【技术实现步骤摘要】
一种光斑尺寸精密测试装置
本技术涉及光学测量
，具体为一种光斑尺寸精密测试装置。
技术介绍
在光机制造行业中，为了使产品能达到设计精度和质量要求，除了传统的物理计量与检测实现方法，可以运用高性能计算机及软件技术、光学、光学成像、声学与机器动作多种混合技术实现的逻辑计量与检测，习惯将这些复杂的计量与检测技术称之为非接触计量与检测技术。现有的产品光学后焦值较小，而光电传感探测器感光面内缩，产品光斑不能直入探测器；直入式测试调节空间有限，测试误差偏大。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光斑尺寸精密测试装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光斑尺寸精密测试装置，包括测试平台，所述测试平台上设置有光电探测传感器、光路系统和仿形治具，所述光电探测传感器和仿形治具分别设置在光路系统的两端，所述光路系统包括长筒，所述长筒的内腔靠近仿形治具的一端固定连接有反射镜，所述反射镜的上方设置有第一透镜，所述第一透镜的边缘固定连接长筒的内侧壁，所述反射镜与第一透镜呈45°夹角，所述长筒顶壁上开设有通孔，所述通孔位于第一透镜的正上方，所述长筒的内...
【技术保护点】
1.一种光斑尺寸精密测试装置，包括测试平台(1)，其特征在于：所述测试平台(1)上设置有光电探测传感器(2)、光路系统(3)和仿形治具(4)，所述光电探测传感器(2)和仿形治具(4)分别设置在光路系统(3)的两端，所述光路系统(3)包括长筒(31)，所述长筒(31)的内腔靠近仿形治具(4)的一端固定连接有反射镜(32)，所述反射镜(32)的上方设置有第一透镜(33)，所述第一透镜(33)的边缘固定连接长筒(31)的内侧壁，所述反射镜(32)与第一透镜(33)呈45°夹角，所述长筒(31)顶壁上开设有通孔(34)，所述通孔(34)位于第一透镜(33)的正上方，所述长筒(31)...
【技术特征摘要】
1.一种光斑尺寸精密测试装置，包括测试平台(1)，其特征在于：所述测试平台(1)上设置有光电探测传感器(2)、光路系统(3)和仿形治具(4)，所述光电探测传感器(2)和仿形治具(4)分别设置在光路系统(3)的两端，所述光路系统(3)包括长筒(31)，所述长筒(31)的内腔靠近仿形治具(4)的一端固定连接有反射镜(32)，所述反射镜(32)的上方设置有第一透镜(33)，所述第一透镜(33)的边缘固定连接长筒(31)的内侧壁，所述反射镜(32)与第一透镜(33)呈45°夹角，所述长筒(31)顶壁上开设有通孔(34)，所述通孔(34)位于第一透镜(33)的正上方，所述长筒(31)的内腔远离反射镜(32)的一端固定连接有第二透镜(35)，所述长筒(31)的底部和仿形治具(4)的底部均固定连接有第一支架(5)，所述第一支架(5)的底部固定连接测试平台(1)，所述光电探测传感器(2)的底部固定连接有第二支架(6)，所述测试平台(...
【专利技术属性】
技术研发人员：任柱，王文刚，赵成，李丰，曹祥祥，罗剑，
申请(专利权)人：无锡欧莱美激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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