圆环状基板、磁盘用基板及其制造方法、磁盘及其制造方法技术

圆环状基板、磁盘用基板及其制造方法、磁盘及其制造方法。圆环状基板在中心具有圆孔，并具有一对主表面和端面，端面具有侧壁面、和介于侧壁面与主表面之间的倒角面，外周侧的端面的正圆度为1.5μm以下，分别取得在外周侧的侧壁面上的沿板厚方向相距200μm的两点位置处的圆周方向的轮廓线，设根据这些轮廓线分别求出的两个最小二乘圆的中心间的中点为中点A，在外周侧的两个倒角面上的板厚方向长度的中心的位置分别取得圆周方向的轮廓线，在根据这些轮廓线求出的最小二乘圆的中心中，设根据一个倒角面求出的中心为中心B，设根据另一个倒角面求出的中心为中心C时，中点A和中心B间的距离与中点A和中心C间的距离的合计为1μm以下。

【技术实现步骤摘要】
圆环状基板、磁盘用基板及其制造方法、磁盘及其制造方法本申请是申请号为201480009941.X的专利技术专利申请(国际申请号：PCT/JP2014/055114，申请日：2014年02月28日，专利技术名称：磁盘用玻璃基板和磁盘)的分案申请。
本专利技术涉及圆环状基板、磁盘用基板及其制造方法、磁盘及其制造方法和硬盘。
技术介绍
如今，在个人计算机或DVD(DigitalVersatileDisc)记录装置等中内置有用于记录数据的硬盘装置(HDD：HardDiskDrive)。特别是在笔记型个人计算机等以移动性为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用在磁盘的面上略微悬浮的磁头对磁性层进行磁记录信息的记录或读取。作为该磁盘的基板，由于具有比金属基板(铝基板)等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻璃基板。另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用使磁性层中的磁化方向相对于基板的面为垂直方向的垂直磁记录方式，进行磁记录信息区域的微细化。由此，可以增大1张盘片基板中的存储容量。在这种盘片基板中，优选按照磁性层的磁化方向相对于基板面朝向大致垂直方向的方式，尽可能地使基板表面平坦，使磁性粒子的生长方向统一为垂直方向。进一步，为了进一步增大存储容量，还进行了下述操作：通过使用搭载有DFH(DynamicFlyingHeight)机构的磁头来极度缩短距磁记录面的悬浮距离，从而降低磁头的记录再生元件与磁盘的磁记录层之间的磁性间距，进一步提高信息的记录再现精度(提高S/N比)。该情况下，为了长期稳定地进行利用磁头的磁记录信息的读写，要求尽可能减小磁盘的基板的表面凹凸。磁盘记录有用于将磁头定位于数据轨道的伺服信息。以往，已知的是：若降低磁盘的外周侧的端面(下文中也称为外周端面)的正圆度，则磁头的悬浮稳定，可良好地进行伺服信息的读取，利用磁头进行的读写稳定。例如，在专利文献1记载的技术中，公开了外周端面的正圆度为4μm以下的磁盘用玻璃基板。根据该玻璃基板，通过降低外周端面的正圆度，从而LUL(loadunload，装载卸载)试验耐久性提高。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-217918号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，近年来已知采用了覆写(shinglewrite)方式的HDD，其按照相邻的轨道部分重叠的方式进行记录。在覆写方式中，由于伴随相邻轨道上的记录的信号劣化极小，因此可以飞跃性地提高轨道记录密度，例如可以实现500kTPI(trackperinch，每英寸磁道数)以上的极高的轨道记录密度。另一方面，通过TPI的提高，关于磁头对伺服信号的追随性，与以往相比要求更为严格。例如在采用覆写方式等而为500kTPI以上的HDD中，即使将磁盘的外周端面的正圆度降低至1.5μm以下，在磁盘的外周侧的端部也会发生伺服信号的读取不稳定的现象。该现象被认为是由于如下的原因而产生的，在磁盘的外周侧端部的最外周侧气流紊乱，产生被称为颤振(fluttering)的磁盘的偏差，因而对稳定的读取产生影响。