温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置，包括真空腔室、涡轮分子泵、阴极丝、第一电源及第二电源；真空腔室一端的侧面沿周向设置有若干进气口，真空腔室另一端的侧面设置有排气口及用于检测真空腔室真空度的真空计，涡轮分子泵与所述排气口相连...
该专利属于西安交通大学;西安核理科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学;西安核理科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。