【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅长晶炉
本技术属于单晶硅生产领域,具体为一种单晶硅长晶炉。
技术介绍
长晶炉是用于人工合成晶体的设备,人工合成晶体生长是指物质在一定温度、压力、浓度、介质、pH等条件下由气相、液相、固相转化,形成特定线度尺寸晶体的过程。常用于单晶硅的生产。单晶硅,即硅的单晶体,是一种比较活泼的非金属元素,具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等,用高纯度的多晶硅在长晶炉(单晶炉)内拉制而成,纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。现有的长晶炉中,其热场热利用率较低,热辐射高、热对流大导致热损失多,且现有热场的加热器,多为单层结构,锁热效果差,熔料速度较慢,导致石英坩埚与熔硅反应时间延长,使得反应产生的氧化硅增多,可能影响产品纯度,同时,也不利于生产效率提高。
技术实现思路
本技术的目的是针对以上问题,提供一种单晶硅长晶炉,结构合理,锁热效果好,双层加热,化料效率高,温度均衡,减少热对流及损失。为实现以上目的,本技术采用的技术方案是:一种单晶硅长晶炉,包括炉体以及延伸至炉体内部的提拉头,所述炉体内设置有坩埚,所述坩埚通过座体连接于炉体底部,所述坩埚的外部环绕有加热器,所述坩埚的上部设置有导流筒;其特征在于,所述加热器为双层结构,内层为圆筒状,外层为螺旋状;所述外层环形底部以及螺旋状上部;所述内层与外层之间设置有耐热材料制成的连接环;所述加热器的下部还设置有电极对,所述电极对包括设置于外层底部的第一电极以及设置 ...
【技术保护点】
1.一种单晶硅长晶炉,包括炉体(2)以及延伸至炉体(2)内部的提拉头(6),所述炉体(2)内设置有坩埚(3),所述坩埚(3)通过座体(31)连接于炉体(2)底部,所述坩埚(3)的外部环绕有加热器(1),所述坩埚(3)的上部设置有导流筒(5);其特征在于,所述加热器(1)为双层结构,内层(10)为圆筒状,外层(11)为螺旋状;所述外层(11)环形底部(111)以及螺旋状上部(112);所述内层(10)与(11)外层之间设置有连接环(13);所述加热器(1)的下部还设置有电极对(12),所述电极对(12)包括设置于外层(11)底部的第一电极(121)以及设置于内层(10)底部的第二电极(122);所述第一电极(121)与第二电极(122)分别与炉体(2)底部的第一电极柱(41)与第二电极柱(42)连接。
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅长晶炉,包括炉体(2)以及延伸至炉体(2)内部的提拉头(6),所述炉体(2)内设置有坩埚(3),所述坩埚(3)通过座体(31)连接于炉体(2)底部,所述坩埚(3)的外部环绕有加热器(1),所述坩埚(3)的上部设置有导流筒(5);其特征在于,所述加热器(1)为双层结构,内层(10)为圆筒状,外层(11)为螺旋状;所述外层(11)环形底部(111)以及螺旋状上部(112);所述内层(10)与(11)外层之间设置有连接环(13);所述加热器(1)的下部还设置有电极对(12),所述电极对(12)包括设置于外层(11)底部的第一电极(121)以及设置于内层(10)底部的第二电极(122);所述第一电极(121)与第二电极(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗乾,陈健,陈立民,韩永龙,文淑梅,
申请(专利权)人:阳光能源青海有限公司,
类型:新型
国别省市:青海,63
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