激光刻划机及其工艺能力的评测方法技术

本申请涉及一种激光刻划机及其工艺能力的评测方法。所述激光刻划机工艺能力的评测方法能够根据所述工艺需求在所述工艺匹配数据中查找并确定激光刻划机的工艺执行数据快速准确的控制激光刻划机工艺参数。所述激光刻划机的控制器获取工艺需求。从所述激光刻划机中获取预存储的所述工艺匹配数据。从所述工艺匹配数据中选取对应所述工艺需求的参数，并使得所述激光刻划机进行激光照射，实现精确的激光刻划工艺。本实施例中的激光刻划机工艺能力的评测方法简单易操作，可以综合考虑多种因素预存储所述工艺匹配数据，快速准确的控制激光刻划机的工艺参数。

Evaluation Method of Laser Scratch Machine and Its Technological Capability

This application relates to a laser marking machine and a method for evaluating its technological capability. The method for evaluating the technological capability of the laser marking machine can search and determine the process execution data of the laser marking machine according to the technological requirements, and control the technological parameters of the laser marking machine quickly and accurately. The controller of the laser scriber obtains the process requirements. The pre-stored process matching data are obtained from the laser scriber. The parameters corresponding to the process requirements are selected from the matching data of the process, and the laser marking machine is irradiated to realize the accurate laser marking process. The method for evaluating the technological capability of the laser marking machine in this example is simple and easy to operate. It can pre-store the matching data of the process and control the technological parameters of the laser marking machine quickly and accurately, taking into account various factors.

【技术实现步骤摘要】
激光刻划机及其工艺能力的评测方法
本申请涉及工艺设备领域，特别是涉及一种激光刻划机及其工艺能力的评测方法。
技术介绍
光伏技术是一种能直接将太阳能转化为电能的技术，光伏技术的发展也受到了社会上各种因素的影响和推动。目前在制备太阳能电池的时候经常会用到激光刻划机，对衬底或者各个膜层进行刻划。对于激光刻划机的激光束功率的监控需要采用离线检测模块进行测量。而对于激光刻划机的激光束焦距的检测办法通常是在固定能量条件下，改变激光束焦距对图形的影响进行判断。传统的能量检测方式，当能量检测模块出现问题时，尤其是当基板受到损伤后，能量检测模块很难检测到激光束功率。传统的焦距检测方式，虽然在一定程度上可以检测激光束的最佳焦距，但是对于焦距与其他工艺参数的联动变化并没有直接的表征方法。在目前的工艺过程中，为了提高激光刻划机的使用效率，一个激光刻划头会同时集成多个激光束，采用传统的检测方法无法快速准确的控制激光刻划机的工艺参数。
技术实现思路
基于此，有必要针对传统的检测方法无法快速准确的控制激光刻划机工艺参数的问题，提供一种激光刻划机及其工艺能力的评测方法。一种激光刻划机工艺能力的评测方法，包括以下步骤：S本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光刻划机工艺能力的评测方法，其特征在于，包括以下步骤：S100，获取预存储的工艺匹配数据；S200，获取工艺需求；S300，根据所述工艺需求在所述工艺匹配数据中查找并确定激光刻划机的工艺执行数据；所述工艺匹配数据的获取步骤包括：S110，开启单一激光束进行刻划工艺；S120，获取单一激光束的工艺窗口；S130，重复步骤S110和步骤S120，以得到多个单一激光束的工艺窗口；S140，汇总所述多个单一激光束的工艺窗口的数据，以形成所述工艺匹配数据。

【技术特征摘要】
1.一种激光刻划机工艺能力的评测方法，其特征在于，包括以下步骤：S100，获取预存储的工艺匹配数据；S200，获取工艺需求；S300，根据所述工艺需求在所述工艺匹配数据中查找并确定激光刻划机的工艺执行数据；所述工艺匹配数据的获取步骤包括：S110，开启单一激光束进行刻划工艺；S120，获取单一激光束的工艺窗口；S130，重复步骤S110和步骤S120，以得到多个单一激光束的工艺窗口；S140，汇总所述多个单一激光束的工艺窗口的数据，以形成所述工艺匹配数据。2.如权利要求1所述的激光刻划机工艺能力的评测方法，其特征在于，所述步骤S120，包括：S121，在刻划工艺过程中固定激光束功率，改变激光束焦距，以得到单一激光束的激光束焦距与工艺对应关系；S122，在刻划工艺过程中固定激光束焦距，改变激光束功率，以得到单一激光束的激光束功率与工艺对应关系；S123，根据所述激光束焦距与工艺对应关系和所述激光束功率与工艺对应关系得出所述单一激光束的工艺窗口。3.如权利要求1所述的激光刻划机工艺能力的评测方法，其特征在于，所述步骤S130之后，还包括：S131，对所述多个单一激光束的工艺窗口进行逻辑与运算，以形成所述工艺匹配数据中的最佳工艺参数。4.如权利要求1所述的激光刻划机工艺能力的评测方法，其特征在于，所述工艺匹配数据的基础参数包括激光束功率和激光束焦距。5.如权利要求1所述的激光刻划机工艺能力的评测方法，其特征在于，还包括：S400，获取所述工艺执行数据并对基板进行刻划；S500，判断所述工艺执行数据与所述工艺需求是否匹配成功；S6...

【专利技术属性】
技术研发人员：何龙超，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11