管路系统技术方案

本发明专利技术提供一种管路系统，连接多个设置于一支撑结构上的洗涤塔，所述管路系统包括一收集管以及一排液管，其中收集管具有一本体以及多个凸出部，且本体具有一外表面及一第一中心轴，多个凸出部凸出于本体的外表面，第一中心轴垂直于支撑结构，收集管通过多个凸出部分别地连接相通于多个洗涤塔，排液管设置于支撑结构下方并具有一第二中心轴，其中，收集管穿过支撑结构以连接排液管，且第一中心轴垂直于第二中心轴。

【技术实现步骤摘要】
管路系统
本专利技术是关于一种管路系统，特别是关于一种包括具有多个凸出部的收集管的管路系统。
技术介绍
在半导体产业中，半导体制程所使用的化学物质品种繁杂，其废气处理也可区分成许多不同性质的处理方式，其中例如被广泛采用的湿式洗涤设备，以吸收废气中的污染物质，进而达到清洗与洗涤的目的。多种不同化学物质的清洗需对应至不同的洗涤塔，这些多个洗涤塔清洗后的废弃液体会先流至一收集用的排水干管，通过此排水干管收集多个洗涤塔产生的废液后，再排放至主要干管以进入废水处理作业。对于洗涤塔与排水干管的连接与配置而言，往往会受到空间的限制，而需要使用软性或具可挠性的连接管作连接，然而，这些软管容易因排水用的加压马达加压而破裂，进而产生泄漏的现象，或者也有可能因为受到空间限制而让管路的配置不当而造成管内堵塞，且过于分散的管路配置还会造成维修不易、检查困难的情形发生。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种包括具有多个凸出部的收集管的管路系统。本专利技术提供一种管路系统，该管路系统连接多个洗涤塔，其中，多个洗涤塔设置于一支撑结构上，并且洗涤塔用以容纳洗涤液。所述管路系统包括：一收集管，收集管设置于支撑结构上，且收集管具有一本体以及多个凸出部，其中，本体具有一外表面及一第一中心轴，且多个凸出部凸出于外表面，第一中心轴垂直于支撑结构，其中，收集管通过多个凸出部分别连通多个洗涤塔；以及一排液管，排液管设置于支撑结构的下方，并且排液管具有一第二中心轴，其中，收集管穿过该支撑结构，并且收集管连接排液管，且第一中心轴垂直于第二中心轴。于一实施例中，所述本体与多个凸出部为一体成形。于一实施例中，多个凸出部环绕排列于收集管的外表面。于一实施例中，所述收集管具有4吋-6吋的直径，且多个凸出部具有0.5吋-1.5吋的直径。于一实施例中，多个凸出部为透明材质制成。于一实施例中，多个凸出部的其中之一包含相互连通之一主干及一支干，支干凸出于主干的一侧，且主干连通收集管。于一实施例中，所述收集管由聚氯乙烯、聚丙烯或酚醛树脂材质制成。于一实施例中，所述管路系统更包括多个连接管，多个连接管分别连接多个洗涤塔与收集管，且多个连接管具有垂直于支撑结构的一垂直流道段。于一实施例中，所述管路系统更包括一栅栏，该栅栏固定于支撑结构上，并且该栅栏围绕收集管，以保护收集管。于一实施例中，所述管路系统更包括一容纳槽，该容纳槽设置于排液管的下方，容纳槽用以盛接由排液管泄漏的洗涤液。本专利技术通过收集管的多个凸出部，可提升且改善洗涤塔与收集管的管路连接配置，使其具有集中管理、检视方便与省时的优点。此外，由于收集管穿过支撑结构并连接一排液管，且收集管的第一中心轴垂直于排液管的第二中心轴，借此可让收集管管内的流体或化学用品的粒状晶体、废弃物不易堆积或沉积，进而可大幅减少管内无法通畅地流动的情形，还可降低加压马达推动的负荷，以提升整体洗涤程序的效能。附图说明以下附图仅旨在于对本专利技术做示意性说明和解释，并不限定本专利技术的范围。其中：图1是表示本专利技术一实施例的管路系统的示意图。图2A是表示图1中的收集管的示意图。图2B是表示本专利技术另一实施例的收集管的示意图。图3是表示图1中的容纳槽的局部示意图。图4是表示本专利技术另一实施例的收集管的示意图。图5是表示图2A中的收集管连接多个连接管与配置一栅栏的示意图。附图标号说明：10、10’、10R收集管11、11R本体12、12R凸出部20排液管30连接管40容纳槽41沟50栅栏51中空结构101、151、201通管C1第一中心轴C2第二中心轴R主干R1、R2支干S支撑结构SR穿孔T洗涤塔d1、d2直径具体实施方式以下说明本专利技术实施例的管路系统。然而，可轻易了解本专利技术实施例提供许多合适的专利技术概念而可实施于广泛的各种特定背景。所揭示的特定实施例仅仅用于说明以特定方法使用本专利技术，并非用以局限本专利技术的范围。除非另外定义，在此使用的全部用语(包括技术及科学用语)具有与此专利技术所属
的普通技术人员所通常理解的相同涵义。能理解的是这些用语，例如在通常使用的字典中定义的用语，应被解读成具有一与相关技术及本专利技术的背景或上下文一致的意思，而不应以一理想化或过度正式的方式解读，除非在此特别定义。图1是表示本专利技术一实施例的管路系统连接多个洗涤塔T的示意图，如图所示，前述管路系统可配置设于半导体制程厂内并连接多个洗涤塔T，其中洗涤塔T例如为半导体制程中处理废气污染物的设备，可为湿式洗涤塔(WetScrubber)或交叉流式洗涤塔(CrossFlowScrubber)。半导体制程中常见的废气或废液，例如含有硫酸(H2SO4)和乙酸(CH3COOH)的酸性气体、含有氢氧化钾(KOH)和氢氧化钠(NaOH)的碱性气体、含有氰化氢(HCN)和乙硼烷(B2H6)之毒性气体以及含有甲苯(C6H5-CH3)和丙酮(C3H6O)的有机溶剂等，可被传输至洗涤塔T内并使用适当的洗涤液、吸收液或清洗液将其洗涤，借以达成半导体污染物防治的目的。请继续参阅图1，前述管路系统主要包括一收集管10、一排液管20以及连接至不同洗涤塔T的多个连接管30，前述洗涤塔T设置于一支撑结构S上，收集管10则穿过支撑结构S上的一穿孔SR以连接设置于支撑结构S下方的排液管20。前述支撑结构S例如是可作为间隔楼层用的楼板，换言之，支撑结构S的上方为上楼层，下方则为下楼层。于本实施例中，洗涤塔T是设置在上楼层，排液管20设置在下楼层，收集管10则贯穿支撑结构S，于上楼层连接洗涤塔T，并在下楼层连接排液管20。当执行制程废气的洗涤作业时，废气由通管101进入洗涤塔T，接着将一洗涤液、清洗液、吸收液或适当的洗涤化学用品从通管201输入洗涤塔T以对前述废气进行洗涤。之后，可将洗涤后的废气从通管151排出，而使用过后的化学用品废液(或包含结晶体)则可通过连接管30流至收集管10，其中可通过一加压马达或泵施加压力，以使废液顺利地流至收集管10。请一并参阅图1及图2A，其中图2A为收集管10的示意图。前述收集管10实质上为一硬管，具有一本体11与多个凸出部12，其中本体11实质上为一中空的圆管状结构，并具有第一中心轴C1，凸出部12则凸出于本体11的外表面，并环绕排列地设置于本体11的外表面。于本实施例中，在垂直本体11的第一中心轴C1的一参考平面上，设置有四个环绕排列于本体11的凸出部12。如此一来，位于支撑结构S上的洗涤塔T可根据其原本配置的位置，而通过连接管30以最短或最佳的路径选择性地连接到收集管10上的凸出部12，以节省连接管30所占据的空间。此外，本体11的第一中心轴C1大致垂直于排液管20的第二中心轴C2，换言之，收集管10与排液管20以大致垂直的方式连接，如此一来，相较于传统平行的连接方式，当收集管10内的流体或化学物品流至排液管20时，因收集管10实质上为垂直于水平面的流道段，故可大幅降低流体或微粒堆积在管内的情况发生，且可减少加压马达施力的负担或是无法负荷收集管10的流道段过长的情形。另外，请一并参阅图1及图3所示，前述管路系统更包括一容纳槽40，配置于排液管20的下方，并具有一长条的沟41，当排液管20有任何微小的裂缝而使得流体外漏时，设置于其下方的容纳槽40可及时回收该流体，并可让操作人员容易地发现排液管20的某一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管路系统，所述管路系统连接多个洗涤塔，其特征在于，多个所述洗涤塔设置于一支撑结构上，并且所述洗涤塔用以容纳洗涤液，所述管路系统包括：一收集管，所述收集管具有一本体以及多个凸出部，其中，所述本体具有一外表面及一第一中心轴，且多个所述凸出部凸出于所述外表面，所述第一中心轴垂直于所述支撑结构，其中，所述收集管通过多个所述凸出部分别连通多个所述洗涤塔；以及一排液管，所述排液管设置于所述支撑结构的下方，并且所述排液管具有一第二中心轴，其中，所述收集管穿过所述支撑结构，并且所述收集管连接所述排液管，且所述第一中心轴垂直于所述第二中心轴。

