光调制器模块制造技术

本发明专利技术提供一种能够有效抑制因气相输送物质引起的错误猝发的发生或光损失的增大的光调制器模块。光调制器模块具有：基板(1)，具有热电效应；光波导(2)，形成于该基板(1)的主面；导电膜(省略图示)，形成在该基板(2)上；及控制电极(31～33)，用于控制在该光波导(2)中传播的光波，该光波通过空间光学系统(省略图示)向该光波导的端部(21)输入(或从该光波导的端部(21)输出)，其特征在于，在该光波导的端部(21)的附近配置有用于吸附气相输送物质的吸附构件(4)。

Optical modulator module

The invention provides an optical modulator module which can effectively suppress the occurrence of error burst or the increase of light loss caused by gas phase conveying substance. The light modulator module has: a substrate (1) with thermoelectric effect; an optical waveguide (2) formed on the main surface of the substrate (1); a conductive film (omitted illustration) formed on the substrate (2); and a control electrode (31-33) for controlling the light wave propagating in the optical waveguide (2), which is directed to the light wave through a space optical system (omitted illustration). The end (21) of the guide is input (or output from the end (21) of the optical waveguide). The characteristics of the guide are that an adsorption member (4) for adsorbing vapor transport substances is disposed near the end (21) of the optical waveguide.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光调制器模块
本专利技术涉及一种光调制器模块，尤其涉及具有基板、形成在该基板的主面的光波导、形成在该基板上的导电膜和用于控制在该光波导中传播的光波的控制电极的光调制器模块，其中，基板具有热电效应。
技术介绍
在使用电子布线的行业，已知锡(Tin)晶须随着时间慢慢成长，最终与印刷线路板上的端子接触而引起短路事故的情况。在2005年之前，向锡中添加铅，抑制晶须的产生，但是现在，根据RoHS(RestrictiononHazardousSubstances：限制危险物质)等电子设备的环境应对措施，使用以无铅焊料为代表的无铅原材料，因晶须引起的短路再次成为问题。在波导基板使用铌酸锂(LiNbO3)的LN光调制器中，发生因金锡焊料含有的锡引起的其他问题。从连接器与壳体的连接部、光纤与壳体的封闭连接部等的焊料向LN光调制器的电极间气相输送锡，锡在电极间析出并成长，引起偏置稳定的劣化。原因为无铅化，还有DP-BPSK(DualPolarization-BinaryPhaseShiftKeying：双极化-二进制相移键控)调制器、DP-QPSK(DualPolarization-QuadraturePhaseShiftKeying：双极化-正交相移键控)调制器等的电布线部增大、壳体内部的空间狭窄等。而且，在两波长应对DP-QPSK中，除了电布线数以外，光纤的连接数也倍增，因此问题尤其显著。另外，在DP-BPSK调制器、DP-QPSK调制器等极化波复用方式的光调制器模块中，在各调制器的光波导输出口与光纤的连接中，通常不是进行对接，而是进行透镜耦合。在透镜耦合的构造的模块中，为了防止因颗粒遮挡光轴(下面称为光轴遮挡)引起的错误猝发，在清洁环境下进行模块组装。另外，为了防止因雾、溶胶等被气相输送的物质附着或热粘于光波导端面引起的光透过特性的时效老化(光损失增大)，对各部件彻底清洗，并使用利用干燥氮气对壳体内部进行置换并封闭的壳体构造。本说明书中，将颗粒、雾、溶胶等处于气体状态的物质及在空间内浮游输送的物质总称为“气相输送物质”。“气相输送物质”这一用语，从技术观点来看与本来的意思不同，但在本说明书中如上述那样定义。另外，近年来，下述(1)～(3)得以发展。(1)因壳体的小型化，壳体内部空间大幅减小；(2)因高度集成化，部件数量增大，由此作为气相输送物质源的材料、构件增大；(3)用于改进传送距离延长、OSNR(OpticalSignaltoNoiseRatio；光信号噪音比)的光量增大。因此，颗粒遮挡光轴的概率急剧增大，由光轴遮挡引起的错误猝发成为严重的问题。另外，由于气相输送物质急剧增大，因这些物质的附着或热粘引起的光透过特性的时效老化(光损失增大)也变得显著。而且，由于光量增大，即使气相输送物质不靠近光波导端部，也由于在光轴上通过而形成激光阱，固定在光轴上、或者附着或热粘于波导端面的情况变得显著。激光阱在光的功率密度为1×105W/cm2(@1.55μm)以上的情况下，尤其显著。