基板装载装置及基板运输系统制造方法及图纸

技术编号:19790434 阅读:20 留言:0更新日期:2018-12-19 00:47
本公开是关于基板装载装置及基板运输系统,基板装载装置包括盒体结构、多个中间连接件和基板承载座;盒体结构包括底部以及与所述底部相对的开口部;多个中间连接件和所述盒体结构底部连接;基板承载座通过各所述中间连接件和所述盒体结构底部连接,用于支承放置在盒体结构内的基板。通过多个中间连接件连接盒体结构底部和基板承载座,在盒体结构变形时由于中间连接件的分散和缓冲作用,避免基板承载座变形,解决了现有技术存在的由于基板装载装置变形而引起的基板和基板装载装置底部接触面积发生变化,进而导致基板受力不均匀,存在破片风险的问题。

【技术实现步骤摘要】
基板装载装置及基板运输系统
本公开涉及装载设备
,具体而言,涉及一种基板装载装置及基板运输系统。
技术介绍
随着工业的发展与进步,基板的应用日渐广泛,在基板生产加工过程中,基板被垂直的放置在基板装载内部进行运输。装载时通过基板装载装置的底部来支承基板,在运输或加工过程中,基板装载装置的会由于碰撞等原因会产生形变,变形后的基板装载装置底部和基板的接触面积发生变化,导致在运输过程中基板受力不均匀,存在破片的风险。需要说明的是,在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种基板装载装置及基板运输系统,解决由于基板装载装置形变,导致在运输过程中基板受力不均匀,存在破片的风险的问题。根据本公开的一个方面,提供一种基板装载装置,包括:盒体结构,包括底部以及与所述底部相对的开口部;多个中间连接件,和所述盒体结构底部连接;基板承载座,通过各所述中间连接件和所述盒体结构底部连接,用于支承放置在盒体结构内的基板。根据本公开的一实施方式,所述基板承载座包括:多个支撑条,所述支撑条的方向和盒体结构放置基板的方向一致,通过所述中间连接件和所述盒体结构底部连接。根据本公开的一实施方式,所述支撑条上设置有弧形凹槽,所述弧形凹槽的方向和盒体结构放置基板的方向一致。根据本公开的一实施方式,所述支撑条上设置有过液孔。根据本公开的一实施方式,还包括:线分隔装置,安装在盒体结构上,用于分隔放置在盒体结构内的多块玻璃。根据本公开的一实施方式,所述线分隔装置包括:第一接线装置,安装在所述盒体结构的一侧;第二接线装置,安装在所述盒体结构的另一侧;分隔线,绕在所述第一接线装置和所述第二接线装置之间,并且所述分隔线的方向和所述盒体结构放置基板的方向一致。根据本公开的一实施方式,所述盒体结构上设置有多排互相平行的分隔线。根据本公开的一实施方式,所述第一接线装置和第二接线装置中的任意一个和所述盒体结构滑动连接。根据本公开的一实施方式,所述中间连接件为弹性衔接柱。根据本公开的一个方面,提供一种基板运输系统,包括本公开提供的基板装载装置。本公开提供的基板装载装置,通过基板承载座支承放置在盒体结构内的基板,基板承载座和盒体结构通过多个中间连接件连接。一方面能够完成对基板的装载,便于运输或加工;另一方面通过多个中间连接件连接盒体结构底部和基板承载座,在盒体结构变形时由于中间连接件的分散和缓冲作用,避免基板承载座随之变形,解决了现有技术存在的由于基板装载装置变形而引起的基板和基板装载装置底部接触面积发生变化,进而导致基板受力不均匀,存在破片风险的问题。应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的,并不能限制本公开。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本公开的实施例,并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本公开实施例提供的一种基板装载装置的结构示意图。图2为图1B处的局部放大图。图3为图1C处的局部放大图。图4为本公开实施例提供的支撑条和基板接触示意图。图5为本公开实施例提供的一种基板装载装置的使用状态示意图。图6为现有技术提供的一种基板装载装置底部未变形状态的示意图。图7为现有技术提供的一种基板装载装置底部变形状态的示意图。图8为本公开实施例提供的一种基板装载装置底部未变形状态的示意图。图9为本公开实施例提供的一种基板装载装置底部变形状态的示意图。图10为现有技术提供的一种基板装载装置底部支承结构示意图。图11为现有技术提供的一种基板装载装置底部支承状态示意图。图12为现有技术提供的一种基板装载装置分隔装置示意图。图中:1、盒体结构;2、中间连接件;3、基板承载座;4、线分隔装置;31、支撑条;32、过液孔;33、弧形凹槽;41、第一接线装置;42、分隔线;43、第二接线装置;01、侧壁;02、底板;03、垫条;04、基板;05、隔板。