阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置，用以降低无机绝缘层的应力。该阵列基板包括基底、位于基底上的有源层和栅极，其中，还包括：第一无机绝缘层和第二无机绝缘层；第一无机绝缘层位于有源层上，第一无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第一开孔；第二无机绝缘层位于栅极上，第二无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第二开孔。第一开孔和第二开孔的设置，能够降低第一无机绝缘层和第二无机绝缘层的应力，提升可折叠产品的弯折性能，改善弯折断裂现象，进而提升产品良率。

Array Substrate and Its Manufacturing Method, Display Panel and Display Device

The embodiment of the present invention provides an array substrate and its fabrication method, a display panel and a display device for reducing the stress of an inorganic insulating layer. The array substrate includes a substrate, an active layer on the substrate and a gate, including: a first inorganic insulating layer and a second inorganic insulating layer; a first inorganic insulating layer is located on the active layer, and the first inorganic insulating layer is provided with at least one first opening at the preset position; a second inorganic insulating layer is located on the grid, and a second inorganic insulating layer is provided with at least one preset position. The second opening. The setting of the first and second openings can reduce the stress of the first and second inorganic insulating layers, improve the bending performance of foldable products, improve the bending fracture phenomenon, and then improve the yield of products.

【技术实现步骤摘要】
阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置。
技术介绍
OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)是指利用有机半导体材料和发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光的二极管。OLED发光原理是用ITO(氧化铟锡)透明电极和金属电极分别作为器件的阳极和阴极，在一定电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子注入层和空穴传输层，电子和空穴分别经过电子注入层和空穴传输层迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，发光分子经过辐射弛豫而发出可见光。OLED具有更薄更轻、主动发光(不需要背光源)、无视角问题、高清晰、高亮度、响应快速、能耗低、使用温度范围广、抗震能力强、成本低和可实现柔性显示等优点，OLED显示面板得到了越来越广泛的应用。本申请的专利技术人对现有技术OLED显示面板进行研究发现，OLED显示面板包括的无机绝缘层的应力较大，多次弯折应力难以释放，容易导致OLED显示面板断折而造成产品失效。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置，用以降低无机绝缘层的应力。为了实现上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种阵列基板，包括基底、位于所述基底上的有源层和栅极，其中，还包括：第一无机绝缘层和第二无机绝缘层；所述第一无机绝缘层位于所述有源层上，所述第一无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第一开孔；所述第二无机绝缘层位于所述栅极上，所述第二无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第二开孔。优选地，部分所述第一开孔的位置与部分所述第二开孔的位置相同。优选地，所述第一开孔的尺寸与所述第二开孔的尺寸相同。优选地，阵列基板还包括位于所述栅极上的辅助栅极，所述第二无机绝缘层位于所述栅极和所述辅助栅极之间。优选地，阵列基板还包括位于所述辅助栅极上的第三无机绝缘层，位于所述第三无机绝缘层上的源极和漏极；所述第三无机绝缘层在预设位置设置有至少两个第三开孔，其中一个所述第三开孔位置处暴露出有源层的第一掺杂区域，另一个所述第三开孔位置处暴露出有源层的第二掺杂区域；所述源极通过其中一个所述第三开孔与所述第一掺杂区域电连接，所述漏极通过另一个所述第三开孔与所述第二掺杂区域电连接。优选地，所述第一无机绝缘层、所述第二无机绝缘层和所述第三无机绝缘层的材料相同。优选地，阵列基板包括至少一个第一区域、至少一个第二区域和至少一个第三区域；所述第一区域的位置与所述第一开孔和所述第二开孔的位置对应，包括位于所述基底上的第三无机绝缘层；所述第二区域的位置与所述第一开孔的位置对应，包括位于所述基底上叠层设置的第二无机绝缘层和第三无机绝缘层；所述第三区域的位置与所述第二开孔的位置对应，包括位于所述基底上叠层设置的第一无机绝缘层和第三无机绝缘层。