一种蜂窝状结构压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，包括依次排列的薄膜层(1)、氧化铟锡层(2)、Ag纳米线层(3)、PDMS和/或有机硅弹性体层(4)、Ag纳米线层(5)、氧化铟锡层(6)、薄膜层(7)；其中，所述PDMS和/或有机硅弹性体层(4)为上、下面均为蜂窝状结构，Ag纳米线分布在PDMS和/或有机硅弹性体层的上表面和下表面上；本发明专利技术的压力传感器具有蜂窝状微纳结构，具有稳定性好、灵敏度高、抗褶皱能力强等特点，有利于提高压力传感器的寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种蜂窝状结构压力传感器及其制备方法
本专利技术属于压力传感器，特别涉及一种蜂窝状结构压力传感器及其制备方法。
技术介绍
压力传感器(PressureTransducer)是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置，其在医疗健康、智能家居、环境保护、安全生产、国防等领域发挥积极的作用。近年来，随着电子信息技术、材料技术的不断发展，智能可穿戴设备迅速兴起并得到了极大的提高，在方便人们生活的同时，也为信息技术的发展开辟了新的领域。可用于医疗健康领域的可穿戴式压力传感器受到人们的广泛关注。可穿戴式压力传感器要求柔软、轻便、舒适，有机薄膜如PDMS、PET等满足上述要求，然而，这些有机薄膜通常是不导电的，因此，为了获得良好的电学性能，会在PDMS中掺入金属纳米线、碳纳米管、石墨烯等。但是，这类压力传感器普遍存在灵敏度低可测范围小等问题，在应用上也受到了一定的限制。为了克服上述问题，现有技术中，研究人员也尝试在PDMS引入各种微结构，例如复制丝绸的微结构、荷叶的微结构、纳米级倒金字塔结构、纳米柱、纳米长条阵列等等，而这些微结构均存在缺陷，如复制丝绸的微结本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，包括依次排列的薄膜层(1)、氧化铟锡层(2)、Ag纳米线层(3)、PDMS和/或有机硅弹性体层(4)、Ag纳米线层(5)、氧化铟锡层(6)、薄膜层(7)；其中，所述PDMS和/或有机硅弹性体层(4)的上、下面分别为蜂窝状结构，Ag纳米线分别分布在PDMS和/或有机硅弹性体层的上表面和下表面。

【技术特征摘要】
1.一种蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，包括依次排列的薄膜层(1)、氧化铟锡层(2)、Ag纳米线层(3)、PDMS和/或有机硅弹性体层(4)、Ag纳米线层(5)、氧化铟锡层(6)、薄膜层(7)；其中，所述PDMS和/或有机硅弹性体层(4)的上、下面分别为蜂窝状结构，Ag纳米线分别分布在PDMS和/或有机硅弹性体层的上表面和下表面。2.根据权利要求1所述的蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，所述PDMS和/或有机硅弹性体层(4)的上、下面上的凹孔为顶部边长为400-2500nm，底部边长为200-1000nm；顶部线宽为5-80nm，底部线宽为30-500nm。3.根据权利要求2所述的蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，所述PDMS和/或有机硅弹性体层(4)的上、下面上的凹孔的高度为1-20μm。4.根据权利要求2或3所述的蜂窝状压力传感器，其特征在于，所述PDMS层(4)的上、下面上相对的2个凹孔的底部之间的距离为40-200μm。5.根据权利要求1所述的蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，所述薄膜层(1)和薄膜层(7)分别为PET、PI、PU、PEN或PC。6.根据权利要求1所述的蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，所述薄膜层(1)和薄膜层(7)的厚度分别为200-700μm。7.根据权利要求1所述的蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，所述氧化铟锡层(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨为家，何鑫，沈耿哲，刘铭全，刘俊杰，刘艳怡，王诺媛，蒋庭辉，刘均炎，卢翔，
申请(专利权)人：五邑大学，
类型：发明
国别省市：广东,44