基于自适应理论光学系统加工误差的检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于自适应理论光学系统加工误差的检测装置，采用点光源经扩束系统产生标准平面波，经透射被测光学系统，分光棱镜、移相器，以可变性反射镜作为反射波面，获取光学系统的干涉条纹，通过控制可变性反射镜的变形量获取均匀干涉条纹，则反射镜的变形量则为光学系统的系统加工误差。本发明专利技术的检测装置可以检测任意透射式光学系统，包含非球面、自由曲面等单个光学元件。本发明专利技术基于自适应理论采用干涉仪作为评判依据，通过移相器实现干涉条纹，采用可控变形反射镜的精确控制，调制出均匀的干涉条纹，采集反射镜的控制信息获取系统误差。本发明专利技术克服了以往光学系统无法测量系统加工误差的难点。

【技术实现步骤摘要】
基于自适应理论光学系统加工误差的检测装置
本专利技术属于光学系统误差检测
，主要应用于光学系统(包含单个元器件：非球面和光学自由曲面)加工误差检测装置，该装置还能应用于单个光学器件的整体面型误差检测。
技术介绍
随着光学成像系统的日渐复杂，任何加工零件误差累计会导致最终的光学系统的成像等存在严峻考验，因此在复杂的光学系统中设计往往会提高产品单个器件的加工技术要求，这样无形中增加了加工难度和装配的难度。而现有的光学检测设备大多数集中在设备的系统指标如分辨率、传函等参数的测量，而对相应系统的误差并不是很清楚，波前检测器也仅仅是检测系统的波前，通过波前检测设备反推出系统的波前，这些均无法直接得到光学系统的总体累积误差，更谈不上对系统的误差的补偿。因此针对复杂的透射式光学系统随着光学零件的增加有必要对系统的累积误差进行测量及补偿。标准波面经过光学系统实现不等的波面重构，而零件面型的并不是规则的误差分布，因此最终面型误差累积可以近似看着为自由曲面误差的检测。由于任意一个光学系统其光学设计和结构不尽相同，因此可利用可变形反射镜实现干涉条纹的均匀度调整实现波面误差的校正。目前透射式的光学系统本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于自适应理论光学系统加工误差的检测装置，其特征在于：包括He‑Ne激光器、扩束系统、分光棱镜、标准球面透镜组、可变形微光学反射镜、小孔光阑、成像透镜、CCD耦合成像器、监视器、控制计算机、移相器；He‑Ne激光器后面放置扩束系统，扩束系统将He‑Ne激光器产生的激光束扩束为均匀平行光束；扩束系统后同轴放置被检测光学系统；被检测光学系统后沿光路放置分光棱镜，光路经过分光棱镜分为两路，其中A光路是分光棱镜透射后进入标准球面镜组，移相器与标准球面镜组一起做沿光路运动，标准球面镜组后放置可变形反射镜，可变形反射镜将标准球面镜组的出射光反射回标准球面镜组，再进入分光棱镜，分光棱镜反射进入B光路...

【技术特征摘要】
1.一种基于自适应理论光学系统加工误差的检测装置，其特征在于：包括He-Ne激光器、扩束系统、分光棱镜、标准球面透镜组、可变形微光学反射镜、小孔光阑、成像透镜、CCD耦合成像器、监视器、控制计算机、移相器；He-Ne激光器后面放置扩束系统，扩束系统将He-Ne激光器产生的激光束扩束为均匀平行光束；扩束系统后同轴放置被检测光学系统；被检测光学系统后沿光路放置分光棱镜，光路经过分光棱镜分为两路，其中A光路是分光棱镜透射后进入标准球面镜组，移相器与标准球面镜组一起做沿光路运动，标准球面镜组后放置可变形反射镜，可变形反射镜将标准球面镜组的出射光反射回标准球面镜组，再进入分光棱镜，分光棱镜反射进入B光...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪志斌，张云龙，张峰，李军琪，苏瑛，赵敏，麦玉莹，
申请(专利权)人：西安应用光学研究所，
类型：发明
国别省市：陕西,61