基于紫外电子轰击有源像素传感器的紫外成像仪制造技术

技术编号:19593765 阅读:56 留言:0更新日期:2018-11-28 05:00
本实用新型专利技术涉及一种基于紫外电子轰击有源像素传感器的紫外成像仪,解决了现有紫外成像仪灵敏度低、噪声大、成本高、结构复杂、体积重量较大等问题。该紫外成像仪包括光机系统、紫外电子轰击有源像素传感器、高压选通脉冲模块、读出电子学系统、图像处理与控制系统;光机系统包括成像镜头和滤波片;高压选通脉冲模块分别与紫外电子轰击有源像素传感器、图像处理与控制系统连接;读出电子学系统分别与紫外电子轰击有源像素传感器、图像处理与控制系统连接;紫外电子轰击有源像素传感器包括阴极窗口、紫外光电阴极、管壳和背照式CMOS芯片;紫外光电阴极设置在阴极窗口的内表面;背照式CMOS芯片设置在管壳内部。

【技术实现步骤摘要】
基于紫外电子轰击有源像素传感器的紫外成像仪
本技术涉及紫外微光探测领域,具体涉及一种基于紫外电子轰击有源像素传感器的紫外成像仪,可应用于空间探测、电晕检测、紫外告警等领域。
技术介绍
波长小于285nm的太阳光在穿透大气层到达海平面的过程中几乎被臭氧层完全吸收,该波段被称为日盲紫外波段。由于此波段背景辐射微弱,位于此波段的紫外辐射目标信号能够被有效的分辨出来。因此,工作于日盲紫外波段的紫外成像仪及紫外微光探测技术在紫外告警、紫外制导、紫外光通信、火灾告警、电晕放电探测与定位、大气及臭氧监测、刑事侦查、生物学及医学等领域得到了广泛的应用。紫外成像仪和紫外微光探测技术的核心在于提高探测器的灵敏度,以实现对远距离极微弱紫外信号的探测。现有的紫外成像仪存在以下问题:1.紫外成像仪为定位紫外目标的空间位置信息,需要同时获得紫外光图像和可见光图像,现有的紫外成像仪需分别搭建紫外光和可见光两套成像系统,采用紫外探测器和可见光探测器分别探测紫外图像和可见光图像,并采用图像处理手段获得紫外/可见光融合图像。因现有的紫外成像仪需设置两套成像系统,所以难以实现小型化、轻量化和便携化;2.现有紫外成像仪所用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于紫外电子轰击有源像素传感器的紫外成像仪,其特征在于:包括光机系统(1)、紫外电子轰击有源像素传感器(2)、高压选通脉冲模块(3)、读出电子学系统(4)、图像处理与控制系统(5);所述光机系统(1)包括成像镜头(11)和滤波片(12),图像处理与控制系统(5)控制完成成像镜头(11)的变焦和滤波片(12)的切换;所述高压选通脉冲模块(3)分别与紫外电子轰击有源像素传感器(2)、图像处理与控制系统(5)连接,实现紫外电子轰击有源像素传感器(2)对紫外增强探测和可见光探测工作模式的切换;所述读出电子学系统(4)分别与紫外电子轰击有源像素传感器(2)、图像处理与控制系统(5)连接;所述紫外...

【技术特征摘要】
1.一种基于紫外电子轰击有源像素传感器的紫外成像仪,其特征在于:包括光机系统(1)、紫外电子轰击有源像素传感器(2)、高压选通脉冲模块(3)、读出电子学系统(4)、图像处理与控制系统(5);所述光机系统(1)包括成像镜头(11)和滤波片(12),图像处理与控制系统(5)控制完成成像镜头(11)的变焦和滤波片(12)的切换;所述高压选通脉冲模块(3)分别与紫外电子轰击有源像素传感器(2)、图像处理与控制系统(5)连接,实现紫外电子轰击有源像素传感器(2)对紫外增强探测和可见光探测工作模式的切换;所述读出电子学系统(4)分别与紫外电子轰击有源像素传感器(2)、图像处理与控制系统(5)连接;所述紫外电子轰击有源像素传感器(2)包括阴极窗口(21)、紫外光电阴极(22)、管壳(23)和背照式CMOS芯片(24);所述阴极窗口(21)设置在管壳(23)的一端,并与管壳(23)形成真空腔体;所述紫外光电阴极(22)设置在阴极窗口(21)的内表面;所述滤波片(12)位于成像镜头(11)和阴极窗口(21)之间,使经过成像镜头(11)的光线均能经过滤波片(12);所述背照式CMOS芯片(24)设置在管壳(23)内部,并与紫外光电阴极(22)平行设置;所述背照式CMOS芯片(24)包括由上至下依次设置的表面钝化层(241)、扩散层(242)、读出电路层(243)和衬底层(244);所述管壳(23)底部设有电信号通路(25),所述电信号通路(25)分别与背照式CMOS芯片(24)、读出电子学系统(4)连接。2.根据权利要求1所述的基于紫外电子轰击有源...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨阳曹伟伟王博白永林秦文强陈震徐鹏朱炳林缑永胜高佳瑞白晓红秦君军
申请(专利权)人:中国科学院西安光学精密机械研究所
类型:新型
国别省市:陕西,61

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