一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，包括工作台，工作台上开设有通孔，通孔的直径大于待照胶晶圆的直径，通孔上盖设有用于放置待照胶晶圆的透光板；工作台下方设置有UV面光源，且UV面光源的照射区域包括通孔；还包括用于放置在待照胶晶圆上的压块。先将待照胶晶圆放置在通孔上方的透光板上，且待照胶晶圆的玻璃片在晶圆的下方，再用压块从待照胶晶圆的上方压紧待照胶晶圆，最后打开UV面光源，从工作台下方照射待照胶晶圆；由于UV面光源的光线从通孔透过透光板，直接照射到待照胶晶圆的玻璃片一侧，不存在压块等任何挡光物件，仅需一次照胶，提高照胶效率，且照射时间一致，固化度一致，有效提高可靠性。

A Photoresist Device for Wafer of Planar Waveguide Optical Divider

The utility model relates to a gluing device for the wafer of a planar waveguide optical splitter, which comprises a workbench with through holes arranged on the workbench. The diameter of the through holes is larger than the diameter of the glue wafer to be illuminated. A transparent plate for placing the glue wafer to be illuminated is arranged on the top of the through holes. Under the workbench, a UV surface light source is arranged, and the irradiation area of the UV surface light source includes through holes. A compact on a wafer. Firstly, the irradiated glue wafer is placed on the transparent plate above the through hole, and the glass sheet of the irradiated glue wafer is under the wafer. Then, the irradiated glue wafer is pressed from the top of the irradiated glue wafer by a pressing block. Finally, the UV surface light source is opened to illuminate the irradiated glue wafer from below the worktable. Because the light of the UV surface light source passes through the through the through hole through the transparent plate and directly irradiates the glass sheet side of the irradiated glue wafer, If there are any light-shielding objects such as pressing blocks, only one photoresist is needed to improve the photoresist efficiency, and the irradiation time is the same, the curing degree is the same, and the reliability is effectively improved.

