影像亮度重配模块及影像亮度重配方法组成比例

本发明专利技术提供了一种影像亮度重配模块，其包括一开关器、一第一透镜、一数字微镜装置、一第二透镜以及一第三透镜。开关器选择性地允许具一光强度分布的一第一图像通过，而第一图像由一照明光束通过一光罩所形成。第一图像藉由通过第一透镜而被调整尺寸以形成一第二图像，成像于数字微镜装置的表面，并藉由数字微镜装置形成具一重配光强度分布的一第三图像。第三图像经数字微镜装置输出至第二透镜，并藉由通过第二透镜而被调整尺寸以形成一第四图像，以及第四图像藉由通过第三透镜而被调整尺寸以形成一第五图像并输出至影像亮度重配模块外。

【技术实现步骤摘要】
影像亮度重配模块及影像亮度重配方法
本专利技术关于一种影像亮度重配模块及影像亮度重配方法，尤指一种能排除元件布局图案(layout)中的微影热点(lithographyhotspot)的影像亮度重配模块及影像亮度重配方法。
技术介绍
一般半导体元件须经由繁复的半导体制程所完成，其中芯片上的各种电路布局则需以复数道微影制程加以定义形成。随着设计者与制造商不断地增加单位面积电路元件的数量以及微缩电路元件的尺寸，基板上所制作出的电路元件图形越来越小且彼此越来越接近。目前微影制程已进展至微微影(micro-lithography)制程，其中光罩上开口的最小尺寸已微缩至约光源波长十倍的大小，而电路元件特征尺寸的缩减使得要在基板上制作出原始电路布局图的困难度增加。造成上述问题的部分原因是光的绕射现象在微影制程期间造成缺陷，使得所欲形成的影像未能准确地成像在基板上，进而在最后的元件结构中产生瑕疵。此外，微影制程中的曝光基本上是以一次曝光(singleexposure)来进行，且光罩中不同的图案于曝光时的曝光敏感度彼此之间并不相同，例如不同密度与不同线宽的图案的制程宽裕度不同，因此在进行微影制程时，须花费相当大的心力在各图案彼此之间取得曝光剂量(exposuredose)的平衡点。目前业界已利用解析度增强技术(resolutionenhancementtechniques,RETs)来改善微影制程的图像解析度，例如，光学近接修正(opticalproximitycorrection,OPC)，其藉由调整穿过光罩的光的振幅来修改用来产生光罩的设计布局图形数据。举例言之，布局图形的边缘常使用此技术来进行调整，其根据基板上某特定点预期受到额外的曝光或曝光不足而增大或缩小某些几何元件的部位，例如改变某个部位的临界尺度(criticaldimension,CD)。然而不足的是，尽管采用了上述解析度增强技术，某些布局区域仍存在着可成像性的问题，这类区域在业界惯称为微影热点(lithographyhotspots)。微影热点的问题只能藉由变更原始布局设计来改变最终成像的图形轮廓来修正。此布局图形的修改流程可以在制造商端或者是设计者端进行，然而其整个修改流程十分废时且所费不赀。是以，现今业界希望开发出能更有效率排除微影热点以及改善微影精确度的新技术。
技术实现思路
本专利技术提供了一种影像亮度重配模块及影像亮度重配方法，以排除元件布局图案中的微影热点。本专利技术的实施例提供了一种影像亮度重配模块，其包括一开关器、一第一透镜、一数字微镜装置、一第二透镜以及一第三透镜。开关器选择性地允许具一光强度分布的一第一图像通过，其中具有该光强度分布的该第一图像由一照明光束通过一光罩所形成。第一图像藉由通过第一透镜而被调整尺寸以形成一第二图像，第二图像成像于数字微镜装置的表面，并藉由数字微镜装置形成具一重配光强度分布的一第三图像。第三图像经数字微镜装置输出至第二透镜，并藉由通过第二透镜而被调整尺寸以形成一第四图像，以及第四图像藉由通过第三透镜而被调整尺寸以形成一第五图像并输出至影像亮度重配模块外。本专利技术的实施例另提供了一种微影系统，其包括一光源、一聚光镜、一成像部、一物镜以及上述的影像亮度重配模块。光源用以提供一照明光束，而聚光镜用以汇聚照明光束。成像部用以承载一光罩，其中光罩用以接收由聚光镜所汇聚的照明光束，且照明光束在通过光罩后会形成具一光强度分布的一第一图像。物镜用以接收第一图像，其中物镜调整并输出第一图像，且第一图像经物镜传递至影像亮度重配模块，再由影像亮度重配模块输出第五图像而投影至一基底上，且影像亮度重配模块设置于物镜与基底之间。