【技术实现步骤摘要】
一种基于声透镜的超声聚焦流体振动抛光系统
本专利技术应用于光学元件等抛光领域，特别涉及一种基于声学透镜超声汇聚作用的流体振动抛光系统。
技术介绍
随着现代光学技术的发展,高性能高质量光学零件的需求越来越迫切，同时对高质量光学零件的加工设备及工艺要求也越来越高。目前已经研究出多种可以获得高精度表面的加工方法，其中典型的方法有塑性研磨、化学抛光、浮法抛光、弹性发射加工、粒子束抛光、射流抛光等等。但是这些典型的加工方法或者会对元件加工表面产生破坏，或者加工效率过低，或者是控制性太差，都各自存在一些缺陷，因此一些新的加工方法也逐渐被提出。流体振动抛光(PolishingbasedVibrationofLiquidPVL)相较于其他加工方法，抛弃了传统超光滑表面流体抛光技术所采用的抛光磨盘，而是将工件直接浸泡在抛光液中，以流体作为抛光工具。流体振动抛光主要是利用超声波换能器向液体辐射高频超声波，利用超声振动产生的压力场和流场，驱动抛光液冲刷工件的表面。一方面，在抛光液中的游离抛光磨粒在超声激振的状态下互相高速碰撞，而且对工件表面进行反复的研磨冲击；而另一方面，超声波在抛光液...
【技术保护点】
1.一种基于声透镜的超声聚焦流体振动抛光系统，包括超声电源(1)、超声波换能器(4)、声透镜和敞口容器(2)，所述敞口容器(2)内盛有抛光液(3)，其特征在于：所述声透镜的结构是平‑凹声透镜(5)、平‑凸声透镜(7)、平‑凹声透镜(5)与滤波片(8)的组合体、平‑凸声透镜(7)与滤波片(8)的组合体中的任何一种；待加工工件浸在所述敞口容器(2)的抛光液(3)中，所述抛光液(3)的高于所述超声波换能器4的底面；所述超声电源(1)产生高频电激励超声波换能器(4)产生高频振动，所述声透镜将超声振动会聚在待加工件(6)的抛光点上，所述声透镜在抛光液中的焦距f为：
【技术特征摘要】
1.一种基于声透镜的超声聚焦流体振动抛光系统，包括超声电源(1)、超声波换能器(4)、声透镜和敞口容器(2)，所述敞口容器(2)内盛有抛光液(3)，其特征在于：所述声透镜的结构是平-凹声透镜(5)、平-凸声透镜(7)、平-凹声透镜(5)与滤波片(8)的组合体、平-凸声透镜(7)与滤波片(8)的组合体中的任何一种；待加工工件浸在所述敞口容器(2)的抛光液(3)中，所述抛光液(3)的高于所述超声波换能器4的底面；所述超声电源(1)产生高频电激励超声波换能器(4)产生高频振动，所述声透镜将超声振动会聚在待加工件(6)的抛光点上，所述声透镜在抛光液中的焦距f为：式(1)中，RC表示声透镜折射表面的曲率半径；γ表示超声波换能器(4)与声透镜的声轴之间的夹角，α＝n2/(1-n2)，其中，折射指数n＝C1/C2，C1为抛光液中的声速，C2为声透镜中的声速；符号+代表声透镜折射表面为凹折射面，符号-代表声透镜折射表面为凸折射表面；γ＝0时，所述声透镜...
【专利技术属性】
技术研发人员：张晓峰，杨强，曹中臣，林彬，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津,12
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