激光清洁装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种激光清洁装置及方法，该装置包括一载体、一激光模块、一激光光束调控模块、至少一光学元件。激光光束调控模块具有能量补偿单元与发散角优化单元，激光模块、能量补偿单元与发散角优化单元分别位于载体上方的第一阶层与第二阶层，且第二阶层位于第一阶层上方。激光模块提供一激光光束，光学元件导引激光光束通过能量补偿单元或发散角优化单元，且光路传导模块传导激光光束以清洁试片。

【技术实现步骤摘要】
激光清洁装置及方法
本专利技术涉及一种激光清洁装置及方法，特别是涉及一种用于清洁试片(探针)的激光清洁装置及方法。
技术介绍
首先，在例如半导体厂的无尘室中，因无尘室的内部空间有限，且维护费是以激光清洁装置的机台的“占地面积”作计算，故当设置大量的机台(如500台以上)于无尘室中时，将会产生庞大的维护成本。另一方面，当以激光光束L对高价的试片(探针)进行激光清洁时，为避免试片移动可能造成的损害，需将试片保持固定不动，并移动激光光束L以对试片的大区域(如80mmx80mm)进行激光清洁。在生产线上(In-Line)的设备中，因试片保持固定不动，故需以激光光束L于设备中传导并进行飞行光路。但如此一来，将于试片的不同清洁位置(如近端与远端)造成激光光束L的光程差异(约160mm)，使得激光光束L对试片的不同清洁位置的清洁品质有所差异，并导致激光光束L难以完全清洁试片(探针)而存在部分的残留物。同时，因激光光束L具有较大的发散角，使得激光光束L在试片的近端的激光光直径(约12.5mm)与在远端的激光光直径(约15mm)不同，以致激光光束L在试片的不同清洁位置上(如近端与远端)形成不同或非稳定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光清洁装置，用于清洁一试片，其特征为，该装置包括：载体；激光模块，其设于该载体上方，用以提供一激光光束；激光光束调控模块，其设于该载体上方，并具有能量补偿单元与发散角优化单元，其中，该发散角优化单元用以调整该激光光束为一准直激光光束，且该能量补偿单元依据该试片的清洁位置补偿该激光光束所需的激光能量以形成一补偿激光光束；以及至少一光学元件，其导引该激光模块所提供的该激光光束通过该能量补偿单元与该发散角优化单元的至少其中一者。

【技术特征摘要】
2017.06.14 TW 1061197681.一种激光清洁装置，用于清洁一试片，其特征为，该装置包括：载体；激光模块，其设于该载体上方，用以提供一激光光束；激光光束调控模块，其设于该载体上方，并具有能量补偿单元与发散角优化单元，其中，该发散角优化单元用以调整该激光光束为一准直激光光束，且该能量补偿单元依据该试片的清洁位置补偿该激光光束所需的激光能量以形成一补偿激光光束；以及至少一光学元件，其导引该激光模块所提供的该激光光束通过该能量补偿单元与该发散角优化单元的至少其中一者。2.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该载体、激光模块、激光光束调控模块与光学元件设置于第一机台内。3.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该装置还包括至少一支撑件，且该光学元件设置于该支撑件上。4.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该激光模块、能量补偿单元与发散角优化单元分别设于该载体上方的第一阶层与第二阶层，且该第二阶层位于该第一阶层上方。5.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该发散角优化单元用于缩小该激光光束的发散角以产生该准直激光光束。6.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该发散角优化单元包括第一镜片、第二镜片与第三镜片。7.根据权利要求6所述的激光清洁装置，其特征为，该第一镜片为凹透镜，而该第二镜片与该第三镜片均为凸透镜。8.根据权利要求6所述的激光清洁装置，其特征为，该发散角优化单元通过调整该第二镜片与该第三镜片的间距，由此缩小该激光模块所提供的该激光光束的发散角以产生该准直激光光束。9.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该能量补偿单元具有半波片与分光镜，并依据该试片的不同清洁位置将该半波片旋转至所需角度，且通过该半波片的旋转角度与该分光镜补偿该激光能量而形成该补偿激光光束。10.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该装置还包括一导光臂，其固定于L型板的通孔上，并传导来自该能量补偿单元与该发散角优化单元的至少其中一者的激光光束，以通过该激光光束清洁该试片。11.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该装置还包括至少一承载件，且该能量补偿单元或该发散角优化单元设于该承载件上。12.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该光学元件具有第一光学元件、第二光学元件、第三光学元件及第四光学元件。13.根据权利要求12所述的激光清洁装置，其特征为，该第一光学元件将经过该能量补偿单元或该发散角优化单元的该激光光束从水平方向转变为往上方的垂直方向传导至该第二光学元件上，该第二光学元件将该激光光束从垂直的方向转变为往水平方向传导至该能量补偿单元或该发散角优化单元上，该第三光学元件将经过该能量补偿单元或该发散角优化单元的该激光光束从水平方向转变为往下方的垂直方向传导至该第四光学元件上，该第四光学元件再将该激光光束从垂直方向转变为往水平方向传导至导光臂上。14.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该激光模块与该能量补偿单元设置于该载体上，该发散角优化单元设置于该能量补偿单元上方。15.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该激光模块与该发散角优化单元设置于该载体上，该能量补偿单元设置于该发散角优化单元上方。16.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该激光模块设置于该载体上，该能量补偿单元与该发散角优化单元设置于该激光模块上方。17.根据权利要求1所述的激光清洁装置，其特征为，该装置还包括一光路传导模块及具有开口的吸嘴，其设置于第二机台内，其中，该光路传导模块与导光臂连接，并将该激光光束传导通过该吸嘴的该开口以形成一具有稳定激光能...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈峻明，曾介亭，林于中，李闵凯，廖金二，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，汉民测试系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71