另外，LN晶体本身具有强的热电效应，因温度变化，晶体表面较强地带电。因此，带电的气相输送物质容易被LN晶体表面吸引。为了确保动作稳定性，通常在LN光调制器的基板上除了具有光波导的端部的面(波导端部面)之外，还形成防带电膜或金属膜等导电膜(金属、半导体、电阻等)(例如，参照专利文献1、2、3)。另一方面，有时在波导端部面形成防反射膜，但是在大多情况下，波导端部面保持裸露不变，不形成导电膜。因此，带电的颗粒等易于被波导端部面吸引。尤其是，在温度环境变化剧烈的环境中使用的情况下(例如，RoF(RadiooverFiber：光载无线)系统、车载NW(网络)等)，问题较为严重。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开昭62-173428号公报专利文献2：日本特开平3-202810号公报专利文献3：日本特开2016-12037号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题在于提供能够有效抑制因气相输送物质引起的错误猝发的发生或光损失增大的光调制器模块。用于解决技术问题的技术方案为了解决上述技术问，本专利技术的光调制器模块具有下面那样的技术特征。(1)一种光调制器模块，具有：基板，具有热电效应；光波导，形成于该基板的主面；导电膜，形成在该基板上；以及控制电极，用于控制在该光波导中传播的光波，该光波通过空间光学系统向该光波导的端部输入，或者从该光波导的端部输出，其特征在于，在该光波导的端部的附近配置有用于吸附气相输送物质的吸附构件。(2)根据上述(1)所述的光调制器模块，其特征在于，在该基板为Z切的情况下，该吸附构件配置于该基板的主面或与主面相对的面，在该基板为X切的情况下，该吸附构件配置于该基板的与主面接触的侧面。(3)根据上述(1)或(2)所述的光调制器模块，其特征在于，该吸附构件是未形成该导电膜的部位。(4)根据上述(1)或(2)所述的光调制器模块，其特征在于，该吸附构件是固定于该基板的加强构件。(5)根据上述(4)所述的光调制器模块，其特征在于，使该加强构件的极化方向与该基板的极化方向一致。(6)根据上述(1)或(2)所述的光调制器模块，其特征在于，该吸附构件配置于与该基板分离的位置。(7)根据上述(1)～(6)中任一项所述的光调制器模块，其特征在于，该吸附构件具有1.4mm2以上的面积。(8)根据上述(1)、(3)～(6)中任一项所述的光调制器模块，其特征在于，该吸附构件形成于该基板的具有该光波导的端部的面以外的位置，该吸附构件的面积为该基板的具有该光波导的端部的面的面积以上。专利技术效果本专利技术的光调制器模块具有：基板，具有热电效应；光波导，形成于该基板的主面；导电膜，形成在该基板上；及控制电极，用于控制在该光波导中传播的光波，该光波通过空间光学系统向该光波导的端部输入，其中，在该光波导的端部的附近配置有用于吸附气相输送物质的吸附构件，因此能够有效抑制因气相输送物质引起的错误猝发的发生或光损失的增大。附图说明图1是示出本专利技术的光调制器模块的实施例的立体图。图2是示出本专利技术的光调制器模块的另一实施例的立体图。图3是对光波导端部与具有热电效应的构件之间的距离进行说明的立体图。具体实施方式下面，详细说明本专利技术的光调制器模块。如图1所示，本专利技术的光调制器模块具有：基板1，具有热电效应；光波导2，形成于该基板1的主面；导电膜(省略图示)，形成在该基板2上；以及控制电极(31～33)，用于控制在该光波导2中传播的光波，该光波通过空间光学系统(省略图示)向该光波导的端部21输入(或从该光波导的端部21输出)，其特征在于，在该光波导的端部21的附近配置有用于吸附气相输送物质的吸附构件4。图1是示出本专利技术的一个方式的光调制器模块的实施例的立体图。作为基板1，是石英、半导体等能够形成光波导的基板即可，尤其是能够适当地利用作为具有电光效应的基板的LiNbO3(铌酸锂)、LiTaO3(钽酸锂)或PLZT(锆钛酸铅镧)中任一种的单晶。形成于基板1的光波导2例如通过使钛(Ti)等高折射率物质向LiNbO3基板(LN基板)上热扩散来形成。另外，也能够利用在成为光波导的部分的两侧形成有槽的肋型光波导或将光波导部分形成凸状的脊型波导。另外，在材料不同的其他的波导基板上形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光调制器模块，具有：基板，具有热电效应；光波导，形成于该基板的主面；导电膜，形成在该基板上；以及控制电极，用于控制在该光波导中传播的光波，该光波通过空间光学系统向该光波导的端部输入，或者从该光波导的端部输出，其特征在于，在该光波导的端部的附近配置有用于吸附气相输送物质的吸附构件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.01 JP 2016-0738441.一种光调制器模块，具有：基板，具有热电效应；光波导，形成于该基板的主面；导电膜，形成在该基板上；以及控制电极，用于控制在该光波导中传播的光波，该光波通过空间光学系统向该光波导的端部输入，或者从该光波导的端部输出，其特征在于，在该光波导的端部的附近配置有用于吸附气相输送物质的吸附构件。2.根据权利要求1所述的光调制器模块，其特征在于，在该基板为Z切的情况下，该吸附构件配置于该基板的主面或与主面相对的面，在该基板为X切的情况下，该吸附构件配置于该基板的与主面接触的侧面。3.根据权利要求1或2所述的光调制器...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤孝知，市川润一郎，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP