挥发性有机化合物去除系统技术方案

技术编号:19538993 阅读:40 留言:0更新日期:2018-11-24 18:57
本发明专利技术涉及挥发性有机化合物去除系统,用于去除吸入到流路的空气中的挥发性有机化合物的挥发性有机化合物去除系统的特征在于,包括挥发性有机化合物处理风轮,上述挥发性有机化合物处理风轮由吸附区、冷却区、解吸区以及预热区构成,通过上述冷却区的空气或通过上述解吸区的空气或通过上述冷却区的空气和通过解吸区的空气的混合空气通过上述预热区。由此,通过在风轮中添加预热区来减少排放空气的排放量并降低排放空气的温度,从而具有节省能源的效果。

【技术实现步骤摘要】
挥发性有机化合物去除系统
本专利技术涉及挥发性有机化合物(VOC,volatileorganiccompounds)去除系统,更详细地,涉及去除因在涂布设施、晶片及液晶显示装置面板制造设施、洗衣店等中所使用的有机溶剂而产生的大量挥发性有机化合物的挥发性有机化合物去除系统。
技术介绍
一般而言,在涂布设施、半导体或液晶显示装置面板及制造工序、洗衣店中,由于产生大量的挥发性有机化合物,因而另外建立并运行着对此进行处理的挥发性有机化合物去除系统。并且,已经开发出了多种在清洁室内进行空气调节的装置,其中,还开发出了对作为引发半导体及液晶显示装置面板的不合格诱因物质的挥发性有机化合物(VolatileOrganicCompounds;以下称之为“挥发性有机化合物”)流入洁净室进行处理的挥发性有机化合物降低装置。这种挥发性有机化合物降低装置采用如下的方式,即,在流路设置可吸附空气中所包含的挥发性有机化合物的风轮来通过冷却步骤和解吸步骤从空气中分离吸附于上述风轮的挥发性有机化合物。在本申请人之前申请的下述专利文献1(以下,称之为“现有技术1”)“挥发性有机化合物降低装置及其控制方法”中公开了这种与挥发性有机化合物降低装置有关的代表性例。这种现有技术1采用构成循环工序的方式,即,在吸入外部空气的流路以能够旋转的方式设置有由吸附区、冷却区、再生区构成的挥发性有机化合物处理风轮,流路内的空气通过上述挥发性有机化合物处理风轮来使空气中所包含的挥发性有机化合物吸附于上述挥发性有机化合物处理风轮,通过向反方向吹送热风来解吸吸附于挥发性有机化合物处理风轮的挥发性有机化合物,并向外部排出所解吸的挥发性有机化合物,从而形成能够再利用上述挥发性有机化合物处理风轮。然而,现有技术1中的挥发性有机化合物降低装置需要另外设置用于分解所解吸的挥发性有机化合物的挥发性有机化合物分解装置,因而存在增加维护及设置费用的缺点。此外,由于所解吸的挥发性有机化合物为高浓度挥发性有机化合物,因而存在因用于处理挥发性有机化合物的挥发性有机化合物分解装置的维护费用而使得运行费用上升的问题。并且,在现有技术1中,由于向外部排放高温的处理空气,因而存在增加能源损失的问题。为了改善现有技术1的问题,本申请人提出了专利文献2(以下,称之为“现有技术2”)“挥发性有机化合物降低系统”。这种现有技术2的挥发性有机化合物降低系统包括:挥发性有机化合物处理风轮,划分为吸附区、冷却区、再生区及分解区;第一热交换器;以及第二热交换器。在现有技术2中,在吸附区吸附空气中所包含的挥发性有机化合物,并在再生区中解吸所吸附的挥发性有机化合物来使得通过再生区的空气成为包含高浓度挥发性有机化合物的空气。高浓度的解吸空气在通过加热器后,得到升温并通过分解区,其中的99%被分解转化为包含浓度非常低的挥发性有机化合物的空气并被排放到外部。然而,与现有技术1相比,现有技术2不需要另外设置催化剂氧化器,因此呈现出在空间上得到改善的形态,但在能源方面则与现有技术1相同,因向外部排放高温的处理空气而增加能源损失。并且,需要用于设置两个热交换器的空间,因此,装置的尺寸变大,并且,因热交换器而导致压差增加以及使得用于反复进行热交换的流路变得复杂,因而导致再生动力上升。在此情况下,也使能源损失变大。因此,需要开发出在挥发性有机化合物降低装置中过滤空气中的挥发性有机化合物的同时分解被过滤的挥发性有机化合物的挥发性有机化合物去除系统。现有技术文献专利文献专利文献0001:韩国公开专利第2009-0088586号(2009年08月20日公开)专利文献0002:韩国公开专利第2015-0025773号(2015年03月11日公开)
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述现有诸多问题而提出,本专利技术的目的在于提供通过减少排放空气的排放量并降低排放空气的温度来节省能源的挥发性有机化合物去除系统。用于解决上述问题的本专利技术的挥发性有机化合物去除系统用于去除吸入到流路的空气中的挥发性有机化合物,其特征在于,包括挥发性有机化合物处理风轮,上述挥发性有机化合物处理风轮由吸附区、冷却区、解吸区以及预热区构成,通过上述冷却区的空气或通过上述解吸区的空气或通过上述冷却区的空气和通过解吸区的空气的混合空气通过上述预热区。并且,本专利技术的特征在于,上述挥发性有机化合物处理风轮由用于吸附挥发性有机化合物的吸附剂形成。并且,本专利技术的特征在于,上述流路包括:第一流路,使处理空气通过上述吸附区;第二流路,使外部空气通过上述冷却区;第三流路,使上述第二流路与解吸区相连接;第四流路,使上述解吸区与第三流路相连接;以及第五流路,从上述第三流路分支并通过上述预热区。并且,本专利技术的特征在于,在上述第一流路设置有处理风扇,在上述第三流路设置有再生风扇,在上述第四流路设置有加热器和催化剂氧化器。并且,本专利技术的特征在于,上述流路包括:第一流路,使处理空气通过上述吸附区;第二流路,使外部空气通过上述冷却区;第三流路,使上述第二流路与解吸区相连接;第四流路,使上述解吸区与第三流路相连接;以及第五流路,从上述第四流路分支并通过上述预热区。并且,本专利技术的特征在于,在上述第一流路设置有处理风扇,在上述第四流路设置有再生风扇,在上述第四流路设置有加热器和催化剂氧化器。并且,本专利技术的特征在于,上述挥发性有机化合物处理风轮还包含催化剂氧化剂。并且,本专利技术的特征在于,上述流路包括:第一流路,使处理空气通过上述吸附区;第二流路,使外部空气通过上述冷却区;第三流路,使上述第二流路与使得处理空气流入的方向上的解吸区相连接;第四流路,使上述解吸区与第三流路相连接;以及第五流路,从上述第三流路分支并通过上述预热区。并且,本专利技术的特征在于,在上述第一流路设置有处理风扇,在上述第三流路设置有再生风扇及加热器。并且,本专利技术的特征在于,在上述第二流路、第三流路、第五流路分别设置有用于调节空气流量的流量阻尼器。根据本专利技术的挥发性有机化合物去除系统,通过在风轮中添加预热区来减少排放空气的排放量并降低排放空气的温度,从而具有节省能源的效果。即,废热将被用于风轮的预热。附图说明图1为示出本专利技术第一实施例的挥发性有机化合物去除系统的结构图。图2A及图2B为示出第一实施例的温度测量结果和挥发性有机化合物浓度测量结果的图。图3为示出本专利技术第二实施例的挥发性有机化合物去除系统的结构图。图4A及图4B为示出第二实施例的温度测量结果和挥发性有机化合物浓度测量结果的图。图5为示出本专利技术第三实施例的挥发性有机化合物去除系统的结构图。图6A及图6B为示出第三实施例的温度测量结果和挥发性有机化合物浓度测量结果的图。附图标记的说明S:挥发性有机化合物去除系统100:风轮200:第一流路300:第二流路400:第三流路500:第四流路600:第五流路具体实施方式以下,参照附图对本专利技术的优选实施例进行详细说明。图1为示出本专利技术第一实施例的挥发性有机化合物去除系统的结构图,图2A及图2B为示出第一实施例的温度测量结果和挥发性有机化合物浓度测量结果的图,图3为示出本专利技术第二实施例的挥发性有机化合物去除系统的结构图,图4A及图4B为示出第二实施例的温度测量结果和挥发性有机化合物浓度测量结果的图,图5为示出本专利技术第三实施例的挥发性有机化合物去除本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种挥发性有机化合物去除系统,用于去除吸入到流路的空气中的挥发性有机化合物,其特征在于,包括挥发性有机化合物处理风轮,上述挥发性有机化合物处理风轮由吸附区、冷却区、解吸区以及预热区构成,通过上述冷却区的空气或通过上述解吸区的空气或通过上述冷却区的空气和通过解吸区的空气的混合空气通过上述预热区。