磁盘的主表面上的外周侧端部与比其靠内周侧的区域相比，特别容易受到颤振的影响，难以稳定读取。本专利技术的目的在于提供一种能够抑制在磁盘的外周侧端部附近气流紊乱，并抑制颤振的磁盘用玻璃基板及磁盘。用于解决课题的方案本专利技术人为了消除磁盘的外周侧端部附近的气流紊乱，并排除磁盘的卡紧的影响，以消除游隙(磁盘的内孔与主轴间的间隙)的方式使磁盘的中心与主轴的中心精密地对齐，组装HDD。由此，磁盘的外周端面的盘片半径方向的摇动达到外周端面的正圆度以下的大小，虽然磁盘的内周侧的端面的正圆度、及内周端面与外周端面的同心度不会产生影响，但未能改善颤振。以往，若减小磁盘的正圆度则颤振减小，因而认为在正圆度与颤振之间存在相关性。但是，根据本专利技术人的研究可知，即便使正圆度为1.5μm以下，颤振也不会减小，在正圆度极小的情况下，在正圆度与颤振之间未发现相关性。其理由可如下考虑。即，以往是将比玻璃基板的板厚更长的板状探针竖立在与玻璃基板的主表面垂直的方向并接触外周端部，由此测定外周端部的正圆度。此时，探针在板厚方向上在向基板的外侧最为突出的位置进行接触。因此，与外周端部的板厚方向的形状无关，作为正圆度测定基础的外周端部的轮廓线反映了向基板外侧最为突出的形状。因此，在现有的正圆度的测定方法中，并未反映外周端部的侧壁面的板厚方向上的三维形状。并且，在现有的正圆度的测定方法中，在使磁盘的外周端部的正圆度足够好的情况下，正圆度以外的其他原因对颤振所产生的影响相对较大，由此认为在正圆度与颤振之间未发现相关性。因此，本专利技术人除了关注正圆度之类的与磁盘的主表面平行的方向的参数外，还关注磁盘的板厚方向的形状。首先，调查了磁盘的外周侧端部的板厚的偏差，但偏差极小，未发现问题。因此，发现在磁盘的外周端面中，侧壁面(在与主表面垂直的方向延伸的面)和倒角面(介于侧壁面和主表面之间的面)的斜率及凹凸会对磁盘的最外周部的颤振产生影响。即，通过极度减小磁盘的外周端面的正圆度，才发现了外周端面的板厚方向的形状会对颤振产生影响。进一步进行研究的结果查明，磁盘的外周侧的侧壁面的中心轴与两个倒角面的中心之间的距离对颤振的大小产生影响。即，查明了在该距离增大时存在颤振增大的倾向。在磁盘是具备具有一个轴的第一圆筒、和在其轴向的两侧存在的直径较小的第二圆筒、第三圆筒的结构体的情况下，可以认为该距离相当于这三个圆筒的轴的偏移的大小。可以认为偏心量根据该轴偏移而变化，从而颤振变化。本专利技术的磁盘用玻璃基板在中心具有圆孔，并具有一对主表面和端面，其特征在于，所述端面具有侧壁面、和介于所述侧壁面与所述主表面之间的倒角面，外周侧的端面的正圆度为1.5μm以下，分别取得在外周侧的侧壁面上的沿板厚方向相距200μm的两点位置处的圆周方向的轮廓线，设根据这些轮廓线分别求出的两个最小二乘圆的中心间的中点为中点A，在外周侧的两个倒角面上的板厚方向长度的中心的位置分别取得圆周方向的轮廓线，在根据这些轮廓线求出的最小二乘圆的中心中，设根据一个倒角面求出的中心为中心B，设根据另一个倒角面求出的中心为中心C时，中点A和中心B间的距离与中点A和中心C间的距离的合计为1μm以下。本专利技术的磁盘用玻璃基板优选所述合计为0.5μm以下。本专利技术的磁盘用玻璃基板关于所述外周侧的侧壁面的表面粗糙度，在设板厚方向上的最大高度为Rz(t)、圆周方向上的最大高度为Rz(c)时，优选Rz(t)/Rz(c)为1.2以下。本专利技术的磁盘用玻璃基板在以所述玻璃基板的中心为基准沿圆周方向每隔30度设置测定点，并求出所述外周侧的侧壁面与倒角面之间的部分的形状在所述测定点处的曲率半径时，优选相邻的测定点之间的所述曲率半径之差为0.01mm以下。本专利技术的磁盘用玻璃基板分别取得包括在所述外周侧的侧壁面中沿板厚方向相距100μm间隔的至少3点位置在内的、沿板厚方向的多个不同位置的所述侧壁面的圆周方向的轮廓线，取得各条轮廓线的内切圆和外切圆，最小的内切圆的半径与最大的外切圆的半径之差优选为5μm以下。本专利技术的磁盘用玻璃基板适合应用于板厚为0.5mm以下的情况。本专利技术的磁盘是在所述磁盘用玻璃基板的主表面上形成了磁性层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种圆环状基板，其在中心具有圆孔，并具有一对主表面和端面，该圆环状基板是磁盘用基板的基础，其特征在于，所述端面具有侧壁面、和介于所述侧壁面与所述主表面之间的倒角面，外周侧的端面的正圆度为1.5μm以下，分别取得在外周侧的侧壁面上的沿板厚方向相距200μm的两点位置处的圆周方向的轮廓线，设根据这些轮廓线分别求出的两个最小二乘圆的中心间的中点为中点A，在外周侧的两个倒角面上的板厚方向长度的中心的位置分别取得圆周方向的轮廓线，在根据这些轮廓线求出的最小二乘圆的中心中，设根据一个倒角面求出的中心为中心B，设根据另一个倒角面求出的中心为中心C时，中点A和中心B间的距离与中点A和中心C间的距离的合计为1μm以下。

【技术特征摘要】
2013.03.01 JP 2013-0413031.一种圆环状基板，其在中心具有圆孔，并具有一对主表面和端面，该圆环状基板是磁盘用基板的基础，其特征在于，所述端面具有侧壁面、和介于所述侧壁面与所述主表面之间的倒角面，外周侧的端面的正圆度为1.5μm以下，分别取得在外周侧的侧壁面上的沿板厚方向相距200μm的两点位置处的圆周方向的轮廓线，设根据这些轮廓线分别求出的两个最小二乘圆的中心间的中点为中点A，在外周侧的两个倒角面上的板厚方向长度的中心的位置分别取得圆周方向的轮廓线，在根据这些轮廓线求出的最小二乘圆的中心中，设根据一个倒角面求出的中心为中心B，设根据另一个倒角面求出的中心为中心C时，中点A和中心B间的距离与中点A和中心C间的距离的合计为1μm以下。2.根据权利要求1所述的圆环状基板，其特征在于，所述外周侧的侧壁面的表面粗糙度Rz为0.2μm以下。3.根据权利要求1所述的圆环状基板，其特征在于，关于所述外周侧的侧壁面的表面粗糙度，在设板厚方向上的最大高度为Rz(t)、圆周方向上的最大高度为Rz(c)时，Rz(t)/Rz(c)为1.2以下。4.根据权利要求3所述的圆环状基板，其特征在于，所述Rz(t)/Rz(c)为1.1以下。5.根据权利要求1所述的圆环状基板，其特征在于，在以所述圆环状基板的中心为基准沿圆周方向每隔30度设置测定点，并求出所述外周侧的侧壁面与倒角面之间的部分的形状在所述测定点处的曲率半径时，相邻的测定点之间的所述曲率半径之差为0.01mm以下。6.根据权利要求1～5中任意一项所述的圆环状基板，其特征在于，分别取得包括在所述外周侧的侧壁面中沿板厚方向相距100μm间隔的至少3点位置在内的、沿板厚方向的多个不同位置的所述侧壁面的圆周方向的轮廓线，取得各条轮廓线的内切圆和外切圆，最小的内切圆的半径与最大的外切圆的半径之差为5μm以下。7.根据权利要求1～5中任意一项所述的圆环状基板，其特征在于，所述合计为0.5μm以下。8.根据权利要求1～5中任意一项所述的圆环状基板，其特征在于，板厚为0.635mm以下。9.一种磁盘用基板的制造方法，其特征在于，在权利要求1～8中任一项所述的圆环状基板的主表面上至少进行研磨处理。10.一种磁盘的制造方法，其特征在于，包括：准备利用权利要求9所述的方法制造出的磁盘用基板的步骤；以及在所述磁盘用基板的主表面至少形成磁性层的步骤。11.一种磁盘用基板，其在中心具有圆孔，并具有一对主表面和端面，其特征在于，所述端面具有侧壁面、和介于所述侧壁面与所述主表面之间的倒角面，外周侧的端面的正圆度为1.5μm以下，分别取得在外周侧的侧壁面上的沿板厚方向相距200μm的两点位置处的圆周方向的轮廓线，设根据这些轮廓线分别求出的两个最小二乘圆的中心间的中点为中点A，在外周侧的两个倒角面上的板厚方向长度的中心的位置分别取得圆周方向的轮廓线，在根据这些轮廓线求出的最小二乘圆的中心中，设根据一个倒角面求出的中心为中心B，设根据另一个倒角面求出的中心为中心C时，中点A和中心B间的距离与中点A和中心C间的距离的合计为1μm以下，所述外周侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：玉置将德，高桥武良，植田政明，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP