磁尺及磁性编码器制造技术

本发明专利技术提供一种能够抑制从底板侧对形成于磁性涂膜的永磁体层的磁影响的磁尺及磁性编码器。用于磁性编码器的磁尺(9)具有底板(95)和形成于底板(95)的一面(950)侧的磁性涂膜(96)，磁性涂膜(96)的至少与底板(95)相反一侧的层形成为沿着底板(95)的长度方向交替设置有N极和S极的永磁体层(97)。相对于永磁体层(97)在底板(95)所在的一侧设有对从底板(95)侧向永磁体层(97)侧的磁影响进行缓和的厚度300μm以上的缓冲层(90)。例如，底板(95)是厚度为300μm以上的非磁性基板，缓冲层(90)由底板(95)构成。

【技术实现步骤摘要】
磁尺及磁性编码器
本专利技术涉及一种磁尺、及通过磁传感器装置检测来自磁尺的磁场的磁性编码器。
技术介绍
磁性编码器具有具备永磁体的磁尺和具备磁阻元件的磁传感器装置，基于磁尺和磁传感器装置相对移动时的磁传感器装置的检测结果，检测磁尺和磁传感器装置的相对位置等。磁尺例如具有由铝或铝合金构成的底板和形成于底板的一面的磁性涂膜，由磁性涂膜构成永磁体(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016－38294号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题制造上述专利文献1中记载的磁尺时，在以由支承部件从另一面侧支承底板的状态下对磁性涂膜进行磁化时，如果底板很薄，则有时由于支承部件的材质，不能将磁性涂膜适当地磁化。具体而言，在支承部件由磁性材料构成时，有时受来自支承部件的磁影响而不能将磁性涂膜适当地磁化。另外，在将使用了磁尺的磁性编码器用于各种装置时，磁尺的底板被固定在装置上，但在将底板固定于由磁性材料构成的被固定部件上时，如果底板很薄，则受磁尺的永磁体和被固定部件的磁相互作用的影响，存在向磁传感器元件的漏磁通减少等问题。鉴于以上问题点，本专利技术提供一种能够抑制来自底板侧的对形成于磁性涂膜的永磁体层的磁影响的磁尺及磁性编码器。解决技术问题所采用的技术方案为了解决上述课题，本专利技术提供一种磁尺，其特征在于，具有：底板；磁性涂膜，所述磁性涂膜形成于所述底板的一面侧，且在树脂层中分散有磁粉，所述磁性涂膜的至少与所述底板相反一侧的层形成为沿着所述底板的长度方向交替设置有N极和S极的永磁体层，相对于所述永磁体层在所述底板所在的一侧，设有对从所述底板侧向所述永磁体层侧的磁影响进行缓和的厚度300μm以上的缓冲层。在本专利技术中，所谓“低磁性材料”是具有位于非磁性材料和磁性材料的中间的特性的材料，例如是指树脂层中分散有磁粉的磁性涂膜、轧制时带上磁性的奥氏体类不锈钢等。在应用本专利技术的磁尺中，因为相对于永磁体层在底板所在的基底侧设有厚度300μm以上的厚的缓冲层，所以在磁化磁性涂膜时、或者将磁尺搭载于各种装置时，能够利用缓冲层抑制来自底板侧的对形成于磁性涂膜上的永磁体层的磁影响。例如，在利用支承部件从另一面侧支承底板的状态下对磁性涂膜进行磁化时，即使在支承部件由磁性材料构成的情况下，也能够利用缓冲层抑制来自支承部件的磁影响，所以能够将磁性涂膜适当地磁化。另外，在将使用了磁尺的磁性编码器用于各种装置时，即使将磁尺的底板固定于由磁性材料构成的被固定部件上的情况下，也能够利用缓冲层抑制磁尺的永磁体层和被固定部件的磁相互作用的影响，因此，能够提高检测精度。在本专利技术中，可以采用如下方式，所述底板是非磁性基板或低磁性基板，所述缓冲层的厚度方向的至少一部分由所述底板构成。例如，可以采用如下方式，所述底板是厚度为300μm以上的非磁性基板或低磁性基板，由所述底板构成所述缓冲层。另外，也可以采用如下方式，所述磁性涂膜以在所述底板侧留有未磁化层的方式形成所述永磁体层，所述缓冲层包含所述未磁化层及所述底板。另外，也可以采用如下方式，在所述底板和所述磁性涂膜之间设有非磁性或低磁性的基底层，所述缓冲层包含所述基底层及所述底板。在本专利技术中，可以采用如下方式，所述底板是磁性基板，所述缓冲层设于所述底板和所述磁性涂膜之间。例如，可以采用如下方式，所述磁性涂膜以在所述底板侧留有未磁化层的方式形成所述永磁体层，所述缓冲层包含所述未磁化层。另外，也可以采用如下方式，在所述底板和所述磁性涂膜之间设有非磁性或低磁性的基底层，所述缓冲层包含所述基底层。在本专利技术中，可以采用如下方式，所述磁性涂膜的厚度为200μm以上。在本专利技术中，可以采用如下方式，在所述树脂层中含有65质量％～90质量％的所述磁粉。在本专利技术中，可以采用如下方式，所述磁粉是铁素体类。在本专利技术中，可以采用如下方式，所述树脂层以环氧树脂为主成分。在本专利技术中，可以采用如下方式，所述树脂层的固化剂为聚酰胺-胺。在本专利技术的具备磁尺的磁性编码器中，设置检测来自所述磁尺的磁场的磁传感器元件。在本专利技术中，可以采用如下方式，所述磁传感器元件是磁阻元件。专利技术效果在本专利技术的磁尺中，相对于永磁体层在底板所在的基底侧设有厚度300μm以上的厚的缓冲层，因此，在磁化磁性涂膜时、或者将磁尺搭载于各种装置时，能够利用缓冲层抑制来自底板侧的对形成于磁性涂膜上的永磁体层的磁影响。例如，在利用支承部件从另一面侧支承底板的状态下对磁性涂膜进行磁化时，即使在支承部件由磁性材料构成的情况下，也能够利用缓冲层抑制来自支承部件的磁影响，因此，能够将磁性涂膜适当地磁化。另外，在将使用了磁尺的磁性编码器用于各种装置时，即使在将磁尺的底板固定于由磁性材料构成的被固定部件上的情况下，也能够利用缓冲层抑制磁尺的永磁体层和被固定部件的磁相互作用的影响，因此，能够提高检测精度。附图说明图1是表示本专利技术实施方式1的磁性线性编码器的外观等的说明图；图2是说明应用了本专利技术的磁性线性编码器的主要部分的说明图；图3是图1所示的磁尺的剖视图；图4是表示应用了本专利技术的磁尺的插值误差的示图；图5是表示应用了本专利技术的磁尺的磁滞误差的示图；图6是表示应用了本专利技术的磁尺的磁化精度的示图；图7是表示应用了本专利技术的磁尺的磁性涂膜的表面粗糙度和检测精度的关系的示图；图8是示意性表示本专利技术实施方式2的磁尺的截面的说明图；图9是示意性表示本专利技术实施方式3的磁尺的截面的说明图；图10是示意性表示本专利技术实施方式4的磁尺的截面的说明图；图11是示意性表示本专利技术实施方式5的磁尺的截面的说明图；图12是示意性表示本专利技术实施方式6的磁尺的截面的说明图；图13是示意性表示本专利技术实施方式7的磁尺的截面的说明图。标号说明1…磁传感器装置、6…保持架、7…电缆、9…磁尺、10…刚性基板、25…磁传感器元件、90…缓冲层、95…底板、96…磁性涂膜、97…永磁体层、98…未磁化层、99…基底层、100…磁性编码器具体实施方式参照附图说明本专利技术的实施方式。[实施方式1](整体结构)图1是表示本专利技术实施方式1的磁性编码器100的外观等的说明图。图2是表示图1所示的磁性编码器100的主要部分的说明图，图2(a)、(b)、(c)是表示磁传感器装置1的主要部分的结构的概略剖视图,是其概略立体图及概略俯视图。如图1所示，磁性编码器100是具有向一方向直线延伸的磁尺9和配置于磁尺9的附近的磁传感器装置1的磁性线性编码器。在磁性编码器100中，磁尺9及磁传感器装置1的一方保持于固定体上，另一方保持于移动体上。在本方式中，例如磁传感器装置1保持于固定体上，磁尺9利用双面胶带等固定于移动体上。如后述，在磁尺9上形成有沿着长边方向(磁传感器装置1和磁尺9的相对移动方向)交替排列有N极和S极的磁道。在本方式中，磁传感器装置1通过检测形成于磁尺9的表面的旋转磁场的方向，检测磁尺9(移动体)沿着磁尺9的长度方向移动时的位置等。磁传感器装置1具备由大致长方体形状的铝压铸件构成的保持架6、覆盖该保持架6的开口的矩形的罩68以及从保持架6延伸出的电缆7。在保持架6的侧面形成有电缆插通孔69，从该电缆插通孔69引出电缆7。如图2(a)所示，在保持架6上，在与磁尺9对置的底面形成有基准面60，该基准面60由经由台阶从保持架6的底面突出的平坦面构成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁尺，其特征在于，具有：底板；磁性涂膜，所述磁性涂膜形成于所述底板的一面侧，且在树脂层中分散有磁粉，所述磁性涂膜的至少与所述底板相反一侧的层形成为沿着所述底板的长度方向交替设置有N极和S极的永磁体层，相对于所述永磁体层在所述底板所在的一侧，设有对从所述底板侧向所述永磁体层侧的磁影响进行缓和的厚度300μm以上的缓冲层。

【技术特征摘要】
2017.06.14 JP 2017-1163841.一种磁尺，其特征在于，具有：底板；磁性涂膜，所述磁性涂膜形成于所述底板的一面侧，且在树脂层中分散有磁粉，所述磁性涂膜的至少与所述底板相反一侧的层形成为沿着所述底板的长度方向交替设置有N极和S极的永磁体层，相对于所述永磁体层在所述底板所在的一侧，设有对从所述底板侧向所述永磁体层侧的磁影响进行缓和的厚度300μm以上的缓冲层。2.根据权利要求1所述的磁尺，其特征在于，所述底板是非磁性基板或低磁性基板，所述缓冲层的厚度方向的至少一部分由所述底板构成。3.根据权利要求2所述的磁尺，其特征在于，所述底板是厚度为300μm以上的非磁性基板或低磁性基板，由所述底板构成所述缓冲层。4.根据权利要求2所述的磁尺，其特征在于，所述磁性涂膜以在所述底板侧留有未磁化层的方式形成所述永磁体层，所述缓冲层包含所述未磁化层及所述底板。5.根据权利要求2所述的磁尺，其特征在于，在所述底板和所述磁性涂膜之间设有非磁性或低磁性的基底层，所述缓冲层包含所述基底层及所述底板。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：水嵜康史，森山克也，神户隼平，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP