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本发明公开一种激光清洁装置及方法，该装置包括一载体、一激光模块、一激光光束调控模块、至少一光学元件。激光光束调控模块具有能量补偿单元与发散角优化单元，激光模块、能量补偿单元与发散角优化单元分别位于载体上方的第一阶层与第二阶层，且第二阶层位于...该专利属于财团法人工业技术研究院;汉民测试系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院;汉民测试系统股份有限公司授权不得商用。