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而,示例实施方式能够以多种形式实施,且不应被理解为限于在此阐述的实施方式;相反,提供这些实施方式使得本专利技术将全面和完整,并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构,因而将省略它们的详细描述。虽然本说明书中使用相对性的用语,例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系,但是这些术语用于本说明书中仅出于方便,例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是,如果将图标的装置翻转使其上下颠倒,则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时,有可能是指某结构一体形成于其它结构上,或指某结构“直接”设置在其它结构上,或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。用语“一个”、“一”、“该”和“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等;用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等;用语“第一”和“第二”等仅作为标记使用,不是对其对象的数量限制。本示例实施方式中首先提供了一种基板装载装置,如图1所示,基板装载装置包括:盒体结构1、多个中间连接件2和基板承载座3;盒体结构1包括底部以及与底部相对的开口部;多个中间连接件2和盒体结构1底部连接;基板承载座3通过各中间连接件2和盒体结构1底部连接。将基板放置在盒体结构1内,通过基板承载座3支承基板,实现对基板的装载。其中,盒体结构1可以是一长方体框架,上端具有开口,下端具有底部。该底部可以是和盒体结构1一体成型,或者单独的底部安装在盒体结构1上。中间连接件2和基板承载座3以及盒体结构1底部的连接方式可以是螺栓连接、焊接或者胶连接等;本示例性实施例中并不以此为限。现有技术中,基板直接和基板装载装置底板接触,在实际应用过程中,由于碰撞等原因基板装载装置的侧壁容易产生变形,引起底板变形,进而导致基板受力不均匀,在运输或加工过程中存在破片的风险。比如,在现有技术提供的一种基板装载装置中,如图6所示,基板装载装置中侧壁01和底板02连接,当侧壁受到碰撞等会发生变形后,如图7所示底板02会发生变形,基板直接接触底板02,会导致基板受力不均匀,增加破片风险。本公开实施例提供的基板装载装置,如图8所示,基板承载座3通过中间连接件2连接,当盒体结构发生如图9所示的变形时,其底部变形,由于中间连接件2的分散和缓冲,底部变形不影响基板承载座3。本公开实施例中,通过设置用于支承基板的基板承载座3,并将基板承载座3通过多个中间连接件2安装在盒体结构1的底部。当盒体结构1发生形变时,用于基板承载座3和盒体结构1底部通过多个中间连接件2连接,因此在盒体结构1变形时,多个中间连接件2分散和缓冲合体变形的能量,避免了基板承载座3在盒体结构1的驱动下发生形变。进而减小了由于基板受力不均匀而导致的存在破片的风险。进一步的,基板承载座3可以包括多个支撑条31,支撑条31的方向和盒体结构1放置基板的方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板装载装置,其特征在于,包括:盒体结构,包括底部以及与所述底部相对的开口部;多个中间连接件,和所述盒体结构底部连接;基板承载座,通过各所述中间连接件和所述盒体结构底部连接,用于支承放置在盒体结构内的基板。

【技术特征摘要】
1.一种基板装载装置,其特征在于,包括:盒体结构,包括底部以及与所述底部相对的开口部;多个中间连接件,和所述盒体结构底部连接;基板承载座,通过各所述中间连接件和所述盒体结构底部连接,用于支承放置在盒体结构内的基板。2.如权利要求1所述的基板装载装置,其特征在于,所述基板承载座包括:多个支撑条,所述支撑条的方向和盒体结构放置基板的方向一致,通过所述中间连接件和所述盒体结构底部连接。3.如权利要求2所述的基板装载装置,其特征在于,所述支撑条上设置有弧形凹槽,所述弧形凹槽的方向和盒体结构放置基板的方向一致。4.如权利要求2所述的基板装载装置,其特征在于,所述支撑条上设置有过液孔。5.如权利要求2所述的基板装载装置,其特征在于,还包括:线分隔装置,安装在盒体结构...

【专利技术属性】
技术研发人员:余延树刘大刚孟庆超王延峰胡文马玉祥宁可涛朱亚飞刘峰汪炳红
申请(专利权)人:合肥鑫晟光电科技有限公司京东方科技集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:安徽,34

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