本专利技术的实施例另提供了一种影像亮度重配的方法，其包括下列步骤。首先，提供一元件布局图案，且元件布局图案包括一热点位置数据。接着，由一光源提供一照明光束。然后，提供一光罩，其包含元件布局图案，运用光罩使得通过光罩的照明光束形成一第一图像，其中第一图像具有一光强度分布。接着，提供一影像亮度重配模块，其包括一开关器与一数字微镜装置，使第一图像先经过开关器，再于数字微镜装置的表面上形成一第二图像，其中数字微镜装置包括以阵列方式排列的复数个微型镜，且第二图像被微型镜分割成复数个子图像。然后，影像亮度重配模块根据热点位置数据，控制微型镜于数字微镜装置的一操作期间中具有不完全相同的倾斜角，以形成具一重配光强度分布的一第三图像，输出至一目标物。附图说明图1为本专利技术实施例的微影系统的功能方块图。图2为本专利技术实施例的影像亮度重配模块的功能方块图。图3为图2所示本专利技术实施例的影像亮度重配模块的操作示意图。图4为本专利技术实施例的数字微镜装置的操作期间与开关器的光束输入期间的示意图。图5为本专利技术一变化实施例的数字微镜装置的操作期间与开关器的光束输入期间的示意图。图6为本专利技术实施例的影像亮度重配方法的步骤流程图。图7为本专利技术实施例的微影系统的示意图。[附图元件标记]1微影系统10影像亮度重配模块102光源104聚光镜106成像部106a支撑装置106b光罩108物镜110基底112第一光导系统114开关器116第一透镜118数字微镜装置120第二透镜122第二光导系统124第三透镜126吸收器IL照明光束IM1第一图像IM2第二图像IM21第一子图像IM22第二子图像IM3第三图像IM4第四图像IM5第五图像M、M1、M2微型镜P光瞳T1光束输入期间T2操作期间T31、T32、T33作动周期T4作动期T5维持期具体实施方式为使熟习本专利技术所属
的普通技术人员能更进一步了解本专利技术，下文特列举本专利技术的较佳实施例，并配合所附附图，详细说明本专利技术的影像感测器及其制作方法及所欲达成的功效。为了方便表示而能够轻易了解，附图并未以成品的实际尺寸或比例绘示，因此附图中元件的尺寸或比例仅用以示意而并非欲以限制本专利技术的范围。请参考图1至图7，图1为本专利技术实施例的微影系统的功能方块图，图2为本专利技术实施例的影像亮度重配模块的功能方块图，图3为图2所示本专利技术实施例的影像亮度重配模块的操作示意图，图4为本专利技术实施例的数字微镜装置的操作期间与开关器的光束输入期间的示意图，图5为本专利技术一变化实施例的数字微镜装置的操作期间与开关器的光束输入期间的示意图，图6为本专利技术实施例的影像亮度重配方法的步骤流程图，以及图7为本专利技术实施例的微影系统的示意图。如图1及图7所示，本实施例的一微影系统1包括一光源(lightsource)102、一聚光镜(condenserlens)104、一成像部106、一物镜(objectivelens)108以及一影像亮度重配模块10。光源102用以提供一照明光束IL，其中光源102包括雷射或水银灯，而照明光束IL包括紫外(ultraviolet，UV)光、极紫外(extremeultraviolet，EUV)光、离子束(ionbeam)或电子束(electronbeam)，但不以此为限。聚光镜104设置于照明光束IL的路径上，以接收从光源102发出的照明光束IL，并使得照明光束IL在通过聚光镜104后而被汇聚。在照明光束IL的光线行进路径中，成像部106设置在聚光镜104之后，亦即聚光镜104设置于光源102与成像部106之间。成像部106可用以承载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种影像亮度重配模块，包括：一开关器，其选择性地允许具一光强度分布的一第一图像通过，其中具有该光强度分布的该第一图像由一照明光束通过一光罩所形成；一第一透镜，其中该第一图像藉由通过该第一透镜而被调整尺寸以形成一第二图像；一数字微镜装置，其中该第二图像成像于该数字微镜装置的表面，并藉由该数字微镜装置形成具一重配光强度分布的一第三图像；一第二透镜，其中该第三图像经该数字微镜装置输出至该第二透镜，并藉由通过该第二透镜而被调整尺寸以形成一第四图像；以及一第三透镜，其中该第四图像藉由通过该第三透镜而被调整尺寸以形成一第五图像并输出至该影像亮度重配模块外。

