【技术实现步骤摘要】
一种用于振环硅微陀螺仪模态互易的数字测控系统
本专利技术涉及硅微陀螺仪领域，特别是涉及一种用于振环硅微陀螺仪模态互易的数字测控系统。
技术介绍
硅微机械陀螺仪是MEMS技术在惯性导航领域的重要应用之一，具有体积小、重量轻、成本低、可批量生产、易于集成等优点，在越来越多的领域得到了广泛的应用。振环硅微陀螺仪作为硅微机械陀螺仪的一种，具有较高的对称性，其驱动模态和检测模态参数相近，可以实现驱动模态和检测模态的互换。振环硅微陀螺仪具有两个工作模态，驱动模态利用在电容极板上施加交流电压，产生静电驱动力，使其环形谐振子产生四波腹振动的驻波；当有角速度输入时，驻波振型产生进动，在检测模态上可以检测到电容检测信号，其大小正比于输入角速度。由于加工工艺的影响，振环硅微陀螺仪会存在结构误差，产生零偏误差信号，因此利用振环硅微陀螺仪的高度对称性，实现模态互易进行零偏误差补偿。振环硅微陀螺仪受结构设计和加工工艺的影响，会存在一定的结构误差，导致零偏误差的出现。现有消除零偏的方法主要有温度控制、算法补偿等方法，温度控制方法功耗高，可控温度范围较低；而算法补偿方法对于重复性较差的陀螺效果较...
【技术保护点】
1.一种用于振环硅微陀螺仪模态互易的数字测控系统，其特征在于：包括振环硅微陀螺仪(100)，振环硅微陀螺仪(100)包括第一模态检测电极(1001)、第一模态驱动电极(1002)、第二模态检测电极(1003)和第二模态驱动电极(1004)，第一模态检测电极(1001)输出信号至第一C/V转换电路(101)，第一C/V转换电路(101)输出信号至第一A/D转换电路(103)，第一A/D转换电路(103)输出信号至第一选通模块(111)，第二模态检测电极(1003)输出信号至第二C/V转换电路(102)，第二C/V转换电路(102)输出信号至第二A/D转换电路(104)，第二A...
【技术特征摘要】
1.一种用于振环硅微陀螺仪模态互易的数字测控系统，其特征在于：包括振环硅微陀螺仪(100)，振环硅微陀螺仪(100)包括第一模态检测电极(1001)、第一模态驱动电极(1002)、第二模态检测电极(1003)和第二模态驱动电极(1004)，第一模态检测电极(1001)输出信号至第一C/V转换电路(101)，第一C/V转换电路(101)输出信号至第一A/D转换电路(103)，第一A/D转换电路(103)输出信号至第一选通模块(111)，第二模态检测电极(1003)输出信号至第二C/V转换电路(102)，第二C/V转换电路(102)输出信号至第二A/D转换电路(104)，第二A/D转换电路(104)也输出信号至第一选通模块(111)，第一选通模块(111)分别输出信号至基于锁相环和自动增益控制的控制模块(105)和基于自动增益控制的力反馈控制模块(106)，基于锁相环和自动增益控制的控制模块(105)输出驱动信号至第二选通模块(113)，基于自动增益控制的力反馈控制模块(106)输出力反馈信号至第二选通模块(113)和模态互易补偿模块(1131)，模态互易补偿模块(1131)输出信号至串口通信模块(114)，串口通信模块(114)与上位机进行通信；还包括模态互易选通控制模块(112)，模态互易选通控制模块(112)输出信号至第一选通模块(111)和第二选通模块(113)，第二选通模块(113)分别输出信号至第一D/A转换电路(107)和第二D/A转换电路(108)，第一D/A转换电路(107)输出信号至第一放大电路(109)，第二D/A转换电路(108)输出信号至第二放大电路(110)，第一放大电路(109)输出信号至第一模态驱动电极(1002)，第二放大电路(110)输出信号至第二模态驱动电极(1004)。2.根据权利要求1所述的用于振环...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宏生，吕正，邢博文，丁徐锴，黄丽斌，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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