The invention relates to a super-miniature and high sensitivity two-dimensional anemometer, which comprises a substrate (1), an insulating dielectric layer (2), a regular quadrilateral platform (3), a heating element (4) and four thermocouple stacks (51). Combining the technical scheme of the invention, a super-miniature and high sensitivity two-dimensional anemometer is constructed, and the corresponding manufacturing method of the super-miniature and high sensitivity two-dimensional anemometer is designed. Advantages: 1) The introduction of the mesa structure makes the height difference between the measurement plane and the plane where the welding lead is located, which facilitates the packaging of the sensor; 2) The thermocouple of the sensor is placed approximately vertically, and the cold end is sealed by the encapsulation glue and kept at the same temperature with the substrate and the shell, which effectively ensures the consistency of the temperature of the cold end, and the temperature drift suppression ability of the sensor is high; 3) The introduction of mesa structure; The transverse dimension of the thermocouple is greatly reduced and the size of the device is smaller. 4) The sensor has a high degree of adhesion between the sensitive surface and the outer shell, and the sensor has a high reliability when the non-encapsulated adhesive is exposed to the air.
【技术实现步骤摘要】
一种超小型高灵敏度二维风速计及其制作方法
本专利技术涉及一种超小型高灵敏度二维风速计及其制作方法,属于风速检测
技术介绍
风速、风向是反应气象情况非常重要的参数,对环境监测、空气调节和工农业的生产有重要影响,因此快速准确测量出风速和风向具有重要的实际意义。众所周知,利用机械加工的风杯和风向标虽然也能测量风速和风向,但这些机械装置因具有移动部件而易磨损,同时具有体积大,价格昂贵,需要经常维护等缺点。典型超声风速传感器发射和探测接收头位置固定,因此相对结构也较大。基于MEMS加工技术的微型风速传感器具有体积小,价格低,产品一致性好的特点,是近几年来风速传感器研究的热点。但是,由于硅衬底的高热导率,这类传感器的功耗较大,灵敏度较低。采用背面腐蚀或者正面腐蚀的方法形成绝热薄膜,可以提高灵敏度,但是结构易损坏,不利于后道工艺和封装。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种利用了热温差原理,能够准确测量风速和风向的超小型高灵敏度二维风速计。本专利技术为了解决上述技术问题采用以下技术方案:本专利技术设计了一种超小型高灵敏度二维风速计,包括衬底、绝缘介质层、正四棱台、加热元件和四个测温热电偶堆;其中,绝缘介质层的形状、尺寸与衬底的形状、尺寸相等,绝缘介质层覆盖设置于衬底的上表面,正四棱台的顶面与其底面相平行,正四棱台的底面大于其顶面,正四棱台的底面固定设置于绝缘介质层上表面的中心位置;加热元件固定设置于正四棱台顶面的中心位置;四个测温热电偶堆与正四棱台的四个倾斜面彼此一一对应,四个测温热电偶堆分别固定设置于正四棱台对应倾斜面上,各测温热电偶堆上热端边中 ...
【技术保护点】
1.一种超小型高灵敏度二维风速计,其特征在于:包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、正四棱台(3)、加热元件(4)和四个测温热电偶堆(51);其中,绝缘介质层(2)的形状、尺寸与衬底(1)的形状、尺寸相等,绝缘介质层(2)覆盖设置于衬底(1)的上表面,正四棱台(3)的顶面与其底面相平行,正四棱台(3)的底面大于其顶面,正四棱台(3)的底面固定设置于绝缘介质层(2)上表面的中心位置;加热元件(4)固定设置于正四棱台(3)顶面的中心位置;四个测温热电偶堆(51)与正四棱台(3)的四个倾斜面彼此一一对应,四个测温热电偶堆(51)分别固定设置于正四棱台(3)对应倾斜面上,各测温热电偶堆(51)上热端边中点位置与冷端边中点位置连线所在直线、过所设倾斜面的顶边中点位置、底边中点位置,且各测温热电偶堆(51)的热端指向所设倾斜面的顶边一侧,以及各测温热电偶堆(51)的冷端指向所设倾斜面的底边一侧;沿俯视正四棱台(3)顶面方向的投影,正四棱台(3)四个倾斜面上的测温热电偶堆(51)、相对加热元件(4)呈中心对称分布;加热元件(4)和各测温热电偶堆(51)分别所对应的焊盘(9)固定设置于绝缘介质层(2)上非 ...
【技术特征摘要】
1.一种超小型高灵敏度二维风速计,其特征在于:包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、正四棱台(3)、加热元件(4)和四个测温热电偶堆(51);其中,绝缘介质层(2)的形状、尺寸与衬底(1)的形状、尺寸相等,绝缘介质层(2)覆盖设置于衬底(1)的上表面,正四棱台(3)的顶面与其底面相平行,正四棱台(3)的底面大于其顶面,正四棱台(3)的底面固定设置于绝缘介质层(2)上表面的中心位置;加热元件(4)固定设置于正四棱台(3)顶面的中心位置;四个测温热电偶堆(51)与正四棱台(3)的四个倾斜面彼此一一对应,四个测温热电偶堆(51)分别固定设置于正四棱台(3)对应倾斜面上,各测温热电偶堆(51)上热端边中点位置与冷端边中点位置连线所在直线、过所设倾斜面的顶边中点位置、底边中点位置,且各测温热电偶堆(51)的热端指向所设倾斜面的顶边一侧,以及各测温热电偶堆(51)的冷端指向所设倾斜面的底边一侧;沿俯视正四棱台(3)顶面方向的投影,正四棱台(3)四个倾斜面上的测温热电偶堆(51)、相对加热元件(4)呈中心对称分布;加热元件(4)和各测温热电偶堆(51)分别所对应的焊盘(9)固定设置于绝缘介质层(2)上非正四棱台(3)设置区,加热元件(4)和各测温热电偶堆(51)分别通过焊锡电路与对应焊盘(9)相连接,且焊锡电路位于绝缘介质层(2)上非正四棱台(3)设置区。2.根据权利要求1所述一种超小型高灵敏度二维风速计,其特征在于:所述各测温热电偶堆(51)的热端分别均延伸至所述正四棱台(3)的顶面上,且各测温热电偶堆(51)的热端均不与所述正四棱台(3)顶面中心设置的加热元件(4)相对接,沿俯视正四棱台(3)顶面方向的投影,正四棱台(3)四个倾斜面上的测温热电偶堆(51)、相对加热元件(4)呈中心对称分布。3.根据权利要求2所述一种超小型高灵敏度二维风速计,其特征在于:所述各测温热电偶堆(51)的冷端分别延伸对接所设正四棱台(3)倾斜面的底边、或者延伸过所设正四棱台(3)倾斜面底边至所述绝缘介质层(2)上表面上,沿俯视正四棱台(3)顶面方向的投影,正四棱台(3)四个倾斜面上的测温热电偶堆(51)、相对加热元件(4)呈中心对称分布。4.根据权利要求2或3所述一种超小型高灵敏度二维风速计,其特征在于:还包括电路板(6),以及数量与所述焊盘(9)数量相等的绑定引线(8),电路板(6)表面的形状、尺寸大于所述衬底(1)表面的形状、尺寸,电路板(6)上的焊锡电路设置于电路板(6)的上表面,衬底(1)的下表面固定设置于电路板(6)的上表面,各焊盘(9)分别经绑定引线(8)对接电路板(6)上焊锡电路的对应位置。5.根据权利要求4所述一种超小型高...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦明,张瑶霖,易真翔,黄庆安,
申请(专利权)人:东南大学,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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