一种双复合柔性平行四杆机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双复合柔性平行四杆机构，包括由上框架和下框架构成的外框架，上框架与下框架之间设有柔性支撑组件。柔性支撑组件分为内侧组柔性支撑组件和外侧组柔性支撑组件两组。在外框架的内部设有用作驱动源的音圈电机，音圈电机的音圈电机定子通过支架与外侧组柔性支撑组件相连接，音圈电机的音圈电机动子与内侧组柔性支撑组件相连接。本实用新型专利技术通过将两组柔性支撑组件串联方式提高了柔性机构有效的线性行程范围，通过并联方式消除单个柔性单元产生的寄生位移，利用音圈电机电流与力线性关系，通过常规的控制方式便可实现大行程、高精度、无寄生位移的单自由度直线运动。

【技术实现步骤摘要】
一种双复合柔性平行四杆机构
本技术涉及机械领域的微纳定位装置，具体地说是一种基于音圈电机驱动的双复合柔性平行四杆机构。
技术介绍
超高精度定位技术是精密制造的关键。而随着现代制造业的发展，对于零件加工尺寸要求以及精密仪器的定位精度要求已经达到纳米级别，因此实现微纳米定位是推动现代制造业发展的关键。除了应用于精密制造、精密测量等领域，微纳米定位在半导体制造与装配、生物医学、纳米压印、光纤对准、数据储存与读取以及各种精密光学仪器等方面有着广泛的应用。而柔性铰链与高性能的电机构成的微纳米定位平台是实现微纳米定位任务的一种有效方式，也得到了广泛的研究：六十年代初，美国国家标准局成功研制了行程为0～50μm的一维微动平台，其位移驱动器为压电陶瓷，执行机构为柔性铰链，主要应用于航天领域。2005年，韩国Gwang-Ju等人设计的以音圈电机为位移驱动器，柔性铰链为执行机构的一维微动机构，其定位精度可以达到0.5nm,但是其行程只有±10μm。2008年，新加坡学者Teo等人提出单自由度的纳米定位装置，以音圈电机为位移驱动器，采用双柔性平行四杆结构作为音圈电机的位移导向机构。但是，现有的微纳米定位装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双复合柔性平行四杆机构，其特征是：包括由上框架(42)和下框架(41)构成的外框架，所述的上框架(42)与下框架(41)之间设有柔性支撑组件(11、12、13、14、21、22、23、24)；所述柔性支撑组件(11、12、13、14、21、22、23、24)分为内侧组柔性支撑组件(21、22、23、24)和外侧组柔性支撑组件(11、12、13、14)两组；在所述外框架的内部设有用作驱动源的音圈电机，所述音圈电机的音圈电机定子(63)通过支架与所述的外侧组柔性支撑组件(11、12、13、14)相连接，所述音圈电机的音圈电机动子(64)与所述的内侧组柔性支撑组件(21、22、23、24)相...

【技术特征摘要】
1.一种双复合柔性平行四杆机构，其特征是：包括由上框架(42)和下框架(41)构成的外框架，所述的上框架(42)与下框架(41)之间设有柔性支撑组件(11、12、13、14、21、22、23、24)；所述柔性支撑组件(11、12、13、14、21、22、23、24)分为内侧组柔性支撑组件(21、22、23、24)和外侧组柔性支撑组件(11、12、13、14)两组；在所述外框架的内部设有用作驱动源的音圈电机，所述音圈电机的音圈电机定子(63)通过支架与所述的外侧组柔性支撑组件(11、12、13、14)相连接，所述音圈电机的音圈电机动子(64)与所述的内侧组柔性支撑组件(21、22、23、24)相连接。2.根据权利要求1所述的双复合柔性平行四杆机构，其特征在于：所述的柔性支撑组件(11、12、13、14、21、22、23、24)的数量为偶数组，且柔性支撑组件(11、12、13、14、21、22、23、24)分成两部分，对称分布于外框架的两个对立侧面处，且每部分中各个柔性支撑组件平行并联布置。3.根据权利要求2所述的双复合柔性平行四杆机构，其特征在于：每一部分的内侧组柔性支撑组件(21、22、23、24)和外侧组柔性支撑组件(11、12、13、14)的数量均为偶数。4.根据权利要求1所述的双复合柔性平行四杆机构，其特征在于：每个柔性支撑组件(11、12、13、14、21、22、23、24)包括两个柔性支撑单元；每个柔性支撑单元包括一个矩形臂杆(112)以及通过矩形臂杆(112)相串联的两个直角柔性铰链(111)。5.根据权利要求4所述的双复合柔性平行四杆机...

【专利技术属性】
技术研发人员：张驰，曹志琨，李荣，陈进华，杨桂林，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，中国科学院大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33