一种密封性检测辅助装置制造方法及图纸

技术编号:19964652 阅读:32 留言:0更新日期:2019-01-03 13:02
本公开是关于一种密封性检测辅助装置,包括:密封板、连接管、调节组件和压板,密封板上设置有安装部;连接管安装在所述安装部上;压板与所述密封板相对设置;调节组件设于所述密封板,用于驱动所述压板相对所述密封板运动,以调节所述压板与所述密封板间的距离。通过密封板和压板夹持连接件,通过连接在密封板上的连接管连接检漏装置,实现了对连接件和段机台腔室连接面的密封性能进行检测;避免了现有技术中通过关闭段机台的腔室,外接检测装置检测腔室的密封性能,进而判断连接件和段机台腔室连接面的密封性能,导致的测结果容易受到腔室本身的密封性能的影响的问题,结构简单,操作方便。

An Auxiliary Device for Sealing Detection

The present disclosure relates to an auxiliary device for sealing detection, which comprises a sealing plate, a connecting tube, a regulating component and a pressure plate, and an installation part is arranged on the sealing plate; a connecting tube is installed on the installation part; a pressure plate is relative to the sealing plate; and a regulating component is arranged on the sealing plate for driving the pressure plate to move relative to the sealing plate in order to adjust the pressure plate and the sealing plate. Distance between plates. By clamping the connector with the pressure plate and connecting the leak detection device with the connecting pipe connected to the sealing plate, the sealing performance of the connector and the connecting surface of the chamber of the stage is tested; the sealing performance of the chamber is avoided by closing the chamber of the stage and detecting the sealing performance of the chamber by the external detection device in the prior art, and the sealing performance of the connecting part and the connecting surface of the stage chamber is judged. As a result, the measurement results are easily affected by the sealing performance of the chamber itself. The structure is simple and the operation is convenient.

【技术实现步骤摘要】
一种密封性检测辅助装置
本公开涉及检测
,具体而言,涉及一种密封性检测辅助装置。
技术介绍
段机台在保养过程中需要对达到使用寿命的连接件(gasfeedthrough)进行更换,更换后连接件和与段机台腔室的接触面密封连接。为了保证连接件和与段机台腔室的接触面的密封性能,通常需要进行检测。目前,主要通过关闭段机台的腔室,外接检测装置检测腔室的密封性能,进而判断连接件和与段机台腔室的接触面的密封性能,操作复杂,并且检测结果容易受到腔室本身的密封性能的影响,缺少一种专门用于检测连接件和与段机台腔室的接触面的密封性能的装置。需要说明的是,在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种密封性检测辅助装置,对连接件和与段机台腔室的接触面的密封性能进行检测。根据本公开的一个方面,提供一种密封性检测辅助装置,包括:密封板,所述密封板上设置有安装部;连接管,安装在所述安装部上;压板,与所述密封板相对设置;调节组件,设于所述密封板,用于驱动所述压板相对所述密封板运动,以调节所述压板于所述密本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种密封性检测辅助装置,其特征在于,包括:密封板,所述密封板上设置有安装部;连接管,安装在所述安装部上;压板,与所述密封板相对设置;调节组件,设于所述密封板,用于驱动所述压板相对所述密封板运动,以调节所述压板与所述密封板间的距离。

【技术特征摘要】
1.一种密封性检测辅助装置,其特征在于,包括:密封板,所述密封板上设置有安装部;连接管,安装在所述安装部上;压板,与所述密封板相对设置;调节组件,设于所述密封板,用于驱动所述压板相对所述密封板运动,以调节所述压板与所述密封板间的距离。2.如权利要求1所述的密封性检测辅助装置,其特征在于,所述密封板靠近所述压板的表面设有定位件。3.如权利要求2所述的密封性检测辅助装置,其特征在于,所述压板与所述定位件转动连接,所述调节组件用于驱动所述压板转动。4.如权利要求3所述的密封性检测辅助装置,其特征在于,所述调节组件包括:螺杆,与所述密封板螺纹连接,且顶抵所述压板。5.如权利要求4所述的密封性检测辅助装置,其特征在于,所述压板上设置有滑槽,所述螺杆和所述压板连接的一端设置有滑块,所述滑块滑动配合于所述滑槽。6.如权利要求1所述的密封性检测...

【专利技术属性】
技术研发人员:李伟张涛
申请(专利权)人:广东汉能薄膜太阳能有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

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