具有毛细腔室的微流体装置制造方法及图纸

示例包括微流体装置。示例微流体装置包括微流体通道、毛细腔室以及流体致动器。所述微流体通道流体地连接到所述毛细腔室。所述毛细腔室限制从中通过的流体流动。所述流体致动器定位在所述毛细腔室附近。所述流体致动器致动以因此引发通过所述毛细腔室的流体流动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有毛细腔室的微流体装置
技术介绍
微制造涉及在基板(例如硅芯片、陶瓷芯片、玻璃芯片等)上形成结构和各种部件。微制造装置的示例包括微流体装置。微流体装置包括用于输送、处理和/或分析流体的结构和部件。附图说明图1提供了示例微流体装置的一些部件的框图。图2A提供了示例微流体装置的一些部件的框图。图2B提供了沿视图线2B-2B的图2A的示例微流体装置的部件的截面视图。图3提供了示例微流体装置的一些部件的框图。图4提供了示例微流体装置的一些部件的框图。图5A-B提供了示例微流体装置的一些部件的操作的框图。图6A-C提供了示例微流体装置的一些部件的操作的框图。图7提供了示出可由示例微流体装置执行的操作序列的流程图。贯穿附图，相同的附图标记表示类似但不一定相同的元件。附图不一定按比例绘制，并且某些部件的尺寸可被夸大以更清楚地示出所示示例。此外，附图提供了与描述一致的示例和/或实施方式；但是，描述不限于附图中提供的示例和/或实施方式。具体实施方式本文提供的示例包括用于微流体装置的装置、方法和过程。一些示例微流体装置包括芯片实验室(lab-on-a-chip)装置(例如聚合酶链式反应装置、化学传感器等)、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微流体装置，包括：微流体通道；毛细腔室，流体地连接到所述微流体通道，所述毛细腔室限制通过所述毛细腔室的流体流动；以及流体致动器，设置在所述微流体通道中在所述毛细腔室附近，所述流体致动器致动并且因此引发通过所述毛细腔室的流体流动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种微流体装置，包括：微流体通道；毛细腔室，流体地连接到所述微流体通道，所述毛细腔室限制通过所述毛细腔室的流体流动；以及流体致动器，设置在所述微流体通道中在所述毛细腔室附近，所述流体致动器致动并且因此引发通过所述毛细腔室的流体流动。2.根据权利要求1所述的微流体装置，其中，所述流体致动器包括热电阻致动器、压电薄膜致动器或其组合。3.根据权利要求1所述的微流体装置，其中，所述微流体通道具有的至少一个尺寸小于所述毛细腔室的相应尺寸，使得所述毛细腔室破坏由所述微流体通道导致的毛细力，以因此限制从中通过的流体流动。4.根据权利要求1所述的微流体装置，其中，所述微流体装置包括限制部分，以在预定体积的流体流动之后限制由所述流体致动器引发的流体流动。5.根据权利要求4所述的微流体装置，其中，所述毛细腔室具有的至少一个尺寸小于所述微流体通道的相应尺寸，并且所述限制部分具有的至少一个尺寸小于所述微流体通道的相应尺寸。6.根据权利要求1所述的微流体装置，还包括：喷嘴层，其中形成有喷嘴孔，所述喷嘴孔流体地连接到所述毛细腔室，其中，所述流体致动器的致动用以因此导致流体微滴经由所述喷嘴孔喷射。7.根据权利要求1所述的微流体装置，其中，毛细腔室具有入口和出口，所述微流体通道是第一微流体通道，所述第一微流体通道流体地连接到所述毛细腔室的入口，并且所述微流体装置还包括：流体地连接到毛细腔室的出口的第二微流体通道，其中，毛细腔室用以限制通过所述毛细腔室到所述第二微流体通道的流体流动，并且所述流体致动器的致动用以引发通过所述毛细腔室到所述第二微流体通道的流体流动。8.根据权利要求7所述的微流体装置，其中，所述毛细腔室是第一毛细腔室，所述流体致动器是第一流体致动器，并且所述微流体装置还包括：第三微流体通道；具有入口和出口的第二毛细腔室，所述第二毛细腔室的所述入口流体地连接到所述第二微流体通道，所述第二毛细腔室的所述出口流体地连接到所述第三微流体通道，所述第二毛细腔室限制通过所述第二毛细腔室到第三微流体通道的流体流动；以及第二流体致动器，设置在所述第二微流...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·A·穆雷，M·W·坎比，G·E·克拉克，
申请(专利权)人：惠普发展公司，有限责任合伙企业，
类型：发明
国别省市：美国,US