【技术实现步骤摘要】
一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置
本技术涉及光通讯
，特别涉及一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置。
技术介绍
光配线网是基于无源光网络技术，通过光分路器为光线路终端与光网络单元之间提供光传输通道。而平面波导型光分路器晶圆的照胶是光分路器生产过程中至关重要的环节。平面波导型光分路器芯片的晶圆厚度只有1mm，而单颗芯片使用时需要2.5mm的厚度，这就需要在晶圆上面粘接一片1.5mm厚度左右的玻璃片。传统工艺粘接晶圆与玻璃片时，将晶圆与玻璃片之间涂满UV胶水贴合制成待照胶晶圆，置于工作台上，且玻璃片在晶圆上方，用压块压住玻璃片，再用UV面光源从上面进行照胶；但是，因为压块挡光，需当压块周边UV胶水固化到一定程度后，将压块取下，再继续进行一次照胶，以使压块下方UV胶水固化；此工艺存在如下问题：1、需要照胶两次，效率低；2、压块下方和压块周边UV胶水受照射时间不一致，导致固化度不一致，进而易出现可靠性问题。而如果不使用压块，因为玻璃片很轻，且UV胶水由液态转化为固态过程中变形及张力的影响，易导致胶水有气泡或者晶圆与玻璃片错位等问题，故必须使用压块。
技术实现思路
本技术目的是提供一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，解决现有技术中存在的上述问题。本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，包括工作台，所述工作台上开设有通孔，所述通孔的直径大于待照胶晶圆的直径，所述通孔上盖设有用于放置所述待照胶晶圆的透光板；所述工作台下方设置有UV面光源，且所述UV面光源的照射区域包括所述通孔；还包括用于放置在所述待照胶晶圆上的压块。本技术的有益效果是：先将待照胶晶圆放置在通孔上方的透光板上，且待照胶晶圆的玻璃片在晶圆的下方，再用压块从待照胶晶圆的上方压紧待照胶晶圆，最后打开UV面光源，从工作台下方照射待照胶晶圆；由于UV面光源的光线从通孔透过透光板，直接照射到待照胶晶圆的玻璃片一侧，不存在压块等任何挡光物件，仅需一次照胶，提高照胶效率，且照射时间一致，固化度一致，有效提高可靠性。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进。进一步，所述照胶装置还包括用于放置在所述工作台上方笼罩所述透光板、所述待照胶晶圆和所述压块的光罩。采用上述进一步方案的有益效果是：放置好待照胶晶圆和压块，盖上光罩后，再打开UV面光源进行照胶；避免照胶过程中，部分透过透光板从待照胶晶圆周边射出的UV光线对操作人员带来损伤。进一步，所述光罩的内表面为黑色。采用上述进一步方案的有益效果是：黑色内表面易于对UV光线进行吸收，进一步避免UV光线透射出来，对操作人员带来损伤。进一步，所述照胶装置还包括反光杯，所述反光杯的小口径端与所述UV面光源的发光面密封连接，所述反光杯的大口径端与所述工作台的下表面密封连接。采用上述进一步方案的有益效果是：反光杯将UV面光源发射出的UV光线大部分反射到通孔位置处，提高光效。进一步，所述反光杯的内侧面为铝合金全镜面反光片。采用上述进一步方案的有益效果是：进一步提高光效。进一步，所述透光板的透光率大于或等于90％。采用上述进一步方案的有益效果是：更进一步提高光效。进一步，所述UV面光源由UV点光源阵列组成。采用上述进一步方案的有益效果是：采用UV点光源阵列组成UV面光源，利于实现大面积的UV面光源，进而提高待照胶晶圆的受照射均匀性。附图说明图1为本技术一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置的结构示意图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、工作台，11、通孔，2、待照胶晶圆，3、透光板，4、UV面光源，41、UV点光源，5、压块，6、光罩，7、反光杯。具体实施方式以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。如图1所示，一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，包括工作台1，所述工作台1上开设有通孔11，所述通孔11的直径大于待照胶晶圆2的直径，所述通孔11上盖设有用于放置所述待照胶晶圆2的透光板3；所述工作台1下方设置有UV面光源4，且所述UV面光源4的照射区域包括所述通孔11；还包括用于放置在所述待照胶晶圆2上的压块5。所述照胶装置还包括用于放置在所述工作台1上方笼罩所述透光板3、所述待照胶晶圆2和所述压块5的光罩6。所述光罩6的内表面为黑色。所述照胶装置还包括反光杯7，所述反光杯7的小口径端与所述UV面光源4的发光面密封连接，所述反光杯7的大口径端与所述工作台1的下表面密封连接。所述反光杯7的内侧面为铝合金全镜面反光片；从成本角度考虑，实际使用中，反光杯7的内侧面也可为锡纸，替代铝合金全镜面反光片。所述透光板3的透光率大于或等于90％。所述UV面光源4由UV点光源41阵列组成，如将UV点光源41组成3X3、4X4或5X5阵列，形成UV面光源4。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)上开设有通孔(11)，所述通孔(11)的直径大于待照胶晶圆(2)的直径，所述通孔(11)上盖设有用于放置所述待照胶晶圆(2)的透光板(3)；所述工作台(1)下方设置有UV面光源(4)，且所述UV面光源(4)的照射区域包括所述通孔(11)；还包括用于放置在所述待照胶晶圆(2)上的压块(5)。

【技术特征摘要】
1.一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)上开设有通孔(11)，所述通孔(11)的直径大于待照胶晶圆(2)的直径，所述通孔(11)上盖设有用于放置所述待照胶晶圆(2)的透光板(3)；所述工作台(1)下方设置有UV面光源(4)，且所述UV面光源(4)的照射区域包括所述通孔(11)；还包括用于放置在所述待照胶晶圆(2)上的压块(5)。2.根据权利要求1所述一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，还包括用于放置在所述工作台(1)上方笼罩所述透光板(3)、所述待照胶晶圆(2)和所述压块(5)的光罩(6)。3.根据权利要求2所述一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：余创，刘丹，
申请(专利权)人：武汉驿路通科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42