The utility model discloses a metal target binding sand blasting device, which comprises a sand blasting machine and a dust removing device. The dust removing device is arranged from top to bottom with a fan mechanism, an operation room, a recycling tank and a recycling vehicle, a grid plate is arranged between the operation room and the recycling tank, and a worktable is arranged on the grid plate, and the worktable includes a driving device. The driving device includes a gear one at both ends of the transmission shaft, a transmission rod at the lower side of the gear and a bit with the gear, a gear two at one end of the transmission rod, a reciprocating stepping motor connected with the gear two by belt rotation, and a transmission shaft at the lower side of the transmission shaft. Upper end of bracket. This structure does not need manual operation, safe operation, dust removal and recovery effect, drive shaft reciprocating movement, can increase the uniformity of sand blasting.
【技术实现步骤摘要】
一种金属靶材绑定喷砂装置
本技术涉及靶材制造
,具体涉及一种金属靶材喷砂装置。
技术介绍
集成电路、液晶面板、光伏产业中均有镀膜制程,镀膜制程又分为磁控溅射、化学沉积、蒸镀等工艺,而在磁控溅射工艺中,需要用到金属靶材,常用靶材包括铝靶、钼靶、铜靶、银靶、ITO(氧化铟锡,具有金属特性)或是几种金属的混合靶材,如钼铝钼靶材;靶材制造是将上述金属粉末经高温熔化后喷涂到基体上或背板上(如铜背板),因此基体表面应具体较大的粗糙度以更好的附着熔化后的粉末材料。现有的基体表面粗糙度处理一般采用人工处理,具有操作安全风险大,工作量大,粉尘大、效率低、喷砂不均匀等问题。中国专利公开号CN206326516U提供了一种靶材喷砂装置,其将靶材放置在壳体内的辊道上,从壳体的四周对靶材进行喷砂作业,由于靶材放置在一个封闭的空间内,并通过壳体底部来回收喷砂,进而解决了人工喷砂存在的问题。然而,由于喷砂从四周喷射而出,而靶材受到外力的作用下容易位置偏移,影响其喷砂效果;并且需要安装较多的喷砂嘴,靶材上面存有砂料时,也会影响喷砂效果。中国专利公开号CN206937106公开了一种靶材喷砂装置,包括壳体、铰接在壳体上端的密封盖和固定连接在壳体下端的回收罐,回收罐的下端设置有回收槽;壳体四周贯穿设置有多个喷砂管,喷砂管伸出壳体的一端连接有送风机构和储砂罐,壳体内悬空设置有靶材放置台,靶材放置台位于喷砂管的下方且其四周设有固定件,靶材放置台设置有若干网格板,其内设有与网格板相连通的抽气管,抽气管通过真空管与外部的真空泵相连。通过真空泵抽真空将靶材固定在靶材放置台上,送风机构和储砂罐相配 ...
【技术保护点】
1.一种金属靶材绑定喷砂装置,包括喷砂机(1)与除尘装置(2),所述喷砂机(1)包括储砂罐(27)、喷砂管(15)、进气口(20),所述除尘装置(2)包括从上到下依次设置的送风机构(3)、操作室(4)、回收罐(5)、回收车(6),其特征在于:所述操作室(4)与回收罐(5)之间设置网格板(9),所述网格板(9)上面设置工作台(8),所述工作台(8)包括驱动装置(23)、支架(31)、传动轴(22),所述驱动装置(23)设置在支架(31)侧面,驱动装置(23)包括设置在传动轴(22)两端的齿轮一(10),设置在所述齿轮一(10)下面并与齿轮一(10)咬合的传动杆(11),设置在传动杆(11)一端的齿轮二(13),与齿轮二(13)通过皮带(14)转动连接的往复步进电机(12),所述传动轴(22)设置在支架(31)上端;所述操作室(4)壳体设置喷砂管接口(7),所述喷砂管接口(7)与操作室(4)设置的喷砂嘴(17)连接,喷砂管接口(7)外部与所述喷砂管(15)连接。
【技术特征摘要】
1.一种金属靶材绑定喷砂装置,包括喷砂机(1)与除尘装置(2),所述喷砂机(1)包括储砂罐(27)、喷砂管(15)、进气口(20),所述除尘装置(2)包括从上到下依次设置的送风机构(3)、操作室(4)、回收罐(5)、回收车(6),其特征在于:所述操作室(4)与回收罐(5)之间设置网格板(9),所述网格板(9)上面设置工作台(8),所述工作台(8)包括驱动装置(23)、支架(31)、传动轴(22),所述驱动装置(23)设置在支架(31)侧面,驱动装置(23)包括设置在传动轴(22)两端的齿轮一(10),设置在所述齿轮一(10)下面并与齿轮一(10)咬合的传动杆(11),设置在传动杆(11)一端的齿轮二(13),与齿轮二(13)通过皮带(14)转动连接的往复步进电机(12),所述传动轴(22)设置在支架(31)上端;所述操作室(4)壳体设置喷砂管接口(7),所述喷砂管接口(7)与操作室(4)设置的喷砂嘴(17)连接,喷砂管接口(7)外部与所述喷砂管(15)连接。2.根据权利要求1所述的一种金属靶材绑定喷砂装置,其特征在于:所述工作台(8)一侧...
【专利技术属性】
技术研发人员:高建杰,孟红波,李金龙,刘正国,
申请(专利权)人:洛阳丰联科绑定技术有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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