【技术实现步骤摘要】
防松脱式引弧装置
本专利技术涉及真空镀膜设备领域,尤其涉及真空工具镀膜设备上的多弧溅射源使用的引弧装置。
技术介绍
目前,在真空镀膜
内,因为多弧溅射源具有成膜速率高的特点,所以被广泛应用于为工具镀膜的镀膜机上。多弧溅射源的工作原理为真空状态下靶材表面的弧光放电。靶材起弧使用引弧针进行引弧。多弧工作时,弧光放电产生能量很大,靶材表面和靶材正对方向的温度很高,多弧停止工作后,因为多弧的水冷却系统对靶材的作用,靶材表面的温度会很快降低,多弧的起停造成了多弧靶材表面温度的变化较大。我们公知的引弧装置引弧针是通过螺栓压在引弧杆上的,靶材正对方向剧烈的温度变化经常造成引弧装置的引弧针产生松脱现象。为了解决引弧针松脱的问题,有些结构采用将引弧针焊接在引弧杆上的方式,虽然此方式解决了引弧针的松脱问题,但是当多弧长时间工作靶材消耗后会变薄,引弧针焊接在引弧杆上造成了无法调节引弧针与靶材的相对距离并且引弧针会在气缸杆上转动,当引弧针回缩接触不到靶材时造成不能引弧。
技术实现思路
为了解决应用于真空工具镀膜设备上的多弧溅射源使用的引弧装置的引弧针松脱的问题,本专利技术提供一种专为工具镀膜真空设备多弧溅射源使用的引弧装置。本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是:防松脱式引弧装置,引弧气缸的气缸杆下部安装引弧针定位套,气缸杆下部为D型结构,引弧针定位套内孔为与气缸杆下部配合的D型孔,引弧针定位套与引弧针焊接为一体,气缸杆下端螺纹连接压帽;气缸杆上设有屏蔽套。所述屏蔽套下部与引弧针定位套之间设有调整垫片。引弧气缸下部及气缸杆上部外侧设有绝缘垫。本专利技术的防松脱式引弧装置,引 ...
【技术保护点】
1.防松脱式引弧装置,其特征在于:引弧气缸(1)的气缸杆(9)下部安装引弧针定位套(6),气缸杆(9)下部为D型结构,引弧针定位套(6)内孔为与气缸杆(9)下部配合的D型孔,引弧针定位套(6)与引弧针(7)焊接为一体,气缸杆(9)下端螺纹连接压帽(8);气缸杆(9)上设有屏蔽套(4)。
【技术特征摘要】
1.防松脱式引弧装置,其特征在于:引弧气缸(1)的气缸杆(9)下部安装引弧针定位套(6),气缸杆(9)下部为D型结构,引弧针定位套(6)内孔为与气缸杆(9)下部配合的D型孔,引弧针定位套(6)与引弧针(7)焊接为一体,气缸杆(9)下端螺纹连接压帽(8);气缸...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚健,王洪权,
申请(专利权)人:大连维钛克科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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