芯片运输存储装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及芯片加工领域，尤其涉及芯片运输存储装置，包括箱体，箱体包括后板和两个侧板，两个侧板的端部滑动连接在后板上，两个侧板的内壁均设有若干横向的插槽，两个侧板的顶部盖有盖板，盖板包括固定部和若干弯折部，弯折部均位于固定部相对的两端，与固定部相邻的弯折部转动连接在固定部上，相邻的两个弯折部转动连接，弯折部能够可拆卸连接在侧板的侧面上。本方案实现可对不同直径的晶圆进行存放。

【技术实现步骤摘要】
芯片运输存储装置
本专利技术涉及芯片加工领域，尤其涉及芯片运输存储装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是芯片加工的重要原材料。对于未加工的晶圆，需要将晶圆放在箱体中存放，从而便于晶圆的存储和运输。为了提高箱体中存放晶圆的稳定性，箱体的内部设有若干插槽，通过将晶圆插在相应的插槽中，从而可防止晶圆在箱体内晃动，提高了晶圆在箱体中存放的稳定性。但是，由于插槽的宽度是固定的，每个插槽只能放置固定直径的晶圆，若晶圆的直径变大，则晶圆无法放入到插槽中，若晶圆的直径变小，则晶圆与插槽之间的间隙较大，晶圆容易从插槽上脱落，插槽对晶圆起不到限定作用。这样，在对不同直径的晶圆存放时，需要使用其他规格的箱体，操作比较复杂。因此，设计一种能够对不同直径的晶圆进行存放的装置是解决上述问题的关键。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供芯片运输存储装置，以实现可对不同直径的晶圆进行存放。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是：芯片运输存储装置，包括箱体，箱体包括后板和两个侧板，两个侧板的端部横向滑动连接在后板上，两个侧板的内壁均设有若干横向的插槽，两个侧板的顶部盖有盖板，盖板包括固定部和若干弯折部，弯折部均位于固定部相对的两端，与固定部相邻的弯折部转动连接在固定部上，相邻的两个弯折部转动连接，弯折部能够可拆卸连接在侧板的侧面上。本方案的工作原理为：当需要在箱体中存放晶圆时，将若干晶圆依次插在侧板的若干插槽中，两个侧板的插槽对晶圆同时进行固定，从而可使晶圆在箱体中规整的放置。由于两个侧板滑动连接在后板上，故通过使两个侧板在后板上滑动，从而可调节两个侧板之间的距离，从而可在两个侧板之间放置不同直径的晶圆。由于盖板包括固定部和若干弯折部，与固定部相邻的弯折部转动连接在固定部上，相邻的两个弯折部转动连接，故可通过使相应的弯折部向下弯折，使相应的弯折部从横向转动为竖向，相应的弯折部与侧板的侧部可拆卸连接在一起，两个侧板被相应的弯折部所限定，由此，可防止两个侧板相互远离，避免两个侧板相互远离而造成晶圆从插槽中脱离，从而保证两个侧板对晶圆进行稳定的固定。因此，相应的弯折部弯折到侧板的侧部，使得箱体的结构更加紧凑，结构更加稳固。由于弯折部具有多个，因此无论两个侧板之间的距离多大，总会有相应的弯折部与侧板的侧部进行固定，从而实现了弯折部对不同距离之间的侧板进行固定。采用上述技术方案时，由于两个侧板滑动连接在后板上，因此通过调节两个侧板之间的距离，从而可对不同直径的晶圆进行存放固定，当存放不同直径的晶圆时，无需更换不同规格的装置，操作简单方便。盖板不仅可将两个侧板的顶部盖住，防止灰尘掉落到晶圆上，并且盖板上的弯折部可对侧板进行固定，使整个箱体的结构更加稳定，防止两个侧板相互远离，从而提高了存放晶圆的稳定性，防止两个侧板相互远离而造成晶圆从插槽中掉落。进一步，侧板滑动连接在后板上的端部均设有第一单向齿，第一单向齿与侧板之间连接有第一压簧，两个侧板上的第一单向齿的齿向相反；后板的内部设有空腔，空腔内横向滑动连接有挡板，挡板与空腔的内壁之间连接有第二压簧，挡板上设有与第一单向齿啮合的第二单向齿，相互啮合的第一单向齿和第二单向齿的齿向相反；挡板上连接有拉绳，拉绳远离挡板的一端穿过后板且位于后板的外侧。第一压簧用于使第一单向齿具有与第二单向齿相抵的趋势，第二压簧用于使第二单向齿具有与第一单向齿相抵的趋势。这样，当两个侧板之间没有存放晶圆时，两个侧板在第一单向齿和第二单向齿的啮合下不会自动相互靠近，从而使箱体的结构更加稳定，当将弯折部向侧板的侧部固定按压时，两个侧板不会因受到将弯折部固定到侧板上的推力而相互靠近，从而使侧板保持静止，便于将弯折部固定到侧板的侧部上。当需要使两个侧板之间的距离变大时，使弯折部与侧板的侧部分离，并使两个侧板相互远离，第一单向齿在第二单向齿上打滑，第一单向齿不断的挤压第一压簧，第一单向齿在侧板上滑动，由此，第二单向齿不会将第一单向齿卡死，利于两个侧板相互远离。