【技术特征摘要】
1.一种管路系统，所述管路系统连接多个洗涤塔，其特征在于，多个所述洗涤塔设置于一支撑结构上，并且所述洗涤塔用以容纳洗涤液，所述管路系统包括：一收集管，所述收集管具有一本体以及多个凸出部，其中，所述本体具有一外表面及一第一中心轴，且多个所述凸出部凸出于所述外表面，所述第一中心轴垂直于所述支撑结构，其中，所述收集管通过多个所述凸出部分别连通多个所述洗涤塔；以及一排液管，所述排液管设置于所述支撑结构的下方，并且所述排液管具有一第二中心轴，其中，所述收集管穿过所述支撑结构，并且所述收集管连接所述排液管，且所述第一中心轴垂直于所述第二中心轴。2.根据权利要求1所述的管路系统，其特征在于，所述本体与多个所述凸出部为一体成形。3.根据权利要求1所述的管路系统，其特征在于，多个所述凸出部环绕排列于所述收集管的所述外表面。4.根据权利要求1所述的管路系统，其特征在于，所述收集管具有4吋-6吋的直径，且多个所述凸出部具有0....

【专利技术属性】
技术研发人员：卢彭潭，周俊杰，黄俊评，张良智，林志南，
申请(专利权)人：华邦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71