【技术特征摘要】
2017.05.10 KR 10-2017-00579661.一种挥发性有机化合物去除系统,用于去除吸入到流路的空气中的挥发性有机化合物,其特征在于,包括挥发性有机化合物处理风轮,上述挥发性有机化合物处理风轮由吸附区、冷却区、解吸区以及预热区构成,通过上述冷却区的空气或通过上述解吸区的空气或通过上述冷却区的空气和通过解吸区的空气的混合空气通过上述预热区。2.根据权利要求1所述的挥发性有机化合物去除系统,其特征在于,上述挥发性有机化合物处理风轮由用于吸附挥发性有机化合物的吸附剂形成。3.根据权利要求2所述的挥发性有机化合物去除系统,其特征在于,上述流路包括:第一流路,使处理空气通过上述吸附区;第二流路,使外部空气通过上述冷却区;第三流路,使上述第二流路与解吸区相连接;第四流路,使上述解吸区与第三流路相连接;以及第五流路,从上述第三流路分支并通过上述预热区。4.根据权利要求3所述的挥发性有机化合物去除系统,其特征在于,在上述第一流路设置有处理风扇,在上述第三流路设置有再生风扇,在上述第四流路设置有加热器和催化剂氧化器。5.根据权利要求2所述的挥发性有机化合物去除系统,其特征在于,上述流路包括:...

【专利技术属性】
技术研发人员:河钟必南承伯金钟振金东权金圣千赵日钦
申请(专利权)人:新盛ENG株式会社
类型:发明
国别省市:韩国,KR

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