当需要使两个侧板相互靠近时，使弯折部与侧板的侧部分离后，拉动拉绳，拉绳拉动挡板在空腔内滑动，挡板挤压第二压簧，挡板带动第二单向齿与第一单向齿分离，第二单向齿和第一单向齿停止相抵，此时可使两个侧板相互靠近。进一步，侧板的侧部均设有第一卡孔，弯折部上均设有与第一卡孔相互配合的第一凸起。由此，通过将弯折部上的第一凸起插入到第一卡孔中，从而实现了弯折部和侧板的侧部的可拆卸固定，固定方式简单、方便。进一步，相邻的两个弯折部之间、相邻的弯折部和固定部之间均可拆卸连接有卡带。通过卡带可对相邻的两个弯折部、相邻的弯折部和固定部进行固定，保证侧板上方的盖板在侧板和晶圆的负重下不会自动向下弯折，保证侧板上方的盖板使用时处于横向稳定的状态。进一步，第一压簧和第二压簧上均套设有伸缩的套筒。套筒用于对第一压簧和第二压簧进行限位，防止第一压簧和第二压簧受到压缩时而弯曲倾斜。进一步，固定部上设有拉手。拉手便于将整个箱体拎起，从而便于箱体的转移。附图说明图1为本装置适用于小尺寸晶圆的状态示意图；图2为本装置适用于大尺寸晶圆的状态示意图；图3为图1中的左视图；图4为图1中左侧的侧板的左视图；图5为后板和侧板的俯向剖视图；图6为盖板的结构示意图；图7为盖板上固定部和第一弯折部的连接结构示意图。具体实施方式下面通过具体实施方式进一步详细说明：说明书附图中的附图标记包括：后板1、侧板2、插槽3、晶圆4、第二弯折部5、第一弯折部6、固定部7、拉绳8、第二压簧9、挡板10、第二单向齿11、第一单向齿12、第一压簧13、第一凸起14、第一卡孔15、凹槽16、卡带17、第二凸起18、第二卡孔19。实施例基本如附图1-图7所示。芯片运输存储装置，包括箱体，箱体包括一个后板1和两个侧板2，两个侧板2的内壁均设有若干横向的插槽3，且两个侧板2的端部横向滑动连接在后板1上。结合图5所示，侧板2的滑动端部设有滑动腔，滑动腔内设有第一单向齿12，第一单向齿12与滑动腔的底壁之间连接有第一压簧13，且两个侧板2上的第一单向齿12的齿向相反，本实施例中即左侧的第一单向齿12的斜面位于该第一单向齿12的左侧，右侧的第一单向齿12的斜面位于该第一单向齿12的右侧；后板1的内部设有空腔，空腔内横向滑动连接有挡板10，挡板10与空腔内壁的具体滑动连接方式为：挡板10的两端设有凸块，空腔的两端的内壁上横向设有滑槽，凸块滑动连接在滑槽内。挡板10的一侧与空腔的内壁之间连接有第二压簧9，挡板10的另一侧上设有与第一单向齿12啮合的第二单向齿11，且相互啮合的第一单向齿12和第二单向齿11的齿向相反，即第二单向齿包括左啮合部和右啮合部，左啮合部的齿斜面朝向右侧，右啮合部的齿斜面朝向左侧。挡板10上连接有拉绳8，后板1上设有绳孔，拉绳8远离挡板10的一端穿过绳孔且位于后板1的外侧。为了保证第一压簧13和第二压簧9被压缩时不倾斜，第一压簧13和第二压簧9上均套设有伸缩的套筒，本实施例中的套筒是由两个套设的空心筒组成。结合图6所示，两个侧板2的顶部之间盖有盖板，盖板包括固定部7和均与固定部7两端依次连接的第一弯折部6和第二弯折部5，固定部7上设有拉手(图中未示出)。第一弯折部6连接在固定部7和第二弯折部5之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.芯片运输存储装置，包括箱体，其特征在于：所述箱体包括后板和两个侧板，所述两个侧板的端部横向滑动连接在后板上，两个侧板的内壁均设有若干横向的插槽，所述两个侧板的顶部盖有盖板，所述盖板包括固定部和若干弯折部，所述弯折部均位于固定部相对的两端，与固定部相邻的弯折部转动连接在固定部上，相邻的两个弯折部转动连接，所述弯折部能够可拆卸连接在侧板的侧面上。

【技术特征摘要】
1.芯片运输存储装置，包括箱体，其特征在于：所述箱体包括后板和两个侧板，所述两个侧板的端部横向滑动连接在后板上，两个侧板的内壁均设有若干横向的插槽，所述两个侧板的顶部盖有盖板，所述盖板包括固定部和若干弯折部，所述弯折部均位于固定部相对的两端，与固定部相邻的弯折部转动连接在固定部上，相邻的两个弯折部转动连接，所述弯折部能够可拆卸连接在侧板的侧面上。2.根据权利要求1所述的芯片运输存储装置，其特征在于：所述侧板滑动连接在后板上的端部均设有第一单向齿，第一单向齿与侧板之间连接有第一压簧，两个侧板上的第一单向齿的齿向相反；所述后板的内部设有空腔，空腔内横向滑动连接有挡板，所述挡板与空腔的内壁之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜文，
申请(专利权)人：重庆市嘉凌新科技有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50