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本实用新型涉及一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，包括工作台，工作台上开设有通孔，通孔的直径大于待照胶晶圆的直径，通孔上盖设有用于放置待照胶晶圆的透光板；工作台下方设置有UV面光源，且UV面光源的照射区域包括通孔；还包括用于放置在待照胶晶...
该专利属于武汉驿路通科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉驿路通科技股份有限公司授权不得商用。

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