【技术实现步骤摘要】
一种惯性粘滑式跨尺度运动平台
本专利技术涉及一种惯性粘滑式跨尺度运动平台，属于精密运动
技术介绍
随着微/纳米技术的快速发展,在光学工程、微电子制造、航空航天技术、超精密机械制造、微机器人操作、生物医学及遗传工程等
的研究都迫切需要亚/微米级、微/纳米级的超精密驱动机构。具有微米级运动分辨率，又具有毫米级运动行程的跨尺度精密运动技术是目前微驱动领域中的关键技术。惯性粘滑驱动相对于其它类跨尺度运动驱动方式，驱动原理简单、方便、控制简单，且具有运动范围大、分辨率高、结构简单、易微小化和精确定位等优点，因此惯性粘滑驱动是目前出现的跨尺度驱动中应用较多的一种方式。惯性粘滑驱动的工作原理主要是以摩擦力作为驱动源，利用粘滑效应实现被驱动体的微小移动。近年来，把压电陶瓷作为驱动源的微驱动技术渐渐兴起，压电陶瓷具备许多优良的特性，如体积小、频响高、发热少、输出力大、无噪声、性能稳定等，充分满足微纳精密定位的要求。通常基于压电陶瓷的精密驱动装置主要有直接驱动式、杠杆放大式、椭圆放大式及菱形放大式和尺蠖式精密定位平台，然而以上前三种精密定位平台的位移都限制在几百微米以...
【技术保护点】
1.一种惯性粘滑式跨尺度运动平台，其特征在于，包括保护座和设置于保护座内的运动机构，所述运动机构包括压电陶瓷、运动组件和惯性组件，所述运动组件包括运动传动部件和与所述运动传动部件相连接的运动输出部件，所述惯性组件包括惯性传动部件和与所述惯性传动部件相连接的摩擦部件，所述压电陶瓷具有相对设置的第一端和第二端，所述第一端与所述运动传动部件相接触，所述第二端与所述惯性传动部件相接触，所述运动传动部件和所述惯性传动部件通过弹性形变组件连接，所述保护座上设置有用于对所述运动输出部件进行导向的交叉滚珠导轨，所述运动输出部件与所述交叉滚珠导轨之间的摩擦力小于所述摩擦部件与所述保护座相接触产生的摩擦力。
【技术特征摘要】
1.一种惯性粘滑式跨尺度运动平台，其特征在于，包括保护座和设置于保护座内的运动机构，所述运动机构包括压电陶瓷、运动组件和惯性组件，所述运动组件包括运动传动部件和与所述运动传动部件相连接的运动输出部件，所述惯性组件包括惯性传动部件和与所述惯性传动部件相连接的摩擦部件，所述压电陶瓷具有相对设置的第一端和第二端，所述第一端与所述运动传动部件相接触，所述第二端与所述惯性传动部件相接触，所述运动传动部件和所述惯性传动部件通过弹性形变组件连接，所述保护座上设置有用于对所述运动输出部件进行导向的交叉滚珠导轨，所述运动输出部件与所述交叉滚珠导轨之间的摩擦力小于所述摩擦部件与所述保护座相接触产生的摩擦力。2.如权利要求1所述的一种惯性粘滑式跨尺度运动平台，其特征在于，所述惯性传动部件包括梯形件和连接件，所述摩擦部件包括相对设置在所述梯形件两侧的两个弹臂，每个所述弹臂抵持所述保护座的侧壁，每个所述弹臂与所述保护座的侧壁之间的夹角大于0。3.如权利要求2所述的一种惯性粘滑式跨尺度运动平台，其特征在于，所述弹臂与所述梯形件之间通过紧固件可拆卸连接，所述弹臂上设置有至少两个连接孔，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟博文，朱杰，王振华，孙立宁，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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