板(9)板边与板中间部位的蚀刻速率，从而阻止“水池效应”的发生。以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.软板真空蚀刻装置，包括下行辘滚轮组(1)、直齿轮(2)、伞齿轮(3)、上滚轮片(4)、真空吸管(5)、软板(9)与输送轴(6)，所述下行辘滚轮组(1)包含锁紧套(7)、下滚轮片(8)与输送轴(6)，其特征在于，所述下行辘滚轮组(1)一端设有直齿轮(2)，所述上滚轮片(4)依次分布在真空吸管(5)之间，且上滚轮片(4)位置比真空吸管(5)低1至2mm，所述真空吸管(5)采用扁平状设计，底面两边设有小孔，中间设有长条孔，所述输送轴(6)与上滚轮片(4)紧密固定，而在一端上与直齿轮(2)固定，所述直齿轮(2)与伞齿轮(3)实现齿轮传动，所述软板(9)在下行辘滚轮组(1)与上滚轮片(4)之间。

【技术特征摘要】
1.软板真空蚀刻装置，包括下行辘滚轮组(1)、直齿轮(2)、伞齿轮(3)、上滚轮片(4)、真空吸管(5)、软板(9)与输送轴(6)，所述下行辘滚轮组(1)包含锁紧套(7)、下滚轮片(8)与输送轴(6)，其特征在于，所述下行辘滚轮组(1)一端设有直齿轮(2)，所述上滚轮片(4)依次分布在真空吸管(5)之间，且上滚轮片(4)位置比真空吸管(5)低1至2mm，所述真空吸管(5)采用扁平状设计，底面两边设有小孔，中间设有长条孔，所述输送轴(6)与上滚轮片(4)紧密固定，而在一端上与直齿轮(2)固定，所述直齿轮(2)与伞齿轮(3)实现齿轮传动，所述软板(9)在下行辘滚轮组(1)与上滚轮片(4)之间。2.根据权利要求1所述的软板真空蚀刻装置，其特征在于，所述下行辘滚轮组(1)含有锁紧套(7)两个，下滚轮片(8)的数量按照软板真空蚀刻装置的使用范围进行合理化设计。3.根据权利要求1所述的软板真空蚀刻装置，其特征在于，所述直齿轮(2)与...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢南海，杨小冬，李延奇，
申请(专利权)人：广东达源设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44