【技术实现步骤摘要】
结构一体化原位驱动全位移复合放大式压电尺蠖直线平台
本专利技术属于纳米定位
，涉及大行程、高分辨率纳米定位平台，特别涉及结构一体化原位驱动全位移复合放大式压电尺蠖直线平台。
技术介绍
压电尺蠖直线平台是一种大行程、高分辨的精密定位平台。它基于仿生学中的尺蠖爬行原理，将压电执行器的微小位移不断累加，从而成为连续的大行程位移。相对于电磁式直线电机型平台，压电尺蠖直线平台具有体积小、不发热，易于控制，不存在端部效应及推力波动等优点；相对于超声谐振式、惯性驱动式等压电直线平台，具有输出力大、功率密度大、定位稳定、无摩擦磨损等优点。因此，在大行程、高分辨率、精密定位领域，压电尺蠖直线平台更具有优势。但目前的压电尺蠖直线平台还存在以下不足：1)采用外钳位方式(即钳位机构位于动台面的外侧)对动台面进行钳位，平台结构不紧凑、动台面小；2)结构为分体式，即先分别设计、制作出钳位机构、驱动机构，然后再将它们装配成一体，不仅装配和调节过程复杂，而且会降低钳位机构与驱动机构之间的接触刚度，增大阻尼，进而使平台的固有频率降低，动态响应特性变差；3)钳位单元的钳位位移或释放位移为其中的...
【技术保护点】
1.结构一体化原位驱动全位移复合放大式压电尺蠖直线平台，包括定平台(1)以及通过两条交叉滚柱导轨(4)滑动连接的动台面(2)，其特征是：所述的动台面(2)下方设有两条分别与所述的交叉滚柱导轨(4)平行的挡条(2c)；两条挡条(2c)之间设有沿挡条(2c)的长度方向设置的第一钳位组(12)和第二钳位组(13)，所述的第一钳位组(12)和第二钳位组(13)沿着垂直于挡条(2c)方向作伸缩运动，其伸缩端分别连有彼此呈镜像结构的驱动单元(8)，并组成第一驱动组(5)和第二驱动组(6)，驱动单元(8)沿着挡条(2c)的长度方向作伸缩运动；驱动单元(8)包括连于驱动单元(8)的伸缩端的...
【技术特征摘要】
1.结构一体化原位驱动全位移复合放大式压电尺蠖直线平台，包括定平台(1)以及通过两条交叉滚柱导轨(4)滑动连接的动台面(2)，其特征是：所述的动台面(2)下方设有两条分别与所述的交叉滚柱导轨(4)平行的挡条(2c)；两条挡条(2c)之间设有沿挡条(2c)的长度方向设置的第一钳位组(12)和第二钳位组(13)，所述的第一钳位组(12)和第二钳位组(13)沿着垂直于挡条(2c)方向作伸缩运动，其伸缩端分别连有彼此呈镜像结构的驱动单元(8)，并组成第一驱动组(5)和第二驱动组(6)，驱动单元(8)沿着挡条(2c)的长度方向作伸缩运动；驱动单元(8)包括连于驱动单元(8)的伸缩端的夹持臂(85)，通过夹持臂(85)对挡条(2c)进行释放和钳位，相邻的夹持臂(85)之间设有活动间隙(1a)；通过对第一钳位组(12)、第一驱动组(5)、第二钳位组(13)和第二驱动组(6)的时序控制使动台面(2)作尺蠖式行走和定位。2.根据权利要求1所述的结构一体化原位驱动全位移复合放大式压电尺蠖直线平台，其特征是：所述的第一钳位组(12)和第二钳位组(13)分别包括两个相连的钳位单元(7)，所述的钳位单元(7)包括呈菱形的钳位桥式放大单元(72)和释放用压电执行器(71)，所述的释放用压电执行器(71)的伸缩方向与挡条(2c)的长度方向一致，所述的释放用压电执行器(71)的伸缩端顶配于钳位桥式放大单元(72)内；所述的定平台(1)包括分设于第一钳位组(12)和第二钳位组(13)外围的基座(1b)，所述的夹持臂(85)垂直于挡条(2c)，所述的夹持臂(85)包括用于钳位挡条(2c)的第一端部(85a)，以及与第一端部(85a)位置相反的第二端部(85b)；所述的驱动单元(8)包括连杆(84)、驱动用压电执行器(81)和第五刚性块(83)；所述的连杆(84)和驱动用压电执行器(81)分别垂直设于所述的第二端部(85b)，所述的驱动用压电执行器(81)的一端连于所述的基座(1b)，另一端顶配于所述的第五刚性块(83)；在所述的第五刚性块(83)与第二端部(85b)之间、所述的连杆(84)与所述的基座(1b)之间，所述的连杆(84)与所述的第二端部(85b)之间，以及所述的钳位桥式放大单元(72)与所述的连杆(84)的中段之间分别连有柔性铰链(86)。3.根据权利要求2所述的结构一体化原位驱动全位移复合放大式压电尺蠖直线平台...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔玉国，张志豪，娄军强，杨依领，惠相君，周鹏飞，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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