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一种超小型高灵敏度二维风速计及其制作方法技术
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文档序号:19961804
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本发明涉及一种超小型高灵敏度二维风速计,包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、正四棱台(3)、加热元件(4)和四个测温热电偶堆(51),结合本发明技术方案,构建超小型高灵敏度二维风速计,并设计与之相应的超小型高灵敏度二维风速计制造方法,具有如下...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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