一种快速退火装置及其冷却管道结构制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种冷却管道结构，包括：多条第一支管道，多条第一支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第一进水主管道，多条第一支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第一出水主管道；多条第二支管道，多条第二支管道和多条第一支管道逐一间隔排列，多条第二支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第二进水主管道，多条第二支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第二出水主管道，第一进水主管道和第二进水主管道分别位于多条第一支管道或多条第二支管道的相对两侧。本发明专利技术还公开了一种快速退火装置。实施本发明专利技术的快速退火装置及其冷却管道结构，能够提高快速降温的效率以及管道降温的均一性；降低对管道进行维修及维护的时间，提高产能。

【技术实现步骤摘要】
一种快速退火装置及其冷却管道结构
本专利技术涉及面板制作领域，尤其涉及一种快速退火装置及其冷却管道结构。
技术介绍
现有技术液晶显示面板制造行业中，快速退火装置用途较广，在制程中扮演较为重要的角色。目前，快速退火装置的快速降温单元所含有的冷却管道因结构设计不合理，存在如下技术缺陷：1、冷却水管排布较长，水管后段水温已经升高导致降温效率低下，降温不均。2、冷却水需求量极大，且水管中水温较高区段容易形成水垢，水中含氧可与水管壁反应产生固态氧化物，这些固体物质会堵塞冷却水管，目前只能采用高压设备进行吹洗，但改善效果不明显，造成产能低下。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种快速退火装置及其冷却管道结构，能够提高快速降温的效率以及管道降温的均一性；降低对管道进行维修及维护的时间，提高产能。为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种用于快速退火装置的冷却管道结构，包括：多条第一支管道，多条第一支管道具有相对的两端部，多条第一支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第一进水主管道，多条第一支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第一出水主管道；多条第二支管道，多条第二支管道和多条第一支管道逐一间隔排列，多条第二支管道具有相对的两端部，多条第二支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第二进水主管道，多条第二支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第二出水主管道，其中：第一进水主管道和第二进水主管道分别位于多条第一支管道或多条第二支管道的相对两侧。其中，多条第一支管道为相互平行而设的多条直管。其中，第一进水主管道为与多条第一支管道垂直而设的直管；第一出水主管道为与多条第一支管道垂直而设的直管。其中，第一进水主管道与多条第一支管道的连接位置分别设置用以调节相应第一支管道流量的第一流量控制阀。其中，多条第二支管道为相互平行而设的多条直管。其中，第二进水主管道为与多条第二支管道垂直而设的直管；第二出水主管道为与多条第二支管道垂直而设的直管。其中，第二进水主管道与多条第二支管道的连接位置分别设置用以调节相应第二支管道流量的第二流量控制阀。其中，多条第一支管道和多条第二支管道相互平行。其中，多条第一支管道、第一进水主管道、第一出水主管道、多条第二支管道、第二进水主管道以及第二出水主管道设在同一平面上。为解决上述技术问题，本专利技术还公开了一种使用上述冷却管道结构的快速退火装置。实施本专利技术所提供的快速退火装置及其冷却管道结构，具有如下有益效果：多条第二支管道和多条第一支管道逐一间隔排列，多条第一支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第一进水主管道，多条第一支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第一出水主管道；多条第二支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第二进水主管道，多条第二支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第二出水主管道，第一进水主管道和第二进水主管道分别位于多条第一支管道或多条第二支管道的相对两侧，能够提高快速降温的效率以及管道降温的均一性；降低管道维修及维护的时间，提高产能。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例用于快速退火装置冷却管道的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1所示，为本专利技术用于快速退火装置的冷却管道的实施例一。本实施例中的快速退火装置，包括：快速降温单元，快速降温单元包括一定数量的冷却管道。本实施例中的用于快速退火装置的冷却管道包括：多条第一支管道1，多条第一支管道1具有相对的两端部，位于如图所示A侧的右端部11和位于如图所示B侧的左端部12。本实施例中，多条第一支管道1为相互平行而设的多条直管，设置在同一平面上，且相邻两根第一支管道1之间的间隔设为相等。进一步，多条第一支管道1同一侧A的端部11连接至一可拆卸的第一进水主管道2，多条第一支管道1同一侧B的另一端部12连接至一可拆卸的第一出水主管道3。本实施例中，第一进水主管道2为与多条第一支管道1垂直而设的直管；第一出水主管道3为与多条第一支管道1垂直而设的直管。第一进水主管道2、第一出水主管道3与多条第一支管道1设在同一平面上。通过将第一进水主管道2和第一出水主管道3设为分别与第一支管道1可拆卸的直管，从而消除现有技术中使用弯曲管路带来的清理管路难度大的问题。由于多条第一支管道1均为直管，拆除第一进水主管道2和第一出水主管道3后便可使用工具，例如直杆毛刷彻底清除多条第一支管道1内壁附着的固态堵塞物。如此，提升维护的效率，防止第一支管道1堵塞。优选的，第一进水主管道2与多条第一支管道1的连接位置分别设置用以调节相应第一支管道流量的第一流量控制阀P。第一流量控制阀P的作用是：分别调节相对应的第一支管道1的流量，实现间隔式流量可控，满足不同的降温需求。进一步的，还包括：多条第二支管道7。本实施例中，多条第二支管道7为相互平行而设的多条直管，设置在与多条第一支管道1相同的平面上，且相邻两根第二支管道7之间的间隔设为相等。具体实施时，多条第二支管道7和多条第一支管道1逐一间隔排列，例如：设置一条第一支管道1、平行设置一条第二支管道7、再平行设置一条第一支管道1，以此类推。通过此种排布方式，可以使不同区域（如图所示的顶部区域和底部区域）均能够排布有距离进水主管道更为接近的支管道，以此使快速降温单元的不同区域有着均一的降温效果。进一步的，多条第二支管道7具有相对的两端部，位于如图所示B侧的左端部71和位于如图所示A侧的右端部72。多条第二支管道7同一侧B的端部71连接至一可拆卸的第二进水主管道8，多条第二支管道7同一侧A的另一端部72连接至一可拆卸的第二出水主管道9。本实施例中，第二进水主管道8为与多条第二支管道7垂直而设的直管；第二出水主管道9为与多条第二支管道7垂直而设的直管。第二进水主管道8、第二出水主管道9与多条第二支管道7设在同一平面上。通过将第二进水主管道8和第二出水主管道9设为分别与第二支管道7可拆卸的直管，从而消除现有技术中使用弯曲管路带来的清理管路难度大的问题。由于多条第二支管道7均为直管，拆除第二进水主管道8和第二出水主管道9后便可使用工具，例如直杆毛刷彻底清除多条第二支管道7内壁附着的固态堵塞物。如此，提升维护的效率，防止第二支管道7堵塞。优选的，第二进水主管道8与多条第二支管道7的连接位置分别设置用以调节相应第二支管道7流量的第二流量控制阀Q。第二流量控制阀Q的作用是：分别调节相对应的第二支管道7的流量，实现间隔式流量可控，满足不同的降温需求。进一步的，本实施例中，第一进水主管道2和第二进水主管道8分别位于多条第一支管道1或多条第二支管道7的相对两侧，例如：第一进水主管道2位于多条第一支管道1同一侧A的端部11，第二进水主管道8位于多条第二支管道7同一侧B的端部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，包括：多条第一支管道，所述多条第一支管道具有相对的两端部，所述多条第一支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第一进水主管道，所述多条第一支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第一出水主管道；多条第二支管道，所述多条第二支管道和所述多条第一支管道逐一间隔排列，所述多条第二支管道具有相对的两端部，所述多条第二支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第二进水主管道，所述多条第二支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第二出水主管道，其中：所述第一进水主管道和所述第二进水主管道分别位于所述多条第一支管道或所述多条第二支管道的相对两侧。

【技术特征摘要】
1.一种用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，包括：多条第一支管道，所述多条第一支管道具有相对的两端部，所述多条第一支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第一进水主管道，所述多条第一支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第一出水主管道；多条第二支管道，所述多条第二支管道和所述多条第一支管道逐一间隔排列，所述多条第二支管道具有相对的两端部，所述多条第二支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第二进水主管道，所述多条第二支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第二出水主管道，其中：所述第一进水主管道和所述第二进水主管道分别位于所述多条第一支管道或所述多条第二支管道的相对两侧。2.如权利要求1所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述多条第一支管道为相互平行而设的多条直管。3.如权利要求1或2所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述第一进水主管道为与所述多条第一支管道垂直而设的直管；所述第一出水主管道为与所述多条第一支管道垂直而设的直管。4.如权利要求3所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述第一进水主管道与所述多条第一支管道...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄灿，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42