一种显示面板，包括上述的阵列基板。一种显示装置，包括上述的显示面板。一种上述的阵列基板的制作方法，包括在所述基底上制作所述有源层和所述栅极的方法，该方法还包括：在所述有源层上形成一层第一无机绝缘薄膜，通过构图工艺在该第一无机绝缘薄膜的预设位置处制作至少一个第一开孔，形成第一无机绝缘层；在所述栅极上形成一层第二无机绝缘薄膜，通过构图工艺在该第二无机绝缘薄膜的预设位置处制作至少一个第二开孔，形成第二无机绝缘层。相比于现有技术，本专利技术的方案具有以下有益效果：本专利技术实施例提供的阵列基板包括第一无机绝缘层和第二无机绝缘层，第一无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第一开孔，第二无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第二开孔；由于本专利技术实施例中的第一无机绝缘层和第二无机绝缘层不再是整面覆盖在基底上，在预设位置设置有至少一个第一开孔和至少一个第二开孔，这样，能够降低部分区域位置处第一无机绝缘层和第二无机绝缘层叠加的厚度，减少第一无机绝缘层和第二无机绝缘层的面积，从而降低了第一无机绝缘层和第二无机绝缘层的应力，提升可折叠产品的弯折性能，改善弯折断裂现象，进而提升产品良率。本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是现有技术OLED显示面板的结构示意图；图2是本专利技术实施例提供的一种阵列基板的结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的另一阵列基板的结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的又一阵列基板的结构示意图；图5是本专利技术实施例提供的一种阵列基板的制作方法流程图；图6-图8是本专利技术实施例提供的阵列基板的制作过程中不同制作阶段的结构示意图。下面说明本专利技术实施例各附图标记表示的含义：111-衬底基板；112-有机层；113-无机层；114-缓冲层；115-有源层；116-栅极绝缘层；117-栅极；118-绝缘层；119-辅助栅极；120-层间绝缘层；121-源极；122-漏极；01-第一过孔；02-第二过孔；1151-有源层的第一掺杂区域；1152-有源层的第二掺杂区域；1、2、3-层间绝缘层、绝缘层和栅极绝缘层的叠加区域；210-基底；211-第一无机绝缘层；212-第二无机绝缘层；213-第三无机绝缘层；4-第一区域；5-第二区域；6-第三区域。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能解释为对本专利技术的限制。本
技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本专利技术的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。本
技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本专利技术所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。本专利技术的专利技术人对现有进行研究，发现如下问题。如图1所示，现有技术OLED显示面板包括：衬底基板111、位于衬底基板111上交替设置的多层有机层112(图中仅示出了两层有机层112)和多层无机层113(图中仅示出了两层无机层113)、位于无机层113上的缓冲层114、位于缓冲层114上的有源层115、位于有源层115上的栅极绝缘层116、位于栅极绝缘层116上的栅极117、位于栅极117上的绝缘层118、位于绝缘层118上的辅助栅极119、位于辅助栅极119上的层间绝缘层120、位于层间绝缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阵列基板，包括基底、位于所述基底上的有源层和栅极，其特征在于，还包括：第一无机绝缘层和第二无机绝缘层；所述第一无机绝缘层位于所述有源层上，所述第一无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第一开孔；所述第二无机绝缘层位于所述栅极上，所述第二无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第二开孔。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，包括基底、位于所述基底上的有源层和栅极，其特征在于，还包括：第一无机绝缘层和第二无机绝缘层；所述第一无机绝缘层位于所述有源层上，所述第一无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第一开孔；所述第二无机绝缘层位于所述栅极上，所述第二无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第二开孔。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，部分所述第一开孔的位置与部分所述第二开孔的位置相同。3.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一开孔的尺寸与所述第二开孔的尺寸相同。4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，还包括位于所述栅极上的辅助栅极，所述第二无机绝缘层位于所述栅极和所述辅助栅极之间。5.根据权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，还包括位于所述辅助栅极上的第三无机绝缘层，位于所述第三无机绝缘层上的源极和漏极；所述第三无机绝缘层在预设位置设置有至少两个第三开孔，其中一个所述第三开孔位置处暴露出有源层的第一掺杂区域，另一个所述第三开孔位置处暴露出有源层的第二掺杂区域；所述源极通过其中一个所述第三开孔与所述第一掺杂区域电连接，所述漏极通过另一个所述第三开孔与所述第二掺杂区域电连接。6.根据权利要求5...

【专利技术属性】
技术研发人员：来春荣，熊正平，王承贤，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11