【技术特征摘要】
2017.05.17 TW 1061162071.一种影像亮度重配模块，包括：一开关器，其选择性地允许具一光强度分布的一第一图像通过，其中具有该光强度分布的该第一图像由一照明光束通过一光罩所形成；一第一透镜，其中该第一图像藉由通过该第一透镜而被调整尺寸以形成一第二图像；一数字微镜装置，其中该第二图像成像于该数字微镜装置的表面，并藉由该数字微镜装置形成具一重配光强度分布的一第三图像；一第二透镜，其中该第三图像经该数字微镜装置输出至该第二透镜，并藉由通过该第二透镜而被调整尺寸以形成一第四图像；以及一第三透镜，其中该第四图像藉由通过该第三透镜而被调整尺寸以形成一第五图像并输出至该影像亮度重配模块外。2.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，还包括一第一光导系统与一第二光导系统，其中该第一图像经该第一光导系统导引至该开关器，该第二光导系统设置于该第二透镜与该第三透镜之间，且该第四图像经该第二光导系统导引至该第三透镜。3.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，其中该开关器及该第一透镜设置于该数字微镜装置的一侧，该第二透镜设置于该数字微镜装置的另一侧。4.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，其中该数字微镜装置包括以阵列方式排列的复数个微型镜，且各该微型镜在该数字微镜装置操作时可分别具有不同的倾斜角。5.如权利要求4所述的影像亮度重配模块，其中成像于该数字微镜装置表面的该第二图像被这些微型镜分割成复数个第一子图像与复数个第二子图像，这些第一子图像对应一第一部分的这些微型镜，这些第二子图像对应一第二部分的这些微型镜，在经过该数字微镜装置的一操作期间后，该数字微镜装置会完成输出该第三图像至该第二透镜，在该操作期间中，该第二部分的这些微型镜会变换倾斜角，并且在该操作期间结束时，该第一部分的这些微型镜的倾斜角不同于该第二部分的这些微型镜的倾斜角。6.如权利要求5所述的影像亮度重配模块，其中在该操作期间结束时，该第一部分的这些微型镜会将这些第一子图像反射至该第二透镜，而该第二部分的这些微型镜会将该第二子图像反射至该第二透镜之外。7.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，还包括一吸收器，当该数字微镜装置形成具该重配光强度分布的该第三图像时，会将部分光线反射至该吸收器以进行光强度分布的重配。8.如权利要求7所述的影像亮度重配模块，其中该吸收器设置于该数字微镜装置的上方。9.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，其中该数字微镜装置可水平地沿一第一方向及一第二方向移动，且该第一方向与该第二方向相交。10.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，其中该第一图像藉由通过该第一透镜而被放大形成该第二图像，该第三图像藉由通过该第二透镜而被缩小形成该第四图像，而该第四图像藉由通过该第三透镜而被放大形成该第五图像。11.一种微影系统，包括：一光源，用以提供一照明光束；一聚光镜，用以汇聚该照明光束；一成像部，用以承载一光罩，其中该光罩用以接收由该聚光镜所汇聚的该照明光束，且该照明光束在通过该光罩后会形成具一光强度分布的一第一图像；一物镜，用以接收该第一图像，其中该物镜调整并输出该第一图像；以及如权利要求1的影像亮度重配模块，其中该第一图像经该物镜传递至该影像...

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊良，
申请(专利权)人：力晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71