一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置，包括真空腔室、涡轮分子泵、阴极丝、第一电源及第二电源；真空腔室一端的侧面沿周向设置有若干进气口，真空腔室另一端的侧面设置有排气口及用于检测真空腔室真空度的真空计，涡轮分子泵与所述排气口相连通，真空腔室内设置有支撑架，各窄细管道依次固定于支撑架上，阴极丝的一端与第一电源相连接，阴极丝的另一端插入于真空腔室内后穿过各窄细管道，真空腔室的外壁上设置有电磁线圈，第二电源与所述电磁线圈相连接，该装置能够实现多个窄细管道的镀膜，并且薄膜的均匀性较好，镀膜的效率高。

A Device for Coating Inner Surface of Multiple Narrow and Thin Pipelines

The invention discloses a device for coating the inner surface of a plurality of narrow and thin pipes, including a vacuum chamber, a turbomolecular pump, a cathode wire, a first power supply and a second power supply; a number of air intakes are arranged along the circumference of the side of one end of the vacuum chamber, an exhaust port is arranged on the side of the other end of the vacuum chamber and a vacuum meter for detecting the vacuum degree of the vacuum chamber, and a turbomolecular pump and the exhaust port are The air outlet is connected, the vacuum chamber is provided with a support frame, and the narrow and thin pipes are fixed on the support frame in turn. One end of the cathode wire is connected with the first power supply. The other end of the cathode wire is inserted into the vacuum chamber and passes through the narrow and thin pipes. The outer wall of the vacuum chamber is provided with an electromagnetic coil, and the second power supply is connected with the electromagnetic coil. The device can realize multiple narrow and thin pipes. The uniformity of the film is good and the efficiency of the film is high.

【技术实现步骤摘要】
一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置
本专利技术属于镀膜
，涉及一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置。
技术介绍
镀膜技术是现阶段广泛应用的材料表面处理工艺的一种，普遍应用于工业管道、材料、微电子、太阳能集热管、粒子加速器束流管道内表面处理等领域，其应用范围广，市场需求量大。比如，对于家用热水器的冷水管道和热水管道，由于长时间与水接触，容易造成紫铜水管的腐蚀，严重时可导致管道漏水，极大降低了管道的使用寿命。对于太阳能集热管，需要对集热管内表面镀选择性吸收涂层，提高太阳能的集热效率。为了增强管道的防腐蚀能力，提高太阳能集热管的热能效率，可对管道内表面镀耐腐蚀薄膜或者选择性吸收涂层(如TiN，AlN等薄膜)。由于此类管道的内径一般为20～100mm左右，如何对多根窄细管道进行批量镀膜就成为了一个难点。此外，由于细管道内部压强梯度变化较大，如何提高薄膜的均匀性就成为第二个问题。总之，目前镀膜装置存在的问题是镀膜装置批量加工管道的数量少，效率低，难以满足工业上批量加工的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置，该装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置，其特征在于，包括真空腔室(3)、涡轮分子泵(10)、阴极丝(9)、第一电源(61)及第二电源(62)；真空腔室(3)一端的侧面沿周向设置有若干进气口(4)，真空腔室(3)另一端的侧面设置有排气口及用于检测真空腔室(3)真空度的真空计(1)，涡轮分子泵(10)与所述排气口相连通，真空腔室(3)内设置有支撑架(5)，各窄细管道(7)依次固定于支撑架(5)上，阴极丝(9)的一端与第一电源(61)相连接，阴极丝(9)的另一端插入于真空腔室(3)内后穿过各窄细管道(7)，真空腔室(3)的外壁上设置有电磁线圈(2)，第二电源(62)与所述电磁线圈(2)相连接。

【技术特征摘要】
1.一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置，其特征在于，包括真空腔室(3)、涡轮分子泵(10)、阴极丝(9)、第一电源(61)及第二电源(62)；真空腔室(3)一端的侧面沿周向设置有若干进气口(4)，真空腔室(3)另一端的侧面设置有排气口及用于检测真空腔室(3)真空度的真空计(1)，涡轮分子泵(10)与所述排气口相连通，真空腔室(3)内设置有支撑架(5)，各窄细管道(7)依次固定于支撑架(5)上，阴极丝(9)的一端与第一电源(61)相连接，阴极丝(9)的另一端插入于真空腔室(3)内后穿过各窄细管道(7)，真空腔室(3)的外壁上设置有电磁线圈(2)，第二电源(62)与所述电磁线圈(2)相连接。2.根据权利要求1所述的适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置，其特征在于，真空腔室(3)的端部设置有观察窗(11)。3.根据权利要求1所述的适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王洁，王盛，游志明，徐思涵，范佳锟，许章炼，
申请(专利权)人：西安交通大学，西安核理科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61