一种衰减片及衰减片膜层结构制造技术

本实用新型专利技术提出了一种衰减片膜层结构，由上到下依次为Au层、TiW层、TiWN层、TiW层和TaN层，最底层为基片。本实用新型专利技术中的TiWN层阻止TiW层中大量的Ti原子往金层表面扩散，避免了Ti原子的流失，使得薄膜电路可以承受高温长时间加热，从而极大地提高了衰减片的高温稳定性和可靠性。

A kind of attenuator and attenuator film structure

The utility model proposes a film structure of an attenuating sheet, which consists of an Au layer, a TiW layer, a TiWN layer, a TiW layer and a TaN layer from top to bottom, and a substrate at the bottom. The TiWN layer in the utility model prevents a large number of Ti atoms in the TiW layer from diffusing to the surface of the gold layer, avoids the loss of Ti atoms, and enables the thin film circuit to withstand high temperature and long time heating, thus greatly improving the high temperature stability and reliability of the attenuator.

【技术实现步骤摘要】
一种衰减片及衰减片膜层结构
本技术涉及微波领域，特别涉及一种衰减片膜层结构，还涉及具有该膜层结构的衰减片。
技术介绍
微波衰减器由于其具有体积小、工作频率高(可达几十个GHz)以及可靠性高等特点而成为无线通信系统的重要组成部分，特别在自动测试与控制方面，需要能够实现由计算机程序控制的可变衰减器，即程控衰减器。而衰减器中最为重要的核心部件，便是衰减片。由电阻材料和微带线构成的微波衰减片具有体积小、精度高、性能稳定等特点，且更容易集成于微波电路。电气及机械寿命是指在程控步进衰减器发生失效前，每个衰减单元所能达到的最少动作次数。这里的失效的主要因素为程控衰减器的簧片反复击打衰减片的镀金电极，通常在击打20万次左右，就会因为电极的金层膜层不牢固，使得的金层被簧片击打掉，造成衰减片不通，从而失效。现有的薄膜衰减片膜层结构为TaN/TiW/Au，如图1所示，自下而上依次包括基片404、TaN层4014、TiW层4012、Au层4011。TaN薄膜电阻材料因具有自钝化、温度电阻系数小、抗潮湿性好、稳定性高、工作频率高、承载功率大等优点，在微波衰减片电阻材料中得到大量的应用。衰减片加工制作过程需要经本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衰减片膜层结构，其特征在于，由上到下依次为Au层、TiW层、TiWN层、TiW层和TaN层，最底层为基片。

【技术特征摘要】
1.一种衰减片膜层结构，其特征在于，由上到下依次为Au层、TiW层、TiWN层、TiW层和TaN层，最底层为基片。2.如权利要求1所述的一种衰减片膜层结构，其特征在于，所述Au层厚度为3～10微米。3.如权利要求1所述的一种衰减片膜层结构，其特征在于，所述TiWN层厚度为50～70nm。4.如权利要求1所述的一种衰减片膜层结构，其特征在于，所述TiW层厚度为30～50nm。5.如权利要求1所述的一种衰减片膜层结构，其特征在于，所述基片为纯度99.6％-1...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵海轮，曹乾涛，路波，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十一研究所，
类型：新型
国别省市：山东,37