下载一种光斑尺寸精密测试装置的技术资料

文档序号:19593360

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本实用新型公开了一种光斑尺寸精密测试装置,包括测试平台,所述测试平台上设置有光电探测传感器、光路系统和仿形治具,所述光电探测传感器和仿形治具分别设置在光路系统的两端,所述光路系统包括长筒,所述长筒的内腔靠近仿形治具的一端固定连接有